"터보분자펌프"의 검색결과 입니다.

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진공펌프 스퍼터링 펌프 터보분자펌프 cvd 인하대 공정모사 스퍼터링 로타리밸브 bayard-alpert gauge

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"터보분자펌프" 검색결과 21-40 / 164건

2019 인하대 화공실 A+공정모사 예비보고서

도, C : 성분의 수, P : 상의 수 )Pump, Heat Exchanger, Valve의 용도와 종류 설명- Pump펌프는 압축의 힘을 사용하여 액체나 슬러리 등을 이동 ... 시키는 장치로 이는 흡입과 토출에 의해 이루어진다. 펌프의 종류는 구조 및 작동원리에 따라 터보형, 용적형, 특수형으로 나뉘고, 용도에 따라 급수용, 배수용, 순환용, 소화용, 기름 ... 에 온도 의존성을 추가하였다. 유체에 대한 증기압 데이터를 맞출 수 있는 형식으로 선택된 것이다.VDW equation분자들의 유한한 크기와 입자간의 상호작용을 고려한 상태방정식으로 a

리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.08.26

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고진공 펌프 조사

고진공펌프1. 터보분자펌프(turbomolecular pump)단순히 터보펌프(turbo pump)라고 부르기도 한다. 1958년 Becker에 의해 고안되었고, 많은 진공회사 ... )로 연결해 사용할 수도 있다. 이렇게 하면Torr 까지도 가능하다(Varian 1992). 또한 분자드레그펌프(molecular drag pump)가 같은 축의 뒷부분에 붙어서도 비슷 ... (hydrocarbon)에 대한 압축비(compression ratio)가 크기 때문에 보조펌프(backing pump)로부터 오일이 역류할 확률이 극히 작다. 다른 고진공펌프에 비해 작동의 시작

리포트 | 11페이지 | 3,500원 | 등록일 2012.06.03

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투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리

)크라이오 펌프(Cryo pump)특징-압축기와 저온봉이 일체화된 스터링 형과 저온봉은 펌프내에, 압축기는 따로 외부에 설치하는 G-M형으로 나뉜다.장점단점-프레서의 동작으로 인한 소음 ... 에 한계가 있다.-활성탄의 교체가 주기적으로 필요하다.이온 펌프(ion pump)특징-이온화 과정을 이용하기 때문에(Sputter ion pump)라고 부르기도 한다.장점단점-배기 성능 ... 오일회전펌프-Vane이라는 회전하는 날개를 통해 기체분자를 흡입하고 기계적으로 압축하여 대기중으로 배출하는 방식이다.-흡입, 차단, 배기 세가지 과정이 있다.-회전운동이 원활

리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.03 | 수정일 2019.07.04

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pvd,cvd의 종류와 원인 분석, 펌프와 진공펌프의 종류,원리 분석

단을 단면으로 볼때에는회전차의 윗부분이 단면으로 나타내어진다. 이런 단면을 가진 PUMP를 R.S.P 라 한다.6. 특수구조인 터보 PUMP* 수중모터펌프(SUBMERSIBLE ... 에 부딪힌 후 액체로 응축되어 바닥으로 흘러내려간다. 바닥으로 내려온 오일은 다시 가열되어 위 과정을 반복하게 된다.(3)터보분자펌프[그림 16 / 터보분자펌프의 회전블레이드]위의 ... [그림16]은 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가는 모습을 나타낸 그림이다.터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 분자

리포트 | 21페이지 | 3,500원 | 등록일 2017.01.31

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Pump의 종류와 magnetron sputtering

● 원리 터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 fig1과 같이 플레이드에 부딧힌 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감 ... 으로써 배기가 이루어 진다. but, 실제 상황에서는 진공용기의 압력에 따라 다르다. ① 진공용기의 압력이 높은 경우 : 기체분자의 양이 많기 때문에 기체 분자들은 독립적으로 움직이 ... 지 못하고 서로 영향을 받게 되는데, 이처럼 분자의 평균자유행로(mean free path)가 짧고 분자들 사이에 힘이 작용하는 경우를 viscous flow라고 한다. 이때

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.09.26

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진공펌프 조사

급유식 로타리 베인 펌프5. 로타리 피스톤 펌프6. 로타리 기어 펌프7. 피스톤 펌프8. 다이아후렘펌프9. 루츠펌프10. 수봉식 펌프11. 터보 분자 펌프12. 확산 펌프13. 이 ... 는 성능저하는 물론이고 작동조차 하지 않는 경우도 있습니다.고진공펌프1. 건식진공펌프건식진공펌프는 반도체 제조공정의 진공상태 유지 및 터보분자펌프 작동을 위한 가장 중요한 기초 진공 ... 펌프입니다.반도체 공정 중 노광을 제외한 모든 공정에 사용되며 건식진공펌프와 터보분자펌프는 동일회사 제품을 구매하는 경향이 큽니다.건식진공펌프는 기름이나 물 같은 유체 씰링의 도움

리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.12.03

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진공 펌프 조사

은 티타늄 cathode를 sputter하여 새로운 티타늄 표면을 형성하여 gettering으로 기체입자를 붙잡는다.3.터보분자펌프터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자 ... 에 momentum transfer가 일어나고 이때 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어 진다는 간단한 원리를 가지고 있다 아래 그림에 일반적인 터보 분자 펌프의 구조 ... 에서는 압력차가 커지기 때문에 이를 유지하기 위함이다 고정자는 역류를 방지하는 baffle의 역할과 함께 회전자에서 튀어나온 분자를 아래쪽을 향하도록 각을 유지하고 있다.터보 분자 펌프

리포트 | 12페이지 | 2,500원 | 등록일 2015.12.03

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진공 기술 및 플라즈마

- 터보분자 펌프*Vacuum PlasmaVacuum Pumps1. 진공 펌프의 역할진공 펌프의 역할은 진공 chamber 내의 공기입자를 기계적인 힘을 이용하여 강제로 밖 ... 로타리 베인 펌프, 수봉식 진공 펌프 루츠 펌프, 확산 펌프 터보 분자 펌프Vacuum PumpsVacuum Plasma3-1. 로터리 베인 펌프*구조 : 로터(Rotor), 베인 ... 를 배기 진공 생성범위 : 2 ~ 10-3 TorrVacuum PumpsVacuum Plasma3-2. 터보분자 펌프*구조 : 로터(Rotor), 스태터(Stator) 원리

리포트 | 27페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.11.04 | 수정일 2017.06.13

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cu를 이용한 박막 증착 실험보고서

시키는 방법에 따라 두 가지로 나눈다면 가스배출방식과 가스포집방식으로 구분 할 수 있다. 가스배출방식이란 말 그대로 기체분자를 모아 펌프 내에서 밖으로 이동시켜 배기시키는 방법 ... 으로 역류할 가능성이 언제든 존재한다. 이때 배기구 쪽의 낮은 블레이드 각도는 가능한 기체의 역류를 방지하는 효과도 갖고있다.터보 펌프는 많은 디스크와 블레이드들이 고속으로 회전을 해야 ... 하기 때문에 각각의 부품들은 매우 정밀하게 가공이 되어야 하며, 정확한 수평으로 균형이 잡혀야 한다. 터보 펌프도 오일확산 펌프와 마찬가지로 로터리 등의 1차 펌프로 러핑이 이루어진

리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.06.20

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스퍼터링 장비(펌프,게이지,Sccm)

예비보고서 (4/27)윤영훈주제 : RF-magnetron sputtering을 이용하여저온증착 ZnO 및 고온증착 ZnO 박막의 증착 및 분석1. 오일로터리 펌프, 터보 펌프2 ... . 이오닉게이지, 컨벡션게이지, 바라트론 게이지 작동원리3. Sccm단위 알아오기1. 오일로터리 펌프, 터보 펌프1-1. 오일로터리 펌프오일 로터리 펌프는 두가지 단계로 나눈다면 ... 가스배출방식과 가스포집방식으로 구분 할 수 있다. 가스를 모아 펌프 내에서 밖으로 이동시켜 배기시키는 방법을 말한다.-. 세부단계1. 흡입로터가 회전하면 흡입구를 통해 기체분자

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.18

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[응용공학실험] 하이브리드 로켓 실험 보고서

액체수소가 사용되며 케로신(등유), 하이드라진 등도 사용된다. 액체 로켓에서는 액체와 산화제 모두 극저온 상태로 저장되며 연소실에 고압으로 공급을 위하여 터보 펌프나 헬륨을 이용 ... 로Paraffin의 분자구조파라핀의 분자구조는 그림 16과 같이 사슬모양의 일직선으로 이루어져있다. 따라서 HDPE에 비해 분자구조 자체가 열에 약해서 열을 가하였을 때 쉽게 분리 ... 된다. 분자구조가 쉽게 분리되는 것은 상태의 변화가 쉽게 일어난다는 것을 의미하기에 Pure Paraffin은 같은 시간 동안 HDPE보다 많은 양의 기화가 일어나게 된다. 따라서

리포트 | 26페이지 | 2,000원 | 등록일 2019.11.15 | 수정일 2019.12.13

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로터리펌프오일펌프터보펌프

Water Coils Oil 담긴 부분5 TH Positive displacement 터보 분자 펌프 ( Turbo-molecular pump )5 TH Positive ... displacement 터보 분자 펌프 ( Turbo-molecular pump ) 처음에는 가능한 많은 양의 공기를 펌프 안으로 끌어들이기 위해서 블레이드 각도는 비교적 크게 ( 약 30 ... - 10 - 8 - 6 - 4 -2 0 24 TH 진공펌프의 분류 로터리 펌프 터보 분자 펌프 오일 확산 펌프 흡착 펌프 냉온 펌프 이온 펌프5 TH Positive

리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2014.12.08

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고진공 저진공 펌프에 대해 조사한 레포트 입니다.

), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다.[2] entrapment 펌프배기시킨 기체가 여전히 진공 용기나 펌프 속에 남 ... 분자 펌프]▲ 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가는 모습[Turbo molecular pump 의 원리]터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum ... 의} over {P_MP }(SMP: 로터리펌프 배기 속도, SDP: 오일펌프 배기속, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)(2) Turbo molecular pump [터보

리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.05.30 | 수정일 2017.01.09

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진공펌프의 정의와 종류

PumpTurbo PumpCryo PumpIon PumpGetter Pump초고진공10-7Torr이하원자핵 연구장치전자현미경Plasma발생기 물리 실험 장치터보 분자 펌프저온 냉각 ... 펌프흡착 펌프0. 저진공펌프가. Rotary Pump[회전펌프]회전운동으로 액체를 운반하는 펌프.왕복펌프의 피스톤에 해당하는 회전자(rotor)가 회전운동을 하고 흡입·송출 밸브 ... 량이 맥동하지 않는다. 왕복펌프보다 효율은 떨어지지만 기름기 가 많거나 끈적임이 심한 유체를 수송하는 데 적합하며 유압펌프로도 이용할 수 있 다.크게 기어펌프(gear pump

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.04.07

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펌프 pump

3. Oil Rotary Piston&Gear Pump4. Oil Rotary Pump 장단점 및 시장조사5. 그 외 진공펌프1. Vacuum공간의 기체압 < 대기압분자밀도 ... 회전자 와 그사이에 있는 고정자를 써서, 공기의 입자운동에 일정한 방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 것입니다. 터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량 ... 과 승화작용- 생화학 반응 억제- 단열효과◎진공도에 따른 펌프 종류∵ Oil Rotary Vane Pump의 경우 ~10 ?³ Torr구현가능 주로 저,중진공(10?² Torr

리포트 | 13페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.08.18 | 수정일 2021.11.20

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질량분석기(QMS_Quadrupole Mass Spectrometer) 기초이론

mechanical pump 이고 다른 하나는 Pfeiffer TMU 071 turbo pump입니다. 이 펌프들은 저 진공을 유지하기 위하여 사용되고 있습니다. 즉 분자간의 거리(Mean ... 까지 기다리십시오. 터보 컨트롤러 부위에 LED 가 초록색으로 될 까지 기다리세요. 펌프 컨트롤러의 LED 가 초록색이 될 때까지는 대략 5분 정도의 시간이 걸립니다.5.) 터보 펌프 ... 308600064 \h 113.2.어떤 점이 pumped inlet과 다른가? PAGEREF _Toc308600065 \h 124.필라멘트란 무엇인가? PAGEREF _Toc

리포트 | 26페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.01.25

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반도체 공정 실험

진공을 만들기 위해 제일 처음 열어야할 밸브는 러핑 밸브이다.? 터보 펌프는 메인 밸브를 열어야 Pumping을 하게 되어 있다.(위의 두 가지가 나눠져 있는 이유는 저진공Pump ... 시키기 위해서 터보 모터는 보통 20,000rpm 이상의 고속으로 축에 달린 디스크를 회전 시킨다. 터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지 ... 1. 실험목적- Pumping System의 작동 원리를 알아 본다.2. 실험 장비 모습간단하게 꾸민 pumping system저진공펌프(로터리 펌프) 고진공펌프(터보펌프)3

리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.12.04 | 수정일 2020.12.31

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펌프의종류 레포트

의 오염을 방지할 수 있다.2)Turbo-molecular pump터보 분자 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 회전자와 그 ... 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다.- entrapment 펌프: 배기시킨 기체 ... 를 방지하는 baffle의 역할과 함께 회전자에서 튀어나온 분자를 아래쪽을 향하도록 각을 유지하고 있다.터보 분자 펌프는 고속(10,000～100,000)으로 회전하는 날이 작은 입자

리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.05.23

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진공펌프

pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌 프가 이에 속한다.- entrapment 펌프: 배기시킨 기체가 여전히 진공 용기나 펌프 ... . 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)그림5. 터보분자 펌프의 배기 원리(pumping mechanism)옆의 그림 5는 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가 ... 속에 남아 있는 경우이다. ‘포획 펌프(capture pump)'라고도 부른다. 여하튼 진공 용기 내부의 공간으로부터 기체 분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런 것

리포트 | 9페이지 | 4,000원 | 등록일 2006.12.18 | 수정일 2021.09.12

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스퍼터링(Sputtering) 결과 레포트

- 터보 펌프 (Turbo Pump)동축이 회전자 (Rotor)와 고정자 (Stator)로 구성되어 있다. 수천 내지 수만 rpm의 고속으로 회전하는 회전자의 날개들이 그들의 영역 ... ① Pump- 오일 로터리 펌프 (Oil Rotary Pump)기본구조는 Rotor, Vane, Cylinder로 구성된다. Rotor의 중심이 Cylinder 중심의 편심으로 의해 ... 으로 들어온 분자를 쳐 그 운동 방향을 펌프의 배출구 쪽으로 향하게 하는 것이다. 날의 각은 배출구 쪽으로 갈수록 더 많이 기우는데 이는 흡입구에서는 진공용기와의 압력차가 크지 않

리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.05.18

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