"터보분자펌프"의 검색결과 입니다.

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진공펌프 스퍼터링 펌프 터보분자펌프 cvd 인하대 공정모사 스퍼터링 로타리밸브 bayard-alpert gauge

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"터보분자펌프" 검색결과 121-140 / 164건

RF Magnetron Sputtering

Turbo Molecular pump터보 분자 펌프의 손상 요인 외부 물체의 유입 외부 자기장의 영향 부식 가스의 유입 작동 중 갑작스러운 공기의 유입 외부로부터의 충격Turbo ... pump오일, 윤할제 역할, 마찰열감소, 기밀함유지 Gas ballast 점성유동, 초벌배기 펌프, 압력차의한 진공Vane, 회전자에 의해 기체압축 되어 배출벨브를 열기에 충분 ... 한 압력을 형성배출벨브 OPEN, 기체배출진공도 UP 10-3 TorrRotary vane pump카풀링, 키 교환모터와 펌프 사이 카풀링검사, key 검사MOTER만 돌고 PUMP

리포트 | 35페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.04.20

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[진공]진공도

(High Vacuum)10-3Torr-10-7Torr진공코팅, 진공 동결 건조, 진공 합금 ,신소재합금확산펌프, 터보 분자 펌프, 흡착펌프, 저온 냉각 펌프, 승화펌프초고진공 ... (Ultrahigh Vacuum )10-7Torr 이하원자핵 연구장치 ,전자 현미경 Plasma발생기, 물리 실험 장치터보 분자 펌프, 저온 냉각펌프, 흡착 펌프1. 로타리 베인 펌프일반 ... 아래의 표와 같이 몇 가지로 구분되어 불리어지고 있다. 진공영역을 이 같이 구분하는 이유는 각 진공 영역에 따라 적용되는 공정이 달라지고, 펌프의 기종 또한 다르게 되기 때문이

리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.04.20

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유체기계

-㉠압축기, ㉡진공펌프, ㉢압축공기터보형송풍기 팬(fan) 원심팬 다익팬(시로코)사류팬 레디얼팬축류팬 터보팬(후향팬)횡류팬 익형팬블로워 원심블로워사류블로워축류블로워터보형압축기 원심압축 ... 를 하향으로 고속도 분출시킴. 분출증기류에 보조진공의 기체분자가 혼입됨과 동시에 혼류가 냉각된 실린더 내벽에 부딪쳐 유증기는 응결하여 액체로 되어 벽면에 따라 펌프의 밑바닥 ... 소④ 터보송풍기(turbo fan)-날개가 회전차의 회전 방향에 대하여 뒤쪽으로 기울어짐(후향깃).날개의 길이가 길고 폭이 좁으며 , 회전방향과 반대방향으로 굽어있음 날개수 10

리포트 | 16페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.09.28

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No.26 진공 정보의 지식화

펌프에 관하여5. 터보 분자 펌프의 작동 원리 및 전망6. Cryo pump에 대해서7. 오일 확산 펌프(Diffusion pump)8. Getter pump에 관하여9. 이온 ... 펌프들14. 공정부산물(by-products)이 배기 시스템에 미치는 영향15. W - CVD와 식각 공정에 관하여16. 배기 시간(Pumping down time)의 계산17 ... 제목(저자)연도 / 출판사진공 공학(배석희 외)00. 06. / 한국경제신문사1. 진공 기초진공의 역사와 응용기체분자 운동법칙기체의 흐름 / 기체와 고체2. 진공펌프진공펌프의 기능

리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.11.28

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진공펌프의 종류 및 특징

는데 많이 쓰이고 있다.< 그림 2. 저온 펌프의 구조와 원리 >☞ 터보 분자 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP)이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도 ... 를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 저 회전자와 그사이에 있는 고정자를 써서, 공기의 입자운동에 일정한 방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 것이다.터보 분자 펌프 ... 의 온도조건 등에도 영향을 받기 때문에 자주 교정(較正)을 필요로 하는 어려운 점도 있다.진 공 펌 프━━━━━━☞ 확산 펌프 (DIFFUSION PUMP)확산펌프는 액체(일반

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.08

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[공학]OM과 TEM

시료계관찰기록 검출계진공배기계자선의 통로를 진공으로 유지시키기 위해 각종 배기펌프로 구성 확산펌프, 터보 펌프, 이온 펌프등TEM의 특징분해능이 0.18nm이하로 상당히 높기 때문 ... 에 물질의 분자, 원자수준의 미세구조를 관찰 할 수 있고, 전자회절현상을 이용하여 물질의 결정구조를 분석 할 수 있다TEM의 용도의학,생물 분야에서는 미생물, 세포 등의 생체조직

리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.19 | 수정일 2016.01.14

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[물리실험]고진공 및 잔류가스 분압 측정

내에 붙잡고 있는 방식을 말한다.- Tubormolecular pump -: 터보 분자 펌프는 이 실험을 하는데 사용된 펌프로, 기체 분자들의 운동량과 방향을 제시하여 고속 회전 ... 공간을 채운 기체의 압력이 대기압보다 낮을 때를 진공이라 정의한다.2. 진공펌프 : 진공펌프의 분류는 여러 가지로 할 수 있지만, 용기내의 압력을 낮추는 또는 기체 분자 밀도를 낮추 ... // Setting //1> 냉각수를 확인한다. Rotary pump를 켜기 전에 Turbo molecular pump ( normal speed : {6000 rpm)의 venting

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.07

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[화학실험]비정질벌크 및 박막제조(pre레포트)

한 방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 것이다.터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되는 전자 현미경이나 각종 ... 분자 펌프이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 저 회전자 와 그사이에 있는 고정자를 써서, 공기의 입자운동에 일정 ... (transportation) - 증발된 물질이 기판(substrate)으로 이동됨.3응축(condensation) - 기판에서의 핵생성 및 성장.2)박막 공정의 진공:증발된 기체 분자가 주위

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.02

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압축기의 역할 및 종류

에 따른 분류 1). 왕복동식 압축기 2). 회전식 압축기 3). 스크롤 압축기 4). 터보 압축기 5). 스크류식 압축기압축기의 역할1. 증발기에서 증발한 프레온가스(냉매)를 흡입 ... , 압축하여 압력을 높여서 비교적 높은 온도에서도 액화(기체가 액체로 되는 것) 할 수 있는 상태를 만듦. 2. 냉매에 순환력을 부여. 3. 분자들이 매우 밀집되어 있어 상온에서 액화 ... 이 연속적이고 고진공을 얻을 수 있어 진공펌프로 널리 사용된다. ⑤ 기동시 무부하기동이 가능하며 전력소비가 적다.2. 압축기의 종류2. 압축기의 종류3). 스크롤식 압축기

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.12.17

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반도체, 진공펌프, TFT

펌프 배기속도, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)2.4. 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)그림5. 터보분자 펌프의 배기 원리(pumping ... mechanism)위의 그림 5는 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가는 모습을 나타낸 그림이다.터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나 ... 게 positi키는데 이 경우 루츠펌프와 동시에 사용을 하면 이상적이라 하겠다.2.3 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)(B)그림4. 오일확산 펌프의 구조(A) 및 작동 원리

리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.04.01

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오엘이디보고서

을 뽑는다.- 로터리 펌프를 이용하여이하 까지 저진공을 뽑고 그 이상의 고진공은 터보 펌프를 이용하여까지 고진공을 뽑는다.(이때, 고진공 압력을 확인하기 위해서는 이온게이지를 사용 ... 를 지닌 물질이나 다른 성분비를 지닌 화합물을 만들 수가 있다.7. 박막증착 형성과정? 재료의 증발에 의한 기체상으로의 상변화.? 증발원으로부터 기판까지의 원자 또는 분자의 이동 ... .? 기판위의 이들 원자 또는 분자들의 흡착.④ 기판 표면에서 particle들의 결합력의 변형 및 재배열 등의 물리적인 단계에 의해서 이루어진다.실험방법1. ITO가 증착된 유리

리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.01.22

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압축기에 대한 기본적 이해

분류 [2] 압축을 이루는 방식에 따른 분류 1). 왕복동식 압축기 2). 회전식 압축기 3). 스크롤 압축기 4). 터보 압축기 5). 스크류식 압축기압축기의 역할1. 증발기 ... 에서 증발한 프레온가스(냉매)를 흡입, 압축하여 압력을 높여서 비교적 높은 온도에서도 액화(기체가 액체로 되는 것) 할 수 있는 상태를 만듦. 2. 냉매에 순환력을 부여. 3. 분자 ... 되면 고압축비를 얻을 수 있다. ④ 압축이 연속적이고 고진공을 얻을 수 있어 진공펌프로 널리 사용된다. ⑤ 기동시 무부하기동이 가능하며 전력소비가 적다.2. 압축기의 종류2. 압축기

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.01.28

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[진공 펌프] 각종 진공펌프와 장단점

다?단점 : 오일 역류성, 기계적 펌프가 필요, 크라이오 트랩에가 필 요, 운영비용이 비싸다, 사고가 나기 쉽다, 수직으로 설치되 어야 한다, 적당한 동작이 중요,이상2. 터보 ... 분자 펌프 시스템?장점 : 덤핑으로부터 빨리 복구, 스타트가 빠르다, 일정한 속도, 오일 을 사용하지 않아 깨끗하다, 운영비용이 싸다, 높은 쓰루푸 트, 오염에 잘 견딘다, 작은 것 ... 1. 확산 펌프 시스템?장점 : 간편/ 신뢰성, 고속, 일정한 속도, 높은 쓰루푸트, 연속동작, 값이 싸다, 오염에 잘 견딘다, 움직이는 부분이 없다, 작은 것과 큰 사이즈가 있

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.07.19

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[재료공학]DC Sputtering시 진공펌프의 종류

펌프 (DIAPHRAM PUMP)? 루츠 펌프 (ROOTS PUMP)? 수봉식 펌프 (LIQUID RING PUMP)? 터보 분자 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP ... 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP)? 만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP)? 순환 급유식 로타리베인 펌프 ... (OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP)? 배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL INJECTED ROTARY

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.18

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[진공]진공에 대하여

는pump), 터보분자펌프(turbomolecular pump) 등 대부분의 기 계적인 펌프가 이에 속한다. 이는 배기의 개념이 진공용기로부터 기체를 외부로 이동시킨다는 것에 있 ... 기체분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부 를 수 있다. 흡착펌프(sorption pump)나 냉온펌프(cryopump)가 이에 속한다. 이 들 중 ... 다2.entrapment 펌프 : 배기시킨 기체가 여전히 진공용기나 펌프 속에 남아 있는 경우이다. '포획펌프(capture pump)'라고도 부른다. 진공용기 내부의 공간으로부 터

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.10.10

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[진공] 펌프와 게이지

하는데, 초고진공 영역에서 배속도가 매우 크므로, 우주선 실험 등 여러 분야에서 높은 진공도를 얻는데 많이 쓰이고 있다.Ⅳ. Turbo moleculor Pump터보 분자 펌프 ... 『진 공 펌 프』Ⅰ. Diffusion Pump(확산펌프)≫ 오일증기가 아래쪽을 향하여 분사되어 배기되는 가스 분자가 분사류속으로 확산하여 분사류 방향으로 압축되어 배기 ... 다.≫ 펌프용기 아래쪽벽에 압축된 가스분자를 후단의 오일 회전 펌프로 보내기 위해 배기구를 설치한다.≫ 펌프용기는 항아리 타입과 원통형으로 제작되는 것이 보통이며 재질은 스텐레스

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.04.09

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[반도체공정]반도체 기초공정

의 증발 등 오염물질이 발생하지 않는 스퍼터이온펌프 ·터보분자펌프 ·크라이오펌프 등을 많이 사용한다. 진공용 기재료(초고진공용 재료라고도 한다)로는 스테인리스강(鋼) 계통을 많이 사용 ... 1. Ultra-High-Vacuum?실험실에서 얻을 수 있는 약 10-8㎩의 진공상태를 말한다. 일반적으로 공기 속에서는 1㎤ 당 2.7×1019개의 기체분자가 서로 부딪치면 ... 다. 또 10-9㎩ 이하의 압력은 극고진공(extra-high vacuum)이라고 한다. 초고진공 상태에서는 1㎤ 중의 기체분자가 266만 개로 적어지며, 고체 표면을 1분자

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.02.02

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전기와 자기

체에 가까이 가져가면 원자는 상대적으로 고정된 위치에서 움직이지 않지만 각 전하의 중심이 움직여져서 원자나 분자의 한쪽 방향이 다른 쪽 방향보다 더 음성적이거나 양성적이 됨 전기 ... 해서 전기 퍼텐셜차, 즉 전압차가 형성될 수 있게 하는 전기펌프 전기퍼텐셜의 단위 = 볼트(V)전기저항 전류의 흐름을 저지하는 것 두께가 두꺼울수록 저항은 작아지고 길이가 길 ... 으로 힘을 받는다 도선의 편향력을 전동기 효과라 하고, 유도 법칙에 의한 결과를 발전기 효과라 한다전력 생산 터보 발전기 테슬라 발전기에서는 터빈으로 강한 자기장 안에서 전동자

리포트 | 52페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.24

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[물리과 실험] 글로우방전

글로우 방전1. Vacuum Pump (진공펌프)대기압 이하의 저압기체를 빨아들이고 압축해서 대기 중으로 방출함으로써, 용기 내의 {진공도를 높이는 장치. 압축기의 일종이 ... 도를 사용하기도 한다.{1 기계적 진공펌프{압축기로 사용이 가능한 것은 모두 {진공펌프로 사용이 가능하며, 다단(多段)터보압축기 왕복압축기 나사압축기 루츠 블로어(roots ... 한다. 확산펌프는 보조진공펌프로 어느 정도 진공도를 높인 다음 기름 또는 수은을 가열 증발시켜서 노즐에서 분사시켜, 그 분류와 함께 기체분자를 외부로 배출시키는 것이며, 기름을 사용

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.22

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[냉동]에어컨의 원리, 다른 방식의 냉동 시스템

있는 상태를 만든다.2. 냉매의 순환력을 부여한다.3. 압축을 인해 냉매 기체분자의 운동에너지가 증가하여 분자충돌로 인해 에너지를 얻어 냉매가스의 온도가 올라갑니다. 또한 분자 ... 사이의 거리가 매우 좁아져 단위 체적당 분자수가 증가한다. 즉 분자들이 매우 밀집되어 있어 상온에서 액화가 쉽게 되도록 한다.{압축기의 종류1. 왕복동식 압축기실린더내에서 피스톤 ... 증발된 가스상태가 된다.증발된 가스는 다시 압축기에 끌려 들어가 재압축되어 반복적으로 순환한다.2. 기존 시스템과 다른 에어컨 시스템 개략도1)히트펌프식 에어컨펌프란 낮은 위치

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.01.28

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