"스퍼터링 펌프"의 검색결과 입니다.

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스퍼터링 펌프 cvd 스퍼터링 pvd Sputter evaporator Cr ITO 증착

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"스퍼터링 펌프" 검색결과 21-40 / 153건

스퍼터링, RIE 실습 레포트

한 박막을 형성하기 위해 챔버 내부를 진공 상태로 만들어 불순물을 제거해야한다. 우선 Roughing valve를 열어 로터리 펌프(Rotary pump)를 이용해 대기압에서 저진공 ... 플라즈마 공학스퍼터링 & RIE 실습 레포트Ⅰ. 실험목표Ⅱ. 이론적 배경Ⅲ. 실험장비 원리 및 방법Ⅳ. 실험결과Ⅴ. 결론 및 고찰Ⅰ. 실험목표ⅰ) DC플라즈마를 이용한 유리기판 ... 위 금속 박막 증착 및 광학적 투과율 측정DC 플라즈마를 이용한 스퍼터링 증착 방법으로 유리기판 위 금속 박막 증착 시 일정 파워와 일정 압력에서 증착시간, 전체 유량, O2

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| 리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.06.28

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[고체 물리] 스퍼터링 결과 보고서

. Vacuum pump의 종류와 원리에 대해 알아보자.챔버 내의 기체분자를 제거하는 장치로 대기압 이하의 저압 기체를 흡입 압축해 대기 중에 방출하고 용기 속의 진공도를 높인다. 실험 ... 에서 챔버 내 진공을 만드는 것이 매우 중요했는데, 우리 장비는 로터리 펌프와 터보 펌프를 가지고 있었다.-기계적 진공펌프압축기로서 사용가능한 것은 모두 진공펌프로 이용할 수 있다. 일반 ... 적으로 수봉식과 기름회전식이 있다.수봉식 진공펌프는, 원통형 케이성에 물을 넣고 편심하게 부착한 날개차(impeller)를 회전시키면, 물이 원심력에 의해 케이싱의 바깥둘레 부분

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.07.30

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나노화학실험 CVD 예비보고서

kPa1atm = 760Torr = 1.01325bar = 1.013x105Pa = 101325Pa[1.3] 사용진공영역진공도 범위적용되는 공정진공펌프의 기종저진공(Rough ... Vacuum)대기압~1Torr진공흡착이송, 분말충진, 진공성형, 진공포장건식로타리베인펌프, 급유식로타리베인펌프중진공(Fine Vacuum)1Torr~10-3Torr진공건조, 탈기장치 ... 확산펌프, 피스톤펌프고진공(High Vacuum)10-3Torr~10-7Torr진공코팅, 진공합금, 신소재합금, 진공동결건조흡착펌프, 승화펌프, 확산펌프, 터보분자펌프초고진공

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| 리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2020.06.30 | 수정일 2021.05.30

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신프3 광전자 결과

1. 실험 목적: a)Sputtering을 이용한 태양전지 전구체 증착b)I-V 측정을 통한 박막의 전지적 특성 평가2. 실험 이론2-1.) 박막이란?진공 증착이나 스퍼터링 등 ... ) - 물리적 증착 방법 (PVD)ⅱ) -화학적 증착 방법(CVD)2-4) 스퍼터링이란?스퍼터링은 PVD 증착방법의 대표적인 예로 증착하고자 하는 물질(target)과 막을 입힐 ... 과 부딪쳐서, 금속 입자가 튕겨 져 나와 반대편에 있는 substrate에 쌓이게 되는 원리이다.2-5) 스퍼터링의 장,단점장점단점▶여러 가지 다른 재료에서도 성막 속도가 안정되고 비슷

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| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.01.27

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Glow discharge

는 것을 통해 방전관의 극을 알 수 있지만 양극 주위에는 양광주가 생성되지 않는 것이 설명되지 않았다.이러한 오차는 진공펌프의 고장으로 생겼다고 생각한다. 진공펌프에 구멍이 나있 ... 기 때문에 방전관의 마개로 방전관을 밀폐시킬 수 없기 때문에 마개를 열어둔 채로 진공펌프를 계속 작동 시키면서 실험을 진행하였다. 이로 인해 플라즈마 상태의 기체가 진공펌프 쪽으로 흡입 ... 되어 원래의 형태를 갖추지 못한 상태가 되었다고 생각한다. 따라서 이러한 오차를 줄이기 위해 진공펌프를 교체해야 한다.(3) 실생활 예시글로방전은 유리관을 채운 기체의 종류에 따라

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| 리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.03.02 | 수정일 2020.03.03

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[반도체 공정 및 실습]Cryo pump

가속화학연구E-beam, 용접기상증착이온주입우주개발재료연구금속공학물리연구표면연구MBE2. Cryo pump가. 크라이오 펌프기체를 아주 차갑게 하여 펌프 내에서 얼거나 붙잡혀 있 ... 것을 만들 때 크라이오 펌프를 사용한다.나. Cryo pump의 구성크라이오 펌프는 펌프 모듈과 컴프레서 모듈로 구성된다. 이러한 두 개의 모듈은 폐 루프 냉장 시스템을 형성하기 ... 시스템과 컴프레서의 손상을 방지하기 위한 연동 장치와 컴프레서와 팽창기의 작동을 위한 전력 공급기로 구성된다.다. Cryo pump의 동작 방법크라이오 펌프 작동에 있어서 헬륨

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| 리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.09.01 | 수정일 2020.08.10

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플라즈마 공학 실험 - DC 스퍼터링 및 RIE 식각 실험 레포트

상태로 만든 후, 스퍼터링을 실시해야한다. 그러기 위해선 Roughing valve를 열 어 이온관과 Rotary pump를 연결시켜 기계적인 방법으로 상대적으로 큰 입자 ... 를 만들었다. target 물질을 기판에 증착시키는 박막증착법에서 이번 실험에서는 물리기상증착법 중 스퍼터링의 방법을 이용하였다. 스퍼터링은 비교적 낮은 진 공에서 플라즈마를 이온 ... 된다. 이 때 증착시키는 target물질의 스퍼터링수율을 높이기 위해서는 우선 입 사 되는 이온의 질량과 target물질의 질량이 최대한 비슷한 것이 좋다. 또한 챔버내부의 진공 상태

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| 리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2017.06.25

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태양전지 정의 및 이론 정리 만점 받은 레포트

로 이동하면서 아래에서 위로 단결정을 형성 시키는 방법.? 물리기상 증착(PVD ? Physical Vapor Deposition)- 스퍼터링(sputtering) 물리적 기상 ... 증착 : 스퍼터링은 글로우 방전에서 발생되는 정이온을 전계에 의해 높은 에너지로 가속시켜 고에너지의 정 이온이 고체의 표면과 충돌하면 고체 표면의 원자 또는 분자가 표면에서 밖 ... 으로 튀어나오는 스퍼터링 현상을 이용한 박막제도 방법이다.? 화학기상 증착(CVD - Chemical Vapor Deposition)- 열 CVD 법 : 반응 압력에 따라 상압과 감압

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| 리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2019.02.28 | 수정일 2021.07.01

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CVD의 구조

고온 (because 화학 반응 ) 온도 상온에서도 가능 MOCVD, HVPE 등 종류 스퍼터링 , 전자빔 증착법 , 열 증착법 등CVD Chapter 2CVD CVD ... Controller RF Generator Pump Structure of PECVD StructureSummary Chapter 4Chapter 4 Summary S ummary

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| 리포트 | 15페이지 | 3,000원 | 등록일 2017.06.05 | 수정일 2017.06.06

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pvd,cvd의 종류와 원인 분석, 펌프와 진공펌프의 종류,원리 분석

다) - 양흡입 일때는Q/2를 대입H : 양정 ( m ) - 다단일때는 단단양정을 대입2. 주축의 방향 에 따라-. 횡형펌프 (Horizontal Pump) : 주축이 수평 ... 으로 배열-. 입형펌프 (Vertical Pump) : 주축이 수직으로 배열-. 사형펌프 (Mixed Pump) : 주축이 경사지게 배열3. 흡입 형식 에 따라-. 편흡입 펌프 ... (Single Suction Pump) - 한쪽으로 흡입-. 양흡입 펌프 (Single Suction Pump) - 양쪽으로 흡입4. 단수에 따라-. 다단펌프 (Multi Stage

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| 리포트 | 21페이지 | 3,500원 | 등록일 2017.01.31

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건식식각 PPT

과 RF 스퍼터 식각으로 분류 He 보다 질량이 큰 Ar , Kr, Xe 이온 사용시 효율이 좋 다건식식각의 종류 진공펌프 ~ ~ 진공펌프 Gas 진공실 이온 빔 테이블 웨이퍼 ... RF 발생기 양극 웨이퍼 음극 이온빔 식각 RF 스퍼터 식각건식식각의 종류 입사각 a 에 따른 스퍼터링 효율건식식각의 종류 2 ) 화학적 식각 반응성 강한 물질을 표면과 반응 ... -8500 일본 TEL 사의 장비 본체 , 제어장치 , 냉각기 , 진공펌프 , 고주파 발생기 , 교류 공급 장치 RF Power Out Line 은 고출력이 나오므로 손이 닿지 않도록 해야함THANK YOU{nameOfApplication=Show}

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| 리포트 | 25페이지 | 3,000원 | 등록일 2017.06.05

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스퍼터링, sputtering

CVD 증발법 스퍼터링 이온 플레이팅 장치의 구성 01 Sputtering 장치의 구성 D.C Sputtering 장치 개략도 장치의 구성 Pumping : 배기속도와 진공도 ... MFC 로터리 펌프 단면도 Oil diffusion 단면도 Turbo pump 단면도 원리 02 진공 플라즈 마 이론 Sputtering 진공 PV= nRT 이상기체 방정식 P ∝

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| 리포트 | 38페이지 | 3,800원 | 등록일 2016.01.04

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스퍼터링(Sputtering) 결과 레포트

① Pump- 오일 로터리 펌프 (Oil Rotary Pump)기본구조는 Rotor, Vane, Cylinder로 구성된다. Rotor의 중심이 Cylinder 중심의 편심으로 의해 ... - 터보 펌프 (Turbo Pump)동축이 회전자 (Rotor)와 고정자 (Stator)로 구성되어 있다. 수천 내지 수만 rpm의 고속으로 회전하는 회전자의 날개들이 그들의 영역 ... 결과 레포트Thin Film 공정 : Sputtering윤영훈차례1. 실험 목적2. 실험 원리1) 글로우 방전2) 스퍼터링3) RF4) 기타 도구 및 용어3. 실험 과정4. 실험

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.05.18

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3. Thermal evaporation 예비

은 발시키는 방법과 이온 스퍼터링에 의해 원자상태로 방출시키는 방법이 있다. 그런데 이온 도금은 이들 두 방법 중 어떤 방법으로 표적재료(증발재료)를 증기상으로 만들던 간에 코팅증 ... 링, 이온도금 등의 방식은 요구되는 코팅종류에 따라 선택되어지는데, 진공증착은 스퍼터링 방법에 비하여 극히 빠르게 코팅할 수 있으며, 이온 스퍼터링은 코팅층의 합금성분과 피복율을 쉬 ... 한다.r 정도로 일차적으로 배기한 후, 확산펌프를 이용하여 고진공으로 배기하도록 설계되어 있다. 확산 펌프는 물이나 액체질소로 펌프벽을 냉각시켜 펌프오일의 응축을 돕고 오일이 진공실

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| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.22

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판매자 표지

표면개질공학-2

기화를 이용해 밀착강도와 증착속도가 낮으며 도가니가 증발해 도가니 물질이 증착될 가능성이 있다.스퍼터링은 진공 챔버 내에서 전자에 의한 Ar+ 이온이 타겟(증착물질)을 충돌해 타겟 ... 원자가 스퍼터링 되어 기판에 흡착하는 pvd 방법으로 열을 이용하지 않기 때문에 도가니의 증발이 없다. 대전에 의한 증착으로 밀착강도가 높으나 증착속도는 매우 낮다. 정확한 두께 ... )에서 나온 원자가 전압에 의해 가속되어 기판에 가서 흡착하는 방법으로 진공증착과 스퍼터링을 합한 개념이다. 증착속도가 빠른 장점이 있다.PVD는 증착물질 조성범위 제약이 별로 없

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| 시험자료 | 5페이지 | 2,000원 | 등록일 2016.06.24 | 수정일 2022.10.17

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신소재공학실험 집적회로실험보고서 반도체 집적회로 IC

? 오염한 오염 가능성.(2) 스퍼터링의 종류(가) 직류 인가 스퍼터링(D.C Glow Discharge sputtering)가장 간단한 스퍼터링 구조로서 전도성 물질의 스퍼터링에 사용 ... 된다. 이 구조의 가장 큰 단점으로는 비전도성 물질의 스퍼터링이 불가능하다는 것이지만 가장 일반적으로 손쉽게 사용할 수 있다는 것이 장점이다. 또한 이 장치는 반응성 스퍼터링 ... (reactive sputtering)에는 적합하지 않은데, 특히 타겟 표면에 절연물을 형성함으로써 타겟의 오염을 유발시킬 수 있기 때문이다. 전형적인 직류 인가 스퍼터링의 구조를 아래

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| 리포트 | 37페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.06.29

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cu를 이용한 박막 증착 실험보고서

의 장점을 가진다. 최근에는 모재와 코팅층 사이에 스퍼터링, 침투확산, 이온믹싱, 화학반응 등의 표면반응을 통해 경사가능(graded interface)의 개념이 확립되어 우수 ... 융점 재료의 증착, Multiple deposition이 가능하지만 X-ray 및 와류, discharge 발생 등의 문제점이 있다.로터리(Rotary) 펌프압력은 높은 곳에서 낮 ... 은 곳으로 이동하는 힘이라고 이야기 했었다. 자연 상태에서는 언제나 이런 현상이 당연하게 일어난다. 그러나 진공펌프는 그 반대로 기체를 압력이 낮은 곳에서 높은 곳으로 강제로 이동

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| 리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.06.20

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진공 및 박막 실험 최종 보고서

부스터 펌프의 원리3) Booster Pump (부스터 펌프)부스터 펌프는 Roots 펌프와 매우 흡사하며, 일종의 송풍기로 사용한다. 펌프의 구성은 회전자와 고정자로 이루어져 있 ... 할 수 있다.4) Turbomolecular Pump (터보 분자 펌프)터보 분자 펌프는 오일을 사용하지 않기 때문에 깨끗한 고진공 펌프라 알려져 있다. 터보 펌프는 동일한 용량 ... 터 내부를 흡입-팽창-압축-배기 등의 과정을 거쳐서 배기가 되어 챔버 내부를 진공상태로 만드는 것을 잘 이해할 수 있었다.(2) 오일확산펌프(Oil Diffusion Pump

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| 리포트 | 53페이지 | 6,000원 | 등록일 2012.11.24

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스퍼터링

들을 이해할 수 있게 되었다. 또한 진공 펌프를 포함한 진공 기술의 발전으로 인해 스퍼터링은 널리 이용되기 시작하였다.2) 스퍼터링의 원리스퍼터링 필름은 진공코팅필름의 한계를 극복 ... Positive displacement 펌프① 로터리 펌프(rotary vane pump)그림1. 로터리 펌프의 내부구조 및 작동순서그림 1에 일반적으로 실험실에서 저진공 용도 ... 에 각별히 주의해야 한다.4-3) Entrapment 펌프① 이온 펌프(Ion pump)그림7. Ion pump의 작동 원리이름에서 짐작할 수 있듯이 기체를 이온화하여 표면과의 반응

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| 리포트 | 23페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.11.25

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진공 및 박막의 전제척인 개념 및 박막의 3가지 성장모델, CVD & PVD 비교 정리

)=양옆의 양극과 그 위아래 두개의 음극으로 구성하며 원통의 축 방향에 자장을 인가한 페닝 셀을 다수 배치하여 방전 시켜 진공을 얻는 초고진공용 펌프이다. 음극에서 방출한 전자 ... 는 양극에 비행하면서 가스를 이온화한다. 이온분자는 가스흡수성 게터재료로 된 음극에 충돌하여 스퍼터링을 일으키며 게터막 주변에 증착된다. 이온 및 중성 가스는 게터 고체막 속에 주입 ... 포획된다. 이온펌프는 주로 화학흡착으로 동작하는 흡수식 진공펌프이며 기계적 진동이 없으며 기름증기가 없어 수명이 길고 초고청정 진공이 요구되는 표면실험장치, 표면분석계, 입자가속기

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| 리포트 | 8페이지 | 6,500원 | 등록일 2013.04.22 | 수정일 2022.11.21

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