"터보분자펌프"의 검색결과 입니다.

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진공펌프 스퍼터링 펌프 터보분자펌프 cvd 인하대 공정모사 스퍼터링 로타리밸브 bayard-alpert gauge

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"터보분자펌프" 검색결과 41-60 / 164건

박막 증착에 관한 진공장비(시스템) 소개 및 원리 숙지

(Oil diffusion pump)Getter pump터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump)여러 가지 진공펌프의 작업 가능 압력3) 펌프 종류 및 특징① 로터리 ... , 그리고 오일 확산 펌프의 용량에 의해 결정된다.④ 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump)터보분자 펌프의 배기 원리위 그림는 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가 ... 는 모습을 나타낸 그림이다.터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기

리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.04.21

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진공 및 박막 실험 최종 보고서

할 수 있다.4) Turbomolecular Pump (터보 분자 펌프)터보 분자 펌프는 오일을 사용하지 않기 때문에 깨끗한 고진공 펌프라 알려져 있다. 터보 펌프는 동일한 용량 ... 기증기를 응축시켜 액체로 되돌리기 위한 수냉관이 감겨져 있다. 펌프용기 아래쪽벽에 압축된 가스분자를 후단의 오일 회전 펌프로 보내기 위해 배기구를 설치한다.펌프용기는 항아리 타입 ... 부스터 펌프의 원리3) Booster Pump (부스터 펌프)부스터 펌프는 Roots 펌프와 매우 흡사하며, 일종의 송풍기로 사용한다. 펌프의 구성은 회전자와 고정자로 이루어져 있

리포트 | 53페이지 | 6,000원 | 등록일 2012.11.24

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제출용 고진공

해서는 잔류 기체의 압력이torr가 되어야 한다.2) Rotary Pump밀폐된 용기에 있는 공기분자를 회전식 피스톤으로 배기시키는 가장 기본적인 진공 펌프이다.3) Turbo ... -molecular Pump터빈을 고속으로 회전 시켜 분자를 기계적으로 배출하는 펌프이다.영역에서 사용 가능하며 확산펌프와 달리 오일을 사용하지 않기 때문에 매우 깨끗하다. 다른 고진공 ... 에 터보펌프를 저속으로 두고 사용하면 좋으나, 가벼운 기체의 경우엔 효율적으로 뽑아내기 어려운 단점이 있다. 대부분의 터보 펌프는 원심력을 이용하는데, 유체가 펌프의 축 가까이

리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2012.10.20

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판매자 표지

가스산업기사 빈출 개념 총정리

의 위험 ,,, 부적합펌프의 분류1) 터보형 : 기체에 운동E를 주어 기체를 압축해 고압가스로 송출원심식, 사류식, 축류식터보펌프 정지 시 : 토출밸브 닫기->전동기의 스위치를 끊어 ... 적색1500 : 휘백색온도↑... 폭발범위↓압력↑ ... 폭발범위↑산소는 공기중에 0.232공기의 분자량 291atm=760mmHg탄소 수 증가할 수록 발열량 증가,,, 착화온도 ... 하는 최저온도발화점 낮아지려면...압력↑,발열량↑,산소와 친화력↑,산소농도↑,반응활성도↑,분자구조 복잡도↑,열전도율↓vs인화점 : 인화성 증기를 발생하는 온도연소온도 : 연소가 완전히

시험자료 | 18페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.10.02 | 수정일 2020.06.10

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전기삼투펌프(Electro-osmotic pump)의 원리 및 성능평가

-osmotic micro pump)의 원리 및 구성4.1 전기삼투펌프전기삼투 펌프는 금속산화물이나 고분자 등 고체표면에 극성 용액이 접촉할 때 자발적으로 유한한 표면 전하를 가지게 되는 동 ... 전기삼투펌프(Electro-osmotic pump)의 원리 및 성능평가1) 실험 목적- 전기삼투펌프(Electro-osmotic pump)를 이용하여 주어진 전압에 대한 유량측정 ... .1 터보형 펌프 : 임펠러를 게이싱 내에서 회전시켜 액체에 에너지를 부여하는 펌프 터보형 펌프의 종류 원심, 사류, 축류 펌프의 개형1) 원심펌프임펠러의 원심력에 의해 액체

리포트 | 13페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.11.20

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[재료공학실험] 표면 분석 장치 XPS와 XPS 내에 작동하는 네가지 펌프

하여야 펌프를 보호할 수 있다.3. 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump)단순히 터보 펌프(turbo pump)라고 부르기도 한다. 1958년 Becker에 의해 ... 이온 펌프 , 터보분자펌프(TMP), 로타리펌프 가 장착되어 있다. 이 System으로 불균일 촉매, 전자재료, 반도체, 전극, 금속재료, 고분자 등의 표면조성, 산화상태 등을 분석 ... XPS에 이용되는 펌프는 로타리 펌프, 터보분자 펌프, 이온펌프, 티타늄승화 펌프 네가지가 있다. 이들을 하나하나 살펴보면 다음과 같다.2.로타리 펌프 (rotary vane

리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.01.16

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기계공학실험 보고서(7. 내연기관)

을 알이다.- 배기 특성 : 디젤기관에서는 공기를 기관의 실린더 내에 흡입, 압축시키고 연료를 분사펌프에 분사하여 자연착화를 일으켜 연소시키는 압축 착화 연소방식을 이용한다. 이 때 ... 는 공기를 균일하게 하는 방법 등이 있으며, 희박상태로 연소시키는 방법의 일환으로 터보 과급기를 이용하는 방법이 있다.HC의 생성 원리 : HC 생성 메카니즘은 착화 지연기간 동안 ... 는 _{2}분자가 화염대에서 급격히 반응하여 생성되는 Prompt NO로 나누어 진다.PM의 생성 원리 : 입자상물질은 주로 연료나 윤활유의 불완전 연소에 의하여 발생되는데, 열

리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.07.16

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[진공공학]진공펌프

펌프로 나눌 수 있다.- positive displacement 펌프: 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프 ... 배기속도, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)2.4. 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump){그림5. 터보분자 펌프의 배기 원리(pumping ... 다. 포획 펌프(capture pump)'라고도 부른다. 여하튼 진공 용기 내부의 공간으로부터 기체 분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부를 수 있다. 흡

리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2004.12.23 | 수정일 2025.01.21

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[공학실험] 양극희생실험

펌프 (ROOTS PUMP)-수봉식 펌프 (LIQUID RING PUMP)-터보 분자 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP)-확산 펌프 (DIFFUSION PUMP)-이젝타 ... 시켜 배출하는 것입니다. 이 펌프의 특성도 로타리 피스톤 타입의 펌프와 대동소이 합니다.2) 터보 분자 펌프아래그림은 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가는 모습을 나타낸 그림이 ... 다.터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어 진다는 간단한 원리를 가지

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.12.02

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각종 진공 펌프 원리 사용 방법 sputter 1

로 나눌 수 있다.- positive displacement 펌프: 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo ... 펌프(capture pump)'라고도 부른다. 여하튼 진공 용기 내부의 공간으로부터 기체 분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부를 수 있다. 흡착 ... 을 방지있다. 그림 2.에 일반적인 터보 분자 펌프의 구조를 나타내었다. 날의 각은 배출구 쪽으로 갈수록 더 많이 기우는데 이는 흡입구에서는 진공용기와의 압력차가 크지 않고 또한 많

리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.03

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표면 분석법 - 광전자 분광법(XPS, UPS 등)의 원리와 응용

.4.1 펌프의 구분(1) 로터리 펌프(2) 터보 분자 펌프(3) 이온 펌프4.5 기기 장치4.5.1 광원4.5.2 전자에너지 분광계4.5.3 검출기5. UV ... 펌프, 터보 분자 펌프 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다.반면 Entrapment 펌프는 배기시킨 기체가 여전히 진공용기나 펌프 속에 남아있는 경우인데 포획 펌프라고 ... 도 부른다. 진공용기 내부의 공간으로부터 기체분자수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런것들도 펌프라고 할 수 있다. 흡착펌프나 냉온펌프가 이에 속한다.(1) 로터리 펌프로터리 펌프

리포트 | 19페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.03.06

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43나노기술의_응용-로봇,기계

형 펌프이용 펌프가 주기적으로 인체에 인슐린 주입 반도체 미세가공으로 인한 펌프가공● 인슐린 나노펌프※왕복식 용적형 펌프란?-터보형펌프에 비해 구조가 간단하고 비용이 저렴한 구조 -밸브 ... 차산업 에서의 나노기술응용보텀 업 기술을 이용한 물방울 맺히지 않는 유리 보텀 업 기술이란? 원자나 분자를 쌓아 올려 재료를 완성해가는 방식 보텀 업 의 종류 - 물리적으로 쌓 ... 아 올려가는 방법 - 화학적 결합이나 분자끼리의 연결을 이용하는 방법 - 생물의 자기조직화 현상을 이용한 방법※자동차 유리 코팅제● 자동차산업 에서의 나노기술응용자기 조직화를 이용

리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18

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각종 진공 펌프 원리 사용방법 sputter

(oil diffusion pump)크라이오 트랩과 배플(cryotraps and baffles)메카니칼 크라이오 펌프(mechanical cryopump)터보 분자 펌프 ... 스크롤펌프클로펌프운동량 전달식분자펌프분자드래그펌프터보분자펌프유체분사식확산펌프액체제트펌프이젝터펌프내부 흡수식흡착식표면흡착수착펌프화학흡착게터펌프티타늄승화펌프스퍼터이온펌프응축식저온응축 ... 1. 각종 진공 Pump 원리 및 사용 방법1. 진공펌프의 구분압축배출식용적식왕복 운동식피스턴 펌프다이어프램펌프회전식액체링펌프회전베인펌프회전피스턴펌프트로코이드펌프루츠펌프스크류펌프

리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.03

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각종 진공 pump 원리 및 사용 방법

(rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)등 대부분의기계적인 펌프가 이에 속한다.2) entrapment 펌프 : 배기시킨 기체가 여전히 ... )에분자 펌프(Turbo-molecular pump)-터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에momentum transfer가 일어나고 이때 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감 ... 진공 용기나 펌프 속에 남아 있는경우이다. 포획 펌프(capture pump)'라고도 부른다. 여하튼 진공 용기 내부의공간으로 부터 기체분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.06.03

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대표적 4가지 진공펌프(확산펌프,터보펌프,게터펌프,티타늄승화펌프[TSP])

를 써서, 공기의 입자운동에 일정한 방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 운동량 전달 방식의 펌프이다.터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지 ... 확산펌프-고진공을 만드는 데 사용되는 장치로서 일정한 방향으로 흐르는 증기, 즉 분류(噴流)를 만들고, 그것에 의해 주위의 기체분자를 함께 운반하는 작용을 이용한 진공펌프이 ... ⑤불필요한 고진공 밸브-단점①높은 가격②제어기 요구③가벼운 기체분자(H₂,He)에 대한 낮은 압축비④높은 손상 가능성⑤어려운 유지 보수게터펌프-진공용기 중에 운동하는 기체분자

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.06.27

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진공펌프

펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌 프가 이에 속한다 . - 배기시킨 기체가 여전히 진공 용기 ... 나 펌프 속에 남아 있는 경우이다 . ‘ 포획 펌프 (capture pump)' 라고도 부른다 . 여하튼 진공 용기 내부의 공간으로부터 기체 분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮 ... 의 종 류 드라이 펌프 Positive displacement 펌프진 공 펌 프 의 종 류 터보 분자 펌프 Positive displacement 펌프진 공 펌 프 의 종 류 이온

리포트 | 21페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.12.12

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[발광디스플레이 실험] CNT 성장을 위한 기본 기판 만들기

한다. 이때 배기체적 내에 있던 오일도 기체와 함께 유조로 배출된다.6) Turbo pump터보펌프는 초기 분자펌프의 배기속도가 작고 낮은 압축비를 가지는 단점을 보완하기 위해 베커 ... 에 의해 고안된 펌프이다. 종전의 하나의 커다란 회전자 대신에, 요즈음 항공기용 터보압축기처럼 얇은 두께의 회전 날개를 원주둘레에 일정한 간격으로 설치한 터보 구조의 회전자를 고안 ... : photo exposure) 반응을 하는 일종의 감광 고분자 화합물(photosensitive polymer)이다. 이때 반응이라 함은 PR의 일정 부분이 노광되었을 때 노광된 부분

리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2012.01.01

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고진공_및_잔류가스_분압_측정

분자를 회전식 피스톤으로 배기시키는 가장 기본적인 진공 펌프이다.③ Turbo-molecular Pump : 터빈을 고속으로 회전 시켜 분자를 기계적으로 배출하는 펌프이다.영역 ... 기에는 비효율적이다.torr 정도의 초고진공을 만들 때는 UHV chamber가 사용되는데, chamber를 뜨겁게 가열하여 내부 표면에 붙어 있는 물 분자를 떨어뜨린 후 pump ... 으로 기체분자 수를 줄여 표면에 기체분자가 덮이는데 걸리는 시간을 1시간으로 맞추기 위해서는 잔류 기체의 압력이torr가 되어야 한다.② Rotary Pump : 밀폐된 용기에 있는 공기

리포트 | 10페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.01.11

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판매자 표지

녹색 OLED 소자 제작 실험 제안

나 터보 분자 펌프의 경우에는 보조 펌프로써 포라인 펌프를 사용하지만, 크라이오 펌프의 경우에는 고진공에서 배기하는 동작중에 포라인 펌프를 사용하지 않는다.② 크라이오 펌프의 포라인 ... / 위해서는 진공용기의 외벽에 가열기를 설치하여 온도를 높이면 물 분자가 충분한 에너지를 얻게 되어 벽에서 떨어져 배기할 수 있다. 이때, 크라이오 펌프가 동작하여 온도를 낮추 ... 가 높은 벽에서부터 낮은 헬륨 쪽으로 열이 이동하게 되며 온도가 내려가면 기체분자들이나 수분은 에너지를 잃고 속도가 느려져 크라이오 펌프 내에 있는 다공질 활성탄에 가두게 되어 압력

리포트 | 14페이지 | 4,000원 | 등록일 2012.06.03

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Lithography, Sputter, VSM, PHR, MR 의 실험 이론 및 방법 및 결과 및 고찰

된 기체분자는 또 다른 블레이드와 다시 충돌하게 되어 순차적으로 배출구 쪽으로 이동하게 된다.터보 펌프는 많은 디스크와 블레이드들이 고속으로 회전을 해야 하기 때문에 매우 정밀 ... 자세히 알아보자.a. Pumping - 챔버에서 연결된 배출구로 펌프가 연결되어 있는 부분이다. 1차, 2차 펌프가 연결이 되어있다. 이걸 손으로 작동하여 동일한 펌프의 작동 하 ... 하게 가공이 되어야 하며 수평으로 균형이 잡혀야 한다. 또한 1차 펌프로 충분히 낮은 진공이 이루어지지 않은 상태에서 터보 펌프를 작동시키게 되면 작은 이물질들이 고속으로 회전

리포트 | 31페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.12.18

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