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스퍼터링 펌프 cvd 스퍼터링 pvd Sputter evaporator Cr ITO 증착
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"스퍼터링 펌프" 검색결과 41-60 / 153건

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    59스퍼터링02
    스퍼터링 이란?스퍼터링 원리스퍼터링 Glow Discharge스퍼터링 Plasma스퍼터링 종류스퍼터링 Sputter Yield스퍼터링SPUTTERING스퍼터링 이란?1852년 ... 스퍼터링스퍼터링 고안하게된 이유EvaporationSputtring1. 기판의 표면에 기복이 존재하는 경우에는 증착이 되지 않는 부분도 있고 부위별로 두께가 다름 2. 소스뿐 아니 ... Source Target기 판플라즈마-+-++-스퍼터링 원리※ Ar기체를 쓰는이유 - 소스타겟과 반응성이 없어야 하므로SPUTTERING스퍼터링 원리Copyright Group 11
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18
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    [발광디스플레이 실험] CNT 성장을 위한 기본 기판 만들기
    한다. 이때 배기체적 내에 있던 오일도 기체와 함께 유조로 배출된다.6) Turbo pump터보펌프는 초기 분자펌프의 배기속도가 작고 낮은 압축비를 가지는 단점을 보완하기 위해 베커 ... 으로 photoresist가 제거된다. wafer위에는 pattern 대로 생성된 산화막 만이 남음으로써 photolithography 과정이 완성된다.2) Sputter의 원리스퍼터링 현상 ... 은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며 현재는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다. 스퍼터링은 높은 에너지(＞30eV)를 가진 입자들이 target에 충돌
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2012.01.01
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    재공실 - sputtering 결과보고서
    로 나눌 수 있다.1) Pump : 챔버내에 있는 기체분자를 제거하여 진공상태로 만들어준다. 진공펌프는 배기원리와 사용조건에 따라 매우 다양한 펌프들이 있고 모든 진공범위에서 작동 ... 있는데 저진공을 잡아주는 Rotary pump와 고진공을 잡아주는 Turbo Molecular pump(TMP), 그리고 실험이 진행될 Chamber와 높은 에너지로 인해 가열 ... 하는 펌프는 없기 때문에 어느펌프를 연결할 것인가 하는 펌프간의 조합도 매우 중요하다.2) Power supply : 음극에 전원을 공급하는 장이치다. 직류 또는 교류로 사용이 가능
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.10.29
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  • 자료 표지
    PVD
    목적하는 박막의 구성원자를 포함하는 고체의 타겟을 물리 적인 작용 ( 증발 , 승화 , 스퍼터링 , 레이저가열 등 ) 을 통해 원자 , 분자 , 클러스터 상태로 기판표면에 수송 ... Sputtering스퍼터링 (sputtering) 현상은 1852 년 William Robert Grove 에 의하여 처음 발견 1920 년 Langmuir 에 의해서 박막증착 기술로 발전 ... 조건e Gauge Throttle Velve56 Sputtering (Target gun) Target gun57 Sputtering (Pump) TMP(Turbo-Molecular
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 77페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.12.24
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    진공증착 (Sputtering)_pre
    스퍼터링 증착방법의 원리를 알아본다.그리고 증착된 박막의 구조가 압력, 전류에 따라 어떻게 변하는지 확인해본다.Ⅱ Theory1. 진공펌프진공펌프(vacuum pump)는 대기압 이하 ... .저진공 펌프고진공 펌프초고진공 펌프760~1×10-3 torr-rotary vane, oil sealed mechanical pump-sorption pump-venturi ... 진공 펌프저진공 펌프의 종류 (760~1*10-3 Torr)- Rotary vane, oil-sealed mechanical pump- Sorption pump- Venturi
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.06.10
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    스퍼터링
    스퍼터링 (sputtering)-결과 보고서-목차1.실험목적2.기초이론 및 원리3.준비 기구 및 장치4.실험과정5.실험결과6.토의 및 고찰7.인용 및 참고문헌1. 실험 목적 ... 스퍼터링은 박막 태양전지 외에도 반도체, LCD, 유기EL등의 평판 디스플레이, CD, HD, MD 등의 각종 기록매체, 휴대폰, 정밀, optic lens, 장식 내마모 내식성 기능막 ... 에 어떠한 상하관계가 있는지 공정변수와 관련지어 알아보도록 한다.2. 기초이론 및 원리1)스퍼터링(sputtering)이란?이온원자target surfaceㅡ 글로우 방전에서 발생
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.16
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  • 자료 표지
    E-beam evaporator 원리
    중요하다. 스퍼터링이 많은 공정단계에서 e-beam 증발법을 대신하고 있다.e-beam evaporator는 PVD공정에 속하는 공정으로써 재료의 코팅에 매우 중요한 공정으로써 각종 ... 는 것을 막기 위해서 설치된 것이다. 전자빔 증착이 진행되는 동안 진공의 공간은 진공 펌프계의 역할로 계속해서 진공이 유지가 된다. 가열이 됨과 동시에 냉각수에 의해서 hearth ... . 따라서 작업 중에는 항상 조심해야 한다.또한 e-beam evaporator에서는 high vacuum에서 이뤄지기 때문에 챔버 안의 진공도를 높일 수 있는 vacuum pump
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2015.06.12
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  • 판매자 표지 자료 표지
    플라즈마를 이용한 Sputtering과 식각 (GZO증착)
    )① 펌프를 이용해 10~20mtorr까지 진공화 한 후 RIE에 주입할 gas의 양을 CF : 0.25sccm Ar : 0.45sccm으로 setting한다.② 유량 setting ... 기 때문에 산란에 의한 영향이 적은 것으로 보인다.증착시간이 증가함에 따라 면저항은 크게 감소하였다. 스퍼터링 하게 되면 기판에 결정이 성장하는데 이 때 결정성이 높아지면 캐리어 ... 의 이동이 용이해져 저항이 감소하고 전도도가 증가한다. 따라서 스퍼터링 시간을 길게 해 박막의 두께를 높일수록 저항이 감소하게 되는 것이다.
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.07.01 | 수정일 2019.06.07
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  • 자료 표지
    재공실 실험2 결보 - RF-Magnetron Sputter를 이용한 박막 증착 원리 이해
    되어 기판을 손상시킬 수 있다.- E-beam evaporator 장비는 크게 6개의 파트로 나눌 수 있는데 저진공을 잡아주는 Rotary pump와 고진공을 잡아주는 Turbo ... Molecular pump(TMP), 그리고 실험이 진행될 Chamber와 높은 에너지로 인해 가열되어있는 Chamber를 식혀주는 역할을 하는 Chiller, 이 모든 과정을 제어 ... 을 가열하도록 해주는 장치이다.2. E-beam evaporator와 Sputter의 장·단점 및 작동 원리상 차이점 비교? 스퍼터링의 장점으로는 넓은 면적에서 균일한 박막두께 증착
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.10.29
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  • 자료 표지
    박막증착
    되어 비 휘발성의 박막물질과 펌프로 배기시킬수 있는 기체상태로 분리되는 유기혹은 수소화합물이다. 두 방법은 특정 목적을 달성하기 위해서 사용되는 보조적인 장치의 다양한 기술들로 분류 ... 다.1) Sputtering모든 종류의 스퍼터링에서 박막이 만들어지는 덩어리 물질은 target 또는 음극(캐소드)라고 불린다. -후자는 스퍼터링 하는 동안에 그 전기적 에너지 ... 를 일컫는다.(1)다이오드/마그네트론 스퍼터링초기의 다이오드 스퍼터링 소스는 plasma 최적화를 위해 전기장모양으로 만들어진 target을 사용했다. 그러나 다이오드의 비효율성과 복잡
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    | 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.06.05 | 수정일 2013.12.01
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  • 자료 표지
    REPORT-마이크로나노(MEMS 및 ICS)
    속에서 식각을 하지 않고 기체상태에서 용액 없이 식각을 진행 하는 방법으로 가스 식각, 스퍼터링효과 식각, RIE 식각으로 분류된다.1.가스식각: 기체상태의 HF를 이용 ... 로 되어 실리콘이 식각된다.2.스퍼터링 효과에 의한 물리적 식각: 물리적 충돌에 의해서 실리콘 원자가 표면에서 뜯겨져 나가는 것3.RIE 식각CCP : c ... 여 장착 시키는 진공 Port를 가지고 있다. 반응생성물과 사용되지 않은 기체들은 진공 Pump로 반응로 바깥으로 배출(배기)된다.수직으로 놓인 Wafer의 간격은 잘 조정
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.07.08 | 수정일 2022.12.17
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  • 자료 표지
    스퍼터링 실험실 설계
    빈도가 낮아 양산에 적합하다.이온빔 스퍼터링의 장치도Sputtering의 창치 구성로터리 펌프(rotary vane pump) 로터리 펌프의 내부구조 및 작동순서일반적으로 실험실 ... ), 레이드의 회전에따른 분자들의 움직임일반형 진공펌프 제조사 : Ulvac 판매사 : 4science Vacuum Pumps, G-series, with Two-Stage ... , Direct Drive Oil Sealed Rotary Type, 일반형 진공펌프, 직결형, 6 Lit. to 120 Lit. ■ Double stage vacuum pumps
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 54페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.03.28
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  • 자료 표지
    증착결과 보고서
    Pump Switch를 ON으로 한다.⑤ Rough Valve를 풀어준다.⑥ 진공의 정도를까지 (Tube 안이 무색이 될 때) 확인한다.⑦ Rough Valve를 잠그 ... 고, Foreline Valve를 연 후, Diffusion Pump를 ON으로 한다.다.⑧ Foreline Valve를 풀어 완전히 열어준다.⑨ Diffusion Pump를 켜준 후 따뜻 ... 를 잠근다. 그리고 Leak Valve를 열어 공기를 주입한다.⑭ Diffusion Pump가 냉각되면 Foreline Valve를 잠근다. 그리고 Rotary Pump Switch
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.06
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  • 자료 표지
    magnetron sputter를 이용한 박막 형성 실험레포트
    는 것도 진공의 응용이다. 같은 원리로, 배수 펌프장이나 우물 등에서도, 진공을 이용해 물이나 기타 액체를 빨아올리고, 요즘은 아파트에서 중앙 집중식 음식물 쓰레기 수거용 이송작업 ... 를 가하 여 운동에너지를 가지는 해당 물질이 물리적으로 분리되어 다른 기판에 쌓 이게 함으로 박막층이 만들어지게 하는 방법을 물리 기상증착법(PVD)이라고 한다. 크게 스퍼터링(s ... 으로부터 원자와 분자가 떨어져 나와 박막을 만드는 방법을 말한다. VLSI의 금속 박막 증착에 많이 사용되어지며, 경우에 따라서 Si, SiO2 등의 박막형성에도 이용된다. 스퍼터링 방법
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.08.18
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  • 자료 표지
    진공증착 (Sputtering)_re
    SputteringⅠ Abstract이번 실험은 스퍼터링에 대해 이해하고 그와 관계된 압력계, 펌프등에 관해 이해하는 실험이었다. 이 번 실험에서는 wafer에 금속 박막, 절연 ... 가 가장 큰 것으로 생각된다. 실험 이외에도 가스의 종류에 따른 플라즈마 색의 변화, 증착된 박막의 구조, 여러 가지 펌프와 압력계, 스퍼터링 이외의 박막증착법에 대하여도 조사를 통해 ... 체를 증착하는 물리적 증착방법인 sputtering을 이용해 glass plate에 금속박막을 증착시켜 보았다. 증착질량을 이용하여 스퍼터링 후 얼마나 많이 도금되었는지 확인할 수
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 8페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.06.10
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  • 자료 표지
    sputtering(스퍼터링)
    스퍼터링(Sputtering)1) 스퍼터링(sputtering)의 정의Figure 1. Computer simulation of a portion of collision s ... equence initiated by a single ion-bombardment event in a solid lattice스퍼터링이란 Glow dicharge를 이용하여 이온을 형성 ... 하고 금속판에 아르곤 등의 불활성 원소를 부딪쳐서 금속 분자를 쫓아낸 후 substrate 표면에 막을 부착하는 기술이라 할 수 있다. 진공이 유지된 Chamber내에서 스퍼터링
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    | 리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.12.01
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  • 자료 표지
    Lithography, Sputter, VSM, PHR, MR 의 실험 이론 및 방법 및 결과 및 고찰
    자세히 알아보자.a. Pumping - 챔버에서 연결된 배출구로 펌프가 연결되어 있는 부분이다. 1차, 2차 펌프가 연결이 되어있다. 이걸 손으로 작동하여 동일한 펌프의 작동 하 ... 어 나오게 된다. 이러한 원자들이 원하는 기판위에 쌓이게 되는데 우리가 원하는 물질로 성장 시키는 것이다.1-2 스퍼터링 장치- 스퍼터링의 장치는 대략 왼쪽과 같은 그림이 기본이 ... 다. 모래시계 모양은 밸브를 나타낸 것이다. 크게 진공챔버, 파워서플라이, 펌프, 가스제어부 등으로 구성된다.① 진공챔버- 진공챔버의 개략도는 왼쪽의 그림과 같다. 각각의 장치에 대해서
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 31페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.12.18
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    각종 진공 펌프 원리 사용 방법 sputter 1
    1.각종 진공 pump 원리 및 사용방법1) 진공 pump의 분류pump의 종류는 그 저진공, 고진공, 초고진공 등으로 나눌 수 있으나, 어떤 펌프를 어떤 압력에서 사용 ... 로 나눌 수 있다.- positive displacement 펌프: 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo ... -molecular pump) 등 대부분의 기계적인 pump가 이에 속한다.- entrapment 펌프: 배기시킨 기체가 여전히 진공 용기나 펌프 속에 남아 있는 경우이다. ‘포획
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    | 리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.03
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    각종 진공 펌프 원리 사용방법 sputter
    1. 각종 진공 Pump 원리 및 사용 방법1. 진공펌프의 구분압축배출식용적식왕복 운동식피스턴 펌프다이어프램펌프회전식액체링펌프회전베인펌프회전피스턴펌프트로코이드펌프루츠펌프스크류펌프 ... 저온펌프2. 펌프의 압력 범위Roughing pump760 ~ 1x10^-3 torr피스톤 회전 펌프 (rotary piston oil - sealed mechanical pump ... )오일 회전 펌프 (rotary vane, oil - sealed mechanical pump)드라이 펌프 (dry vacuum pimp ; oil free)섭션 펌프 (s
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    | 리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.03
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  • 자료 표지
    각종 진공 pump 원리 및 사용 방법
    1. 각종 진공 pump 윈리 및 사용 방법⑴. 진공 pump의 분류1) positive displacement 펌프 : 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리펌프 ... (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)등 대부분의기계적인 펌프가 이에 속한다.2) entrapment 펌프 : 배기시킨 기체가 여전히 ... 진공 용기나 펌프 속에 남아 있는경우이다. 포획 펌프(capture pump)'라고도 부른다. 여하튼 진공 용기 내부의공간으로 부터 기체분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.06.03
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2025년 10월 21일 화요일
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