"스퍼터링 펌프"의 검색결과 입니다.

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스퍼터링 펌프 cvd 스퍼터링 pvd Sputter evaporator Cr ITO 증착

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"스퍼터링 펌프" 검색결과 81-100 / 153건

전자재료실험 - 열처리 시간에 따른 C-V I-V 특성 분석 결과보고서

변화를 이용한 방법을 말한다. 다른 증착법과는 다르게 저온에서 간단히 박막을 증착할 수 있는데, 다음과 같이 여러 증착법이 있다.스퍼터링(Sputtering), 전자빔 증착법 ... 된다.eamsubstrate holderThree Ingot FeedersFour Independention SourcesTo Vacuum Pumps그림2. E-beam장치의 구조 ... 상 안article 의 gas molecule과 충돌에 의한 산란을 막기 위해 Vacuum pump 를 이용해 HV(High Vacuum)을 만든다.- E-beam이 SiO2 파우더

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.12.01

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반도체공정순서 및 박막 증착법

.vaccum pump핫 필라멘트 이베포레이션그림에서와 같이 금속은 저항 가열 소스 홀더(보트)위에 놓여지게 되는데, 증착되는 부분은 이 보트의 위치에 맞게 정해지게 됩니다. 챔버내 ... 에 진공을 만들고 원하는 진공상태에서 보트에 전원이 공급되면 금속이 증발하게되는 것이지요.스퍼터링(Sputtering) :스퍼터링에서는 이온을 생성하기 위해 플라즈마를 사용 ... 에서와 같이 고전압 전원에 연결된 반대편의 평행판 위에 놓여지게 되는데 증착되는 과정은 먼저 챔버를 진공으로 만든 다음 낮은 압력의 스퍼터링 기체, 보통 아르곤을 챔버내로 흘려주

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 24페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.09.25

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태양전지

(플라스마CVD)이다. 진공 펌프가 연결되어 있는 반응용기 내에 SiH4 가스와 H2가스를 도입하여, 평행 평판전극 사이에 플라스마를 생성한다. 플라스마 생성에는 통상 13~100 ... 처리전처리로서는 스퍼터링에 의해서 Mo가 증착되었는데 이 증착된 면이 고르지 못할 경우를 대비해서 레이져를 이용한 scribng(절단공정)을 거친 후에 절단할 때 생기는 물질 ... 과 먼지등의 불순물이 남아있을 수도 있기 때문에 수세를 한다.2. 진공rotary 펌프와 diffusion 펌프, turbomolecular 펌프를 이용해서 진공을 만드는데 우선 대기중

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.11.17

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전기도금과 무전해도금

을 경화 또는 기타의 방법으로 물리적 성질을 향상 시키는 방법표면처리 기술의 분류 이용분류표면처리기술박막형태전기도금무 전해도금용융도금진공증착(PVD) 진공증착(스퍼터링, 이온플레팅 등 ... )기상도금도장전착도장표면가공양극산화(주로 알리미늄)화성처리식각법습식에칭건식에칭(스퍼터링)전해연마표면처리 과정탈지공정수세제청작업화성피막처리공정전기도금의 원리도금하고자 하는 금속을 음극 ... , 배관, 엔진 등 전자 부품 산업 →커넥터, 세라믹패키지, 저항체 등 전자 OA 부품 →하드디스크, 프린터, 스핀들 등 산업 기계 →펌프, 밸브, 반응 조, 열 교환기 등 기타

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 25페이지 | 3,500원 | 등록일 2010.06.20

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박막의 제조방법

목 차1. 진공 증착(Vacuum Evaporation)1) 진공 증착의 원리 및 과정2) 관련 설비가. 진공실나. 진공펌프 장치다. 압력 측정장치라. 피처리물 지지장치마. 증발 ... 율(sputter yield)사. 플라즈마 보조 PVD(Plasma Assisted PVD)의 분류① DC 과정(가) 다이오드 스퍼터링(Diode Sputtering)(나) 삼극 ... 스퍼터링(Triode Sputtering)(다) 자기 스퍼터링(Magnetron Sputtering)(라) 이온빔 스퍼터링(Iom-beam Sputtering)② RF(Radio

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 52페이지 | 3,000원 | 등록일 2006.12.06

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[화학실험]비정질벌크 및 박막제조(pre레포트)

더라도 주위의 공기(불순물) 입자밀도가 크면 막이 형성되면서 불순물이 포함될 확률이 높게 되므로 이를 고려한 비교적 고진공을 유지해야 한다.진공을 만들기 위해 다양한 종류의 펌프가 이용 ... 되고 있으며 2~3개의 펌프를 조합하여 상용하는 것이 일반적이다. 각각의 펌프는 펌핑을 시작할 수 있는 하한진공도와 펌핑으로 얻을 수 있는 상한진공도가 있으며, 이 사이의 영역 ... 이 펌프동작영역이다.진공상태를 측정할 수 있는 gauge의 종류는 다음과 같다.Borudon게이지: 얇은 금속진공막(diaphragm)이 압력에 따라 움직이는 것을 이 용.direct

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.02

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[진공공학]크라이오펌프(Cyro Pump)

Regeneration 원리*Quick Regeneration 원리*Pump의 선정 방법Cryo Pump = 기체 흡장형 진공 펌프진공용기의 크기와 어떠한 공정을 하는가에 따라 ... 장치인 하드디스크의 디스크 상에 카본 박막 증착 배선용 알루미늄 박막(Al film) 형성 하기 위한 스퍼터링 공정흡기구 단위 면적당 배기속도(Pumping speed)가 큼수분 ... 압력은 기체분자들에 의해 단위면 적당 벽 또는 물체의 표면에 가해 지는 힘이고, 근사적으로 단위부피 당 에너지임*여러 가지 압력단위의 환산*진공의 이용 분야*진공 펌프의 분류

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| 리포트 | 35페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.12.27

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cvd

함 불규칙한 운동을 하는 분자의 pumping 확률을 높임.펌프의 종류 및 원리1. 로터리 펌프 2. 오일 확산 펌프 3. 터보분자 펌프펌프의 분류작동 압력저진공 펌프 로터리 펌프 ... 하여 기체를 흡입하고 압축. 이온 펌프 등Rotary Vane Pump가장 많이 쓰이는 진공펌프 약 10-3 Torr 정도 압력 1500-2000 rpm 산업 전반에 가장 많이 쓰임 ... Rotary Vane Pump장점 - 진동이 작다. 소형펌프로 사용 유지보수가 쉽다 단점 - 배기 성능을 약화 펌프 자체를 파손등 사고의 원인 기름 증기가 흡입측으로 역류 용기안

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| 리포트 | 50페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.11

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[물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 결과보고서

고 진공시스템의 확산펌프 작동에 따라 챔버의 내부 압력이Torr에서Torr로 주기적으로 변하는 과정에서 기판의 온도를 300도로 맞추어 10분간 스퍼터링을 시켰다. 이 때 사용 ... 를 이용하여 실리콘 기판에 Cu 박막을 증착한다1. 실험 요약본 실험은 아래의 스퍼터링 장비를 사용하여그림 스퍼터링 시스템의 구조실리콘 기판에 구리 박막의 증착시키는 실험이 ... 다. 스퍼터링이란 높은 에너지의 입자를 고체(타겟)에 조사하였을 때 타겟의 구성 원자가 타겟 표면에서 방출하는 현상을 말한다. 즉 에너지가 수백eV~수십keV인 이온이 타겟에 입사하면 입사

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| 리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.03

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[공학]FCCL

실험 제목FCCL(Flexible Copper Clad Laminates)실험 목적Polyimide(PI)필름을 전(개질)처리한 뒤 스퍼터링과 도금을 통해 연성동막적층필름 ... 이 따로 이루어질 수 있도록 셔터를 장 착한다.불순물 제거와 효율적인 진공 pumping을 위한 퍼징 작업을 한다. 이것 은 Rotary pump를 이용하여 10?²~10 ... ?³ 까지 진공을 뽑아주는 작업이다.퍼징 작업을 2~3번 해준 후에는 Ar 가스를 주입하여 다시 진공도를 상 승시킨다. 압력이 10?² 까지 잡고, Diffusion pump를 통해 10

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| 리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.01.18

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[OLED, LED] Sputtering을 이용한 박막 증착

, Diffussion Pump , 단차측정기(α-step), Glass3. 실험원리- 진공 PUMP의 종류 및 원리① 로타리 베인 펌프( Rotary Vane Pump )일반적으로 가장 ... 인 경우에도 우수한 성능을 발휘한다.(단점: 소음과 진동이 심하다.)③ 로타리 기어펌프 (rotary pump)로타리 엔진 의 원리를 응용한 진공펌프로, 기본원리는 다음과 같 ... 되면서 공기를 흡입한 후 이를 다시 압축시켜 배출하는 것이 펌프의 특성도 로타리 피스톤 타입의 펌프와 대동소이한다.④ 터보분자 펌프(turbo pump)이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두

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| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.11.05

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박막형 태양전지의 재료인 Cd-Te의 현재 기술과 문제점분석

한다. CSS법은 장치가 간단하고 유지·보수가 간편하며, 주로 반응챔버, 할로겐램프, 가스봄베 및 연결부, 진공펌프 및 제어반으로 구성된다.광투과층으로 사용되는 CdS는 밴드갭이 2 ... 로 인하여 발생된 S의 정공이 도너로 작용하므로 불순물을 첨가하지 않더라도 쉽게 0.1Ωcm이하의 비저항을 얻을 수 있다.CdS를 증착하는 방법으로는 진공증착법, 스퍼터링, 화학기상

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| 리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.12

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인공 다이아몬드

다박막을 형성한다.1. 알곤2. 반응 가스3. 아크원 (코팅 재료)4. 코팅할 부품5. 진공 펌프-이온 주입법이온 주입법은 반응성 전자 빔 증발법으로 물리적 기상 증착법의 한 종류 ... 이다. 스퍼터링은 알곤 이온의 충돌에 의하여 금속 표면으로부터 코팅 재료를 분리시키는 방법이지만 이온 주입법은 저 전압 아크를 이용하여 금속 코팅 재료(티타늄, 또는 크롬)를 증발 ... 시키는 방법이다.1. 전자 빔 원2. 알곤3. 반응 가스4. 코팅할 부품5. 코팅 재료6. 도가니 (양극)7. 저 전압 아크 방출원8. 진공 펌프4.2 플라즈마 코팅- 소개?low

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| 리포트 | 44페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.12.07

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화공실험 보고서

열 수 있는 압력을 낮추어 밸브작동을 어렵게 하고, 흡입과정에서의 기화로 최저도달 압력을 낮추는 악영향을 미친다.?루츠 펌프(Roots pump)그림3. Roots pump ... 을 하면 이상적이라 하겠다.?오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)(B)그림4. 오일확산 펌프의 구조(A) 및 작동 원리(B)그림4에서 보듯이 그 구조는 크게 히터 ... 의 은 충격에도 망가질 수 있으므로 사용에 각별히 주의해야 한다.▶Entrapment 펌프?이온 펌프(Ion pump)그림8. Ion pump의 작동 원리이름에서 짐작할 수 있

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| 리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.21

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[공학기술]박막

) ① 스퍼터링 ② 진공증발법 3. 원자증 증착 (ALD) 4. 분자빔 에피택시 (MBE)1. 화학 기상 증착 (CVD) ① LPCVD ② APCVD ③ PECVD ④ MOCVD 2. 물리 ... 기상 증착 (PVD) ① 스퍼터링 ② 진공증발법 3. 원자증 증착 (ALD) 4. 분자빔 에피택시 (MBE)화학 기상 증착 (CVD)Chemical Vapor Deposition ... ℃) 노, 웨이퍼 홀더, 트랩, 진공 펌프, 배기 집진기, 가스 제어 및 순차기로 구성됨. 노는 저항 가열기에 가열되며, 내부에는 웨이퍼를 세울 수 있는 웨이퍼 홀더가 있음. 낮은 증착

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| 리포트 | 38페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.05.23

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[박막공학]박막형성의 원리

박막형성의 원리 : 스퍼터링( Principles of Thin Film Formation I I I : Sputtering )1. 기체입자들간의 충돌기체 입자들간의 충돌은 내부 ... . 스퍼터링스퍼터링(sputtering) 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며[3], 현재는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다. 스퍼터링(s ... 하는 입자들이 양의 이온(positive - ion)이라면 cathodic sputtering이라고 부르는데, 대부분의 스퍼터링은 cathodic sputtering이다.보통

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| 리포트 | 30페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.12.27 | 수정일 2025.01.21

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열 증착

과 냉각라인의 기본 시스템으로 되어 있다.1차 펌프로는 저진공 펌프인 기계식 Rotary Pump를 사용하고 2차 펌프는 고진공 펌프인 Diffusion Pump를 사용한다. 증착기 ... (Rotor)③ 베인 (Vane) ④ 배기밸브 (Discharge Valve)산업체 및 진공 관련 연구에 저진공 펌프의 대다수를 차지하고 있는 Rotary Pump는 건식 로터리 ... 베인 펌프(dry rotary vane pump)와 오일 로터리 베인 펌프(oil rotary vane pump)로 구분되며, 주로 후자가 일반적인 Rotary Pump로 불려진다

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.05.16

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진 공 펌 프 레포트 자료

PUMP) 만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP) 순환 급유식 로타리 베인 펌프 배출 급유식 로타리 베인 펌프 로타리 피스톤 펌프 ... (ROTARY PISTON PUMP) 로타리 기어 펌프 (ROTARY GEAR PUMP) 피스톤 펌프 (PISTON PUMP) 다이아후렘펌프 (DIAPHRAM PUMP) 루츠 펌프 ... (RO PUMP) 승화펌프 (SUBLIMATION PUMP) 저온 펌프 (CRYO PUMP)펌프의 분류펌프의 종류는 사용 가능한 압력에 따라 저진공, 고진공, 초고진공 등으로 나눌 수

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| 리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.06.24

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[재료공학]박막의 증착 공정

과학 : 가속기, 표면분석장치, 질량분석진공 기술의 응용을 위해서는 진공 펌프를 이용하여 진공상태를 만들어야 되는데, 진공을 처음 대하는 사람은 우선 많은 종류의 펌프를 보고 놀랄 ... 것이다. 또 진공 시스템을 보면 적어도 두 종류 이상의 펌프가 사용됨을 보고 의문을 가질 수 있는데, 이는 무엇보다도 모든 압력 영역에서 또는 원하는 작업 환경에서 작동되는 이상 ... ,Sputarget) 사용시 고려할 점․가속된 이온이 가지고 있는 에너지와 운동량의 전이, 충돌로 인한 가열, 가열에 의한 어닐링, 이온이나 원자의 확산에 의해 스퍼터링 반응이 지배 받

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.09

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[재료공학] 박막 제조법

플라즈마(plasma)의 기초가 발표되면서 스퍼터링을 일으키는 기체 방전에 대한 조건들을 이해할 수 있게 되었다. 또한 진공 펌프를 포함한 진공 기술의 발전으로 인해 스퍼터링은 널리 ... 에는 진공에서 증발시키는 방법과 이온 스퍼터링에 의해 원자상태로 방출시키는 방법이 있다. 그런데 이온 도금은 이들 두 방법 중 어떤 방법으로 표적재료(증발재료)를 증기상으로 만들 ... , 이온, 스프터링, 이온도금 등의 방식은 요구되는 코팅종류에 따라 선택되어지는데, 진공증착은 스퍼터링 방법에 비하여 극히 빠르게 코팅할 수 있으며, 이온 스퍼터링은 코팅층의 합금

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.27

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