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스퍼터링 펌프 cvd 스퍼터링 pvd Sputter evaporator Cr ITO 증착
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"스퍼터링 펌프" 검색결과 61-80 / 153건

  • 자료 표지
    반도체공정 레포트 최종
    방법에는 화학기상증착 또는 열증착 및 스퍼터링 등이 있다.그 중 이번 학기 실험에서는 반도체의 기본 제조 공정인 Photolithography(사진식각공정), Evaporation ... 시범위하게 사용할 수 있고 또한 다른 기계식 펌프에 비해 움직이는 부분이 없어 작동환경이 조용하다.하지만 오일을 사용하기 때문에 구조상 수직방향으로만 설치해야 하며 밸브의 오작동 ... athode(target)쪽으로 가속되어 target의 표면과 충돌하면, 중성의 target 원자들이 튀어나와 기판에 박막을 형성한다.스퍼터링 방법의 장점은 다음과 같다.① 구조
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.01.25
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  • 자료 표지
    SEM 이미지의 생성 원리, charging현상과 해결 방법, OM과 SEM의 image의 차이점과 그 이유
    층이 두꺼운 경우에는 단면의 미세한 조직구조들이 금속 코팅층에 덮여 구분이 어렵다.? 이온 스퍼터링 (저진공 ~ 수Pa) : 시료를 코팅하기 위해 사용되는 코팅금속재료는 음극판 ... 와 스퍼터링 시간에 비례한다.? 마그네트론 스퍼터링 (저진공 ~ 수pa) : 이 장치에서는 음극과 양극이 동축으로(coaxially) 배열되어 있으며 동축의 시린더 자석은 음극 뒤 ... 를 증착하는 동안에 시료를 좌우로 기울이거나 회전시킨다.? 이온빔 스퍼터링 (고진공 ~ 10-3Pa) : 코팅금속재료는 불활성가스 이온빔에 의하여 스퍼터링 되어 시료 표면에 코팅
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.04.14
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  • 자료 표지
    고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비보고서)
    플라즈마 스퍼터링 기술은 정밀도, 균일성, 수축에서 0 사이의 장력으로 스트레스 제어 같은 요구된 결과로 큰 개선을 시연하였고 기판 위의 표면차 측정은 대략 50/60cm이다. 선형타겟 ... 현상을 '음극선'이라고 명명하였다. 이러한 음극선은 유리관안에 공기가 많이 들어있으면 방해를 받아 잘 흐르지 못했다. 그리하여 과학자들이 유리관 안의 공기를 진공펌프를 이용 ... 를 크룩스관이라고 부른다.진공 펌프의 예시과학자들은 이후에 이러한 음극선관을 이용하여 음극선이 과연 전하의 흐름인가에 대한 해답을 제시할 수 있는 여러 가지 실험을 하였다. 먼저
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16
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  • 자료 표지
    주사전자현미경(SEM)
    optical column 뿐만 아니라 specimen stage가 들어있는 specimen chamber도 고진공 상태를 유지해야 하며 rotary pump와 oil diffusion ... pump를 이용하여 column과 chamber내의 진공을 유지하며 항상 10-4torr이하의 진공을 유지해야 한다.(4) Visual and Record Display일반적으로 관찰 ... 스퍼터링에 의해서 2차 전자 방출률이 큰 금속을 시료 표면에 얇게 코팅을 하게 된다. 진공 증착의 경우에는 금(Au), 금-팔라듐(Au-Pd)을, 스퍼터링의 경우에는 금, 금팔라듐
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.05.31
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  • 자료 표지
    PECVD / SPUTTER
    면 관 끝 쪽이 거뭇하게 되어 있는데 이는 플라스마로부터 음극에 들어가는 이온에 의한 스퍼터링 현상이며 음극 재료인 원자가 튕겨 나갔기 때문이다. 이러한 현상을 응용한 것 ... 이 스퍼터링 기술이다.왼쪽 그림을 보고 설명하자면, 예를 들어 운동 에너지를 갖고 있는 이온이 음극 표면의 수천 개의 격자형 원자와 격렬하게 충돌하여 제 1층 또는 제 2층에 있는 원자 ... 의 어떤것 을 격자 형태로부터 뜯어내어 공간을 튀어나가게 하는 데 이것이 스퍼터링 현상이다.1개의 이온당 몇 개의 격자 원자가 스퍼터하는가의 비율을 스퍼터 수량이라고 부른다. 이 수량
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.05.12
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  • 자료 표지
    SEM image의 생성원리, Sample에서 charging 현상의 원인과 방지법, OM과 SEM의 차이
    에 따라 다음과 같은 여러 가지 방법이 사용되고 있다.1) 이온 스퍼터링 (저진공~수Pa)시료를 코팅하기 위해 사용되는 코팅 금속재료는 음극판에 위치시킨다. Glow 방전에 의하 ... 여 발생된 이온들은 판에 충돌하여 금속 원자들을 방출시킨다. 이렇게 방출된 원자는 양극판 위에 위치한 시료 표면에 부착된다. 코팅층의 두께는 이온전류와 스퍼터링 시간에 비례한다.2 ... ) 마그네트론 스퍼터링 (저진공~수Pa)이 장치에서는 음극과 양극이 동축으로 배열되어 있으며 동축의 실린더 자석은 음극 뒤에 위치한다. 이러한 구조로 인하여 전자나 이온 충돌 때문
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.12.21 | 수정일 2021.11.21
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  • 자료 표지
    이온플레이팅
    의 총칭이라 할 수 있다. mattox는 이것을 ‘증착전이나 증착과정 중에 고 에너지의 이온으로 형성되는 유속에 의해 지배되는 증착법’ 이라고 풀이 하였다.이온플레이팅도 스퍼터링 ... 과 비슷하게 플라즈마를 사용한 증착 공정 이지만 스퍼터링과는 달리 보통 증착하고자 하는 물질을 증발 법으로 기상화한 뒤 reactive gas나 불활성 기체들고 함께 이온화하여 음 ... 다. 이온빔을 PVD에 이용하는 방법은 두 가지로서, 하나는 이온빔을 스퍼터링원으로 사용하는 것이다. 글로 방전 플라즈마 대신에 이온빔을 타겟 표면에 조사함으로써 스퍼터링 현상을 유도
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 19페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.07.03
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  • 자료 표지
    진공증착과 음극스퍼터링
    유명한 Michael Faraday가 최초로 행하였다고 한다.2. 1930년대에 유확산 Pump가 실용화 되어, 렌즈의 반사방지막 작성이 진공 증착으로 발 전 되었다.3. 제 2차 ... 면 관 끝 쪽이 거뭇하게 되어 있는데 이는 플라스마로부터 음극에 들어가는 이온에 의한 스퍼터링 현상이며 음극 재료인 원자가 튕겨 나갔기 때문이다. 이러한 현상을 응용한 것 ... 이 스퍼터링 기술이다. 왼쪽 그림을 보고 설명하자면, 예를 들어 운동 에너지를 갖고 있는 이온이 음극 표면의 수천 개의 격자형 원자와 격렬하게 충돌하여 제 1층 또는 제 2층에 있는 원자
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.10.11
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  • 자료 표지
    Reactive magnetron sputtering을 이용한 ZnO박막증착
    (mechanical rotary pump)와 유 확산 펌프(Oil diffusion pump)를 사용하였으며, 초기 진공도(base pressure)를 5×10-6 torr까지 유지하였다. 챔버 ... . 광학적 특성72.2.5. ZnO 박막 제조 기술82.2. 스퍼터링82.2.1. 스퍼터링의 원리82.2.2. 스퍼터링의 특징122.2.3. 스퍼터율(sputter yield ... )132.2.4. 스퍼터링을 이용한 박막형성의 영향요소142.2.5. RF 스퍼터링152.2.6. Magnetron 스퍼터링182.2.7. RF 마그네트론 스퍼터링192.3. 플라즈마
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 57페이지 | 3,500원 | 등록일 2008.12.06
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  • 자료 표지
    스퍼터링 박막공정
    아크를 이용증착 속도가 빠르다.대면적화 가능Fig.1은 스퍼터링 법의 개념도 이다.진공 펌프로 진공이 유지된 챔버내에서 스퍼터 기체로 알곤 가스를 흘려주면서 공정 압력 60밀리토르 ... I. 스퍼터링 박막공정1.스퍼터링 박막공정 개론스퍼터링법은 플라즈마, 이온빔, 아크등을 사용하여 타켓 물질을 스퍼터하여 기판에 세라믹스 박막을 형성하는 방법이다. 스퍼터링법 ... 은 산화물 타켓을 쓰는경우, 알곤 스퍼터링에 의해서 양잘의 세라믹스 박막을 형성할 수 있지만, 대형타켓제조가 어렵고, 타켓이 열충격에 약한 단점이 있다. 따라서, 금속 타켓을 사용
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.07.18 | 수정일 2018.11.24
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  • 자료 표지
    금속 박막증착
    ) : 원하는 박막 물질의 기판이나 덩어리에 에너지를 가하여 운동에너지를가지는 해당 물질이 물리적으로 분리되어 다른 기판에 쌓이게 하여박막층이 만들어지게 하는 방법크게 스퍼터링 ... , 빛(UV 또는 LASER), 또는 임의의 에너지에 의하여열분해를 일으켜 기판의 성질을 변화시키지 않고 Solid Deposition를이루는 합성 공정을 말한다1) 스퍼터링 ... (flux)에 의해 집진하여 기판에 성막시키는방법이다. 이러한 집진이 이루어질 경우 전체 발생한 플라즈마는 균일하게 되어 결과적으로균일한 박막을 제조할 수 있다.DC 스퍼터링 장치
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.08.24 | 수정일 2015.02.12
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  • 자료 표지
    SEM 이미지 생성원리 & OM과 SEM 이미지 생성 차이
    를 정량 분석할 때 많이 사용된다. 비전도체 시료 표면에 대한 금속코팅에는 코팅의 형상이나 목적에 따라 다음과 같이 여러 가지 방법이 사용되고 있다.①이온 스퍼터링 (저진공~수Pa)시료 ... 한 시료 표면에 부착된다. 코팅층의 두께는 이온전류와 스퍼터링 시간에 비례한다.②마그네트론 스퍼터링(저진공~수pa)이 장치에서는 음극과 양극이 동축으로(coaxially) 배열 ... 상태로 유지되어 있다. 저진공 SEM(LV SEM)은 일반 SEM에 펌프 시스템을 추가로 설치하여 기둥은 고진공상태, 시료실은 저진공 상태로 유지된다. 이러한 조건에서는 시료
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.04.25
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  • 판매자 표지 자료 표지
    박막제조장비회사 조사
    로 분사하는 소스가 장착된 챔버(chamber), 챔버의 내벽 및 내부 부품에 형성된 히터, 챔버 내부의 공기를 흡입하는 펌프(pump) 및 챔버와 펌프 사이에 개재되고 펌프 ... 증착법 및 스퍼터링법이 있다.증착되는 박막에 이온을 도핑하고자 하는 경우에는 소스 가스에 도핑가스를 혼합하여 주입 확산시키는 것으로서 이 경우 단순히 박막 내에 이온이 도핑되는 것
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 10페이지 | 3,500원 | 등록일 2012.05.05
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  • 자료 표지
    thermal evaporation법을 이용한 박막의 제조 레포트.
    에 응용되고 있다.진공증착, 이온, 스프터링, 이온도금 등의 방식은 요구되는 코팅종류에 따라 선택되어지는데, 진공증착은 스퍼터링 방법에 비하여 극히 빠르게 코팅할 수 있으며, 이온 ... 스퍼터링은 코팅층의 합금성분과 피복율을 쉬게 조절할 수 있다. 특히 코팅층이 피처리물에 우수한 접착력이 요구되거나 피처리물이 온도에 따라 성질이 변하는 경우는 이온도금을 사용하는 편 ... 냉각하기 위한 부수설비도 필요하다. 보통 진공실을 개방했을 때 실벽에 수증기가 응축되는 것을 방지하기 위하여 50℃ 정도로 가열하는 편이 펌프 가동시간을 줄일 수 있다. 정확
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.11.15
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  • 자료 표지
    ITO Scribing & Cleaning 예비보고서
    코닝은 매우 큰 격차를 보이며 대부분의 시장을 점유하고 있다.제품특징1. 고진공 스퍼터링 증착 방법을 사용하여 코팅막의 오염원을 최소화함으로서 Total Pitch 16㎛ LCD제품 ... 은 스퍼터링(sputtering)에 의하여 형성된다. 현재 사용되는 LCD용 ITO coated glass는 표면거칠기가 약 20∼30Å 정도이므로 상부에 유기물 다층박막이 증착 ... 게끔 만든 세척대4)실험방법■ITO 기판의 Scribing◦ITO coating면을 위로 향하게 하여Scriber 위에 올려놓고 진공펌프를 작동시켜 고정시킨다.◦원하는 크기(35mm
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.02.23
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  • 판매자 표지 자료 표지
    SPUTTER
    에너지로 충돌할 경우 입자 충격에 의해 물질의 격자 간 원자가 다른 위치로 밀리게 되는데 이때 원자의 표면 탈출이 발생하게 되는 현상 - 스퍼터링(sputtering) 현상 ... 스퍼터링에서 전자는 자장과 전기장에 의해 Lorentz의 힘을 받아 선회 운동(gyration)을 하며 가속되기 때문에 나선 운동을 한다. 타겟 근처에서 전자가 벗어나지 못하게 하 ... 생겨 discharge 전류가 증가하고 스퍼터 속도가 향상된다. 박막의 증착 속도는 DC 스퍼터링에 비해 약 50배 정도 증착 압력 1mTorr까지 가능 전형적인 자장의 세기
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 27페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.07
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    태양전지
    로 이동하면서 아래에서 위로 단결정을 형성 시키는 방법.? 물리기상 증착(PVD ? Physical Vapor Deposition)- 스퍼터링(sputtering) 물리적 기상 ... 증착 : 스퍼터링은 글로우 방전에서 발생되는 정이온을 전계에 의해 높은 에너지로 가속시켜 고에너지의 정 이온이 고체의 표면과 충돌하면 고체 표면의 원자 또는 분자가 표면에서 밖 ... 으로 튀어나오는 스퍼터링 현상을 이용한 박막제도 방법이다.? 화학기상 증착(CVD - Chemical Vapor Deposition)- 열 CVD 법 : 반응 압력에 따라 상압과 감압
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 10페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.05.23 | 수정일 2024.05.02
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  • 자료 표지
    진공의 기초와 증착이론
    )10-10 Torr ∼ (Less)104μPa ∼ (Less)- 진공펌프의 종류positive displacement 펌프 로터리 펌프(rotary vane pump) 루츠 펌프 ... (Roots pump) 오일확산 펌프(Oil diffusion pump) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) entrapment 펌프 이온펌프(Ion pump ... ) 냉온 펌프(Cryogenic pump) Getter pump Stream ejecter 펌프 , Water jet 펌프증착 이론진공 증착 이란 금속 또는 비금속의 작은 조각을 진공
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.10
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  • 자료 표지
    cvd pvd
    하기 위하여 장착 시키는 진공 Port를 가지고 있다. 반응생성물과 사용되지 않은 기체들은 진공 Pump로 반응로 바깥으로 배출(배기)된다. 수직으로 놓인 Wafer의 간격은 잘 ... 은 진공증발 기술이었으나, 현재는 많은 응용분야가 스퍼터링 기술로 이전되어 있는 상태이다. 진공증발 기술의 초기에는 저항 가열 기술이 사용되어 왔으나, 그 사용이 고융점의 금속 ... 스퍼터링 기술로 많은 부분 대체되었는데, 그 이유는 쓰임새에 비하여 장치가 복잡하고, 전자빔에 의해 소자특성이 저하되기도 하며, 증착 입자의 직진성으로 인하여 단차피복능과 관련된 문제
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.07.17 | 수정일 2015.11.03
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  • 자료 표지
    진공과 진공펌프에 대해서~
    였다.7. 작동 압력과 작동원리에 따른 펌프의 종류(1) 작동 압력에 따라- 저진공 펌프: Rotary oil sealed mechanical pump, Sorption pump ... ,Venturi pump, Booster pump- 고진공 펌프: Diffusion pump, Cryopump, Cryotrap, Turbo molecular pump- 초고진공 펌프 ... :Titanium sublimation pump, Ion pump(2) 작동 원리에 따라-Positive displacement 펌프: Rotary pump, Turbo
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.08.17
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