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"박막공정" 검색결과 61-80 / 3,488건

광촉매 TiO2 층의 비접촉식 공정을 통한 저온 실리콘 산화박막 성장 (Low Temperature Growth of Silicon Oxide Thin Film by In-direct Contacting Process with Photocatalytic TiO2 Layer on Fused Silica)

압력을 공정변수로 한 결과, 일정두께의 실리콘 산화박막의 성장이 자외선의 세기가 증가할수록 빨랐으며, 자외선램프의 세기를 60 W BLB 램프에서 1 kW 고압수은랩프로 변경할 경우 ... 자외선 조사에 따른 광촉매 TiO2의 표면에서 발생하는 활성산소종의 기상확산을 이용하여 실리콘기판 위에 산화박막을 성장시켰다. 자외선의 세기, 기판의 온도와 반응기 내의 산소 ... 성장속도가 8배 정도 빨라졌다. 반응기 내의 압력이 증가할수록 실리콘 산화박막의 성장속도는 느렸다. 대부분 산화박막의 성장은 20 Å에서 포화되었으며, 자외선의 세기가 증가

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.10 | 수정일 2025.07.19

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고상 결정화법을 위한 새로운 공정조건으로 제작된 다결정 Si 박막의 태양전지 특성 평가 (Evaluation of Solar Cell Properties of Poly-Si Thin Film Fabricated with Novel Process Conditions for Solid Phase Crystallization)

비정질 실리콘(a-Si)을 증착한 후에 이를 열처리하여 결정질 실리콘을 얻는 방법은 실리콘 박막을 이용한 태양전지 제조 공정에서 일반적으로 이용되는 기술 중의 하나이다. 1.8 ... ㎛ 두께의 비정질 실리콘 박막을 100 nm 두께의 Si3N4가 코팅된 3.3 mm 두께의 평판 유리 기판 위에 PECVD 공정을 이용하여 증착하였다. 본 실험의 최종 적층구조 ... 반도체 형성을 위한 도핑에는 붕소 및 인을 사용하였는데, 실리콘 박막 증착 중에 동시에 첨가되었다. 비정질 실리콘 박막 증착 후, 결정화를 위한 주 열처리 공정 전에 핵생성을 위하

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.16 | 수정일 2025.06.17

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강유전체 박막 형성방법에 따른 용액 공정 기반 강유전체 전계 효과 트랜지스터의 전기적 특성 의존성 (Dependence of Ferroelectric Film Formation Method on Electrical Characteristics in Solution-processed Ferroelectric Field Effect Transistor)

대한전자공학회 김 우 영, 배진혁

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.02.10 | 수정일 2025.02.15

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대기압 이상의 열처리 공정압력이 Cu2ZnSn(S,Se)4(CZTSSe) 박막 성장에 미치는 영향 (Effect of Annealing Process Pressure Over Atmospheric Pressure on Cu2ZnSn(S,Se)4 Thin Film Growth)

Cu2ZnSn(S,Se)4(CZTSSe) thin film solar cells areone of the most promising candidates for photovoltaic devices due to their earth-abundant composition,..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.05 | 수정일 2025.06.09

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높은 전자 이동도의 바륨 스테네이트 박막 증착 최적화와 전자 이동도 극대화 열처리 공정 개발 (Optimization of High Electron Mobility Barium Stannate Thin Film Deposition and Development of Thermal Treatment for Electron Mobility Maximizatio)

Using pulsed laser deposition, the synthesis of epitaxial La-doped BaSnO₃ (LBSO) thin films was optimized by controlling plasma plume dynamics with pa..

논문 | 14페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.29 | 수정일 2025.06.05

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자동차용 폐 리튬 이차전지 모듈의 안정적 해체와 알루미늄 박막으로부터 양극활물질의 분리공정 개발 (Safe Decomposition of the Vehicle Waste Battery Module and Development of Separation Process of Cathode Active Material from Aluminum Thin Film)

본 연구는 자동차 폐리튬 이차전지의 모듈로부터 재생할 수 있는 자원을 효율적으로 회수하는 방법을 개발하는 것이다. 모 듈의 셀은 구리 박막, 알루미늄 박막, 그리고 이들 사이 ... 에서 열처리하여 알루 미늄 박막으로부터 분리하였다. 그런 후 분리된 양극활물질은 잔류되어 있는 탄소 성분을 제거하기 위해 800 oC에서의 소성 후 에 최종적으로 높은 순도로 회수 ... 되었다. 본 연구 결과를 바탕으로 해서, 알루미늄 박막으로부터 양극활물질을 구성하고 있는 코 발트(Co), 니켈(Ni), 망간(Mn), 리튬(Li)과 같은 희유금속들을 80% 이상

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.05 | 수정일 2025.07.10

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CIGS 태양전지의 윈도우 층에 적용 가능한 스퍼터링으로 증착한 AZO 박막의 공정압력의 영향에 따른 특성 연구 (A Study on the Effect of Process Pressure on AZO Thin Films Sputtered for the Windows Layers of CIGS Solar cells)

For various process pressures, aluminum doped zinc oxide(AZO) films were deposited by in-line pulsed-DC sputtering. The deposited AZO films were optic..

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.15 | 수정일 2025.06.17

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단일 스텝 스핀 코팅 방법에서 증발 제어 공정 변경에 따른 페로브스카이트 박막 물성 및 태양 전지 소자 특성 변화에 관한 연구 (Properties of Perovskite Materials and Devices Fabricated Using the Solvent Engineered One-Step Spin Coating Method)

한국물리학회 오정석, 권남희, 차덕준, 양정엽

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.16 | 수정일 2025.05.22

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공정압력이 SiO2 버퍼층을 갖는 PES 기판위에 증착한 ITZO 박막의 전기적 및 광학적 특성에 미치는 영향 (Effect of Working Pressure on the Electrical and Optical Properties of ITZO Thin Films Deposited on PES Substrate with SiO2 Buffer Layer)

한국전자통신학회 정양희, 최병균, 강성준

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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폴리아마이드계 박막복합막 제조 공정에서 계면중합의 유기용액 퍼짐 속도에 따른 표면 모폴로지의 변화 (Change of Surface Morphology with the Spreading Rate of Organic Solution During Interfacial Polymerization for Polyamide-based Thin Film Composite Membrane Manufacturing Process)

한국막학회 박철호

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.15 | 수정일 2025.05.09

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MEMS 공정을 통한 마이크로 Pb(Zr,Ti)O3 박막 압전 외팔보 에너지수확소자의 제작 및 특성 연구 (A Study on the Fabrication and Characterization of Micro Pb(Zr,Ti)O3Film Piezoelectric Cantilever Using MEMS Process for Energy Harvesting)

본 연구에서, 우리는 mems 공정을 통해 실리콘 무게 추와 이중 보를 가지는 마이크로 PZT 박막 압전 외팔보 수확소자를 제작하였다. 압전 외팔보 에너지 수확소자의 빔 길이

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.05 | 수정일 2025.06.09

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전계효과트랜지스터 기반 반도체 소자 응용을 위한 스프레이 공정을 이용한 nc-ZnO/ZnO 박막 제작 및 특성 분석 (Morphological and Electrical Characteristics of nc-ZnO/ZnO Thin Films fabricated by spray-pyrolysis for field-effect transistor application)

한국반도체디스플레이기술학회 조준희

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.07 | 수정일 2025.05.17

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원자층 증착법과 용액 공정법으로 성장한 전자 수송층 산화주석 박막의 페로브스카이트 태양전지 특성 (Characteristics of Tin Oxide Thin Film Grown by Atomic Layer Deposition and Spin Coating Process as Electron Transport Layer for Perovskite Solar Cells)

한국재료학회 김기현, 정성진, 양태열, 임종철, 장효식

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.10 | 수정일 2025.05.18

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연속공정기반 저온 상압 원자층 증착 시스템을 이용한 유무기 멀티레이어 배리어 박막에 관한 연구 (A Study on the Organic-Inorganic Multilayer Barrier Thin Films Using R2R Low-Temperature Atmospheric-Pressure Atomic Layer Deposition System)

In this paper, the organic material Poly(methyl methacrylate) PMMA is used with inorganic Al2O3 to fabricate organic-inorganic multilayer barrier thin..

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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금속박막의 고상 및 액상 비젖음 공정을 통한 AuNi 이종금속 나노입자의 자기 정렬 및 성분 혼합 제어 (Control of Self-Assembly and Elemental Mixing of AuNi Bimetallic Nanoparticles via Solid-State and Liquid-State Dewetting of Metal Thin Films)

Immiscible Au-Ni alloy thin films undergo phase separation and dewetting because ofthermodynamic and morphological instability at elevated temperature..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.28 | 수정일 2025.07.04

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수소 상압플라즈마를 이용하여 조명용 페로브스카이트 박막 식각시 메탈 마스크 크기와 공정 시간에 따른 형상 변화 연구 (A Study on Morphological Changes According to Metal Mask Size and Process Time in Etching Perovskite Thin Films for Lighting Devices Using Hydrogen Atmospheric Pressure Plasma)

한국조명.전기설비학회 김경보, 이종필, 김무진

논문 | 9페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.16 | 수정일 2025.05.22

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PLD 공정으로 제조된 LSM-YSZ 나노복합체층이 포함된 경사구조 박막 공기극을 적용한 SOFC의 성능 분석 (Performance of Solid Oxide Fuel Cell with Gradient-structured Thin-film Cathode Composed of Pulsed-laser-deposited Lanthanum Strontium Manganite-Yttria-stabilized Zirconia Composite)

The effect of the application of lanthanum strontrium manganite and yttria-stabilized zirconia (LSM-YSZ) nano-composite fabricated by pulsed laser dep..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.29 | 수정일 2025.07.04

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Sol-gel 법으로 제조된 강유전체 Sr0.9Bi2.1Ta1.8Nb0.2O9 박막의 저온결정화 공정 (Low Temperature Sintering Process of Sol-gel Derived Ferroelectric Sr0.9Bi2.1Ta1.8Nb0.2O9 Thin Films)

한국세라믹학회 김영준, 김병호

논문 | 274페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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플라즈마 활성화 표면처리 공정과 나노클레이 분산 적층 코팅을 이용한 표면 기능성 코팅 박막 개발 : 수분 및 산소 차단성이 우수한 투명 포장재 (Development of surface functional coating thin film utilizing combined processes of plasma activation surface treatment and nanoclay dispersion: In applications for transparent water vapor and oxygen )

한국결정성장학회 김남일, 김극태

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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펄스 전주공정에 의한 구리-니켈 다층 나노 박막층을 제조하기 위한 수용액중의 상의 열역학적 안정성 해석 (Numerical Analysis of the Thermodynamic Stability of Aqueous Cu-Ni-S-H2O System for the Preparation of Thin Copper-Nickel Multi-nano-Layers by Using Pulse Electro-forming)

Thermodynamic solution stability of aqueous copper-nickel-sulfur system was numerically analyzed to produce thin copper-nickel nano-multi-layers by pu..

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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