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"박막공정" 검색결과 41-60 / 3,488건

박막태양전지 버퍼층 적용을 위해 RF 스퍼터링 및 급속열처리 공정으로 제작한 황화아연 박막의 구조적 광학적 특성 (Structural and Optical Properties of ZnS Thin Films Fabricated by Using RF Sputtering and Rapid Thermal Annealing Process for Buffer Layer in Thin Film Solar Cells)

Buffer layer in CIGS thin-film solar cells improves energy conversion efficiency through band alignment between the absorption layer and the window la..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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저온공정을 이용한 AlN 박막의 우선배향성과 모폴로지에 관한 연구 (The Preferred Orientation and Morphology Characteristics of AlN Thin Films Prepared by RF Power Under Room Temperature Process)

한국전기전자재료학회 오수영, 이태용, 강현일, 유현규, 송준태, 김응권

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.01 | 수정일 2025.05.15

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브러쉬 코팅 공정을 이용한 용액 기반 BiAlO 박막의 제작과 액정 소자에의 응용 (Fabrication of the Solution-Derived BiAlO Thin Film by Using Brush Coating Process for Liquid Crystal Device)

We fabricated BiAlO thin film by a solution process with a brush coating to be used as liquid crystal (LC) alignment layer. Solution-processed BiAlO w..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.29 | 수정일 2025.06.05

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용액공정용 불소 도핑된 인듐 갈륨 징크 산화물 반도체의 박막 트랜지스터 적용 연구 (Solution-Processed Fluorine-Doped Indium Gallium Zinc Oxide Channel Layers for Thin-Film Transistors)

한국마이크로전자및패키징학회 정선호

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.07 | 수정일 2025.05.17

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스퍼터 공정을 이용한 SiZnSnO 산화물 반도체 박막트랜지스터의 증착 온도에 따른 특성 (Effect of Deposition Temperature on the Electrical Performance of SiZnSnO Thin Film Transistors Fabricated by RF Magnetron Sputtering)

한국전기전자재료학회 고경민, 이상렬

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.07 | 수정일 2025.05.17

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CIGS 박막태양전지를 위한 반사방지특성을 가진 용액공정 투명전극 (Solution-Processed Anti Reflective Transparent Conducting Electrode for Cu(In,Ga)Se2 Thin Film Solar Cells)

한국재료학회 박세웅, 박태준, 이상엽, 정중희

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.07 | 수정일 2025.05.17

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RF 마그네트론 스퍼터링 공정 조건에 따른AlN 박막의 배향성, 표면 거칠기 및 압전 특성에 관한 연구 (Orientation, Surface Roughness and Piezoelectric Characteristics of AlN Thin Films with RF Magnetron Sputtering Conditions)

RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 Ar/N2 가스비와 기판 온도 변화에 따른 AlN 박막의 배향성과 표면 거칠기 그리고 압전 특성의 변화를 조사하였다. 특히, Ar/N2 ... 라는 가장 우수한 값을 나타내었으며, 이는 AlN 박막이 가장 좋은 (002) 배향성을 갖는 조건과 일치하는 것이다. AlN thin films have been

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.05 | 수정일 2025.06.09

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Oscar형 연마기를 이용한 대면적 OLED용 LTPS 박막의 CMP 처리 및 세정 공정 개선 (Improvement of CMP and Cleaning Process of Large Size OLED LTPS Thin Film Using Oscar Type Polisher)

We evaluated and developed a 6th generation large-size polisher in the type of face-up and Oscar. We removed the hillocks of the low temperature poly-..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.10 | 수정일 2025.06.16

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공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향 (The effect of process variations and post thermal annealing on the properties of LPCVD polycrystalline silicon)

LPCVD로 560℃와 650℃ 온도에서 실리콘 박막을 제작하였다. 온도에 따른 천이온도를 살펴보았으며, 비정질로 제작된 실리콘 박막을 900℃와 1100℃에서 열처리 ... 하였다. 제작된 박막에 대해서 XRD, SEM, ellipsometer, Tektak3, Tencor FLX-2320등 그 외 장비를 사용하여, 박막의 결정 방향, 표면 거칠기, 활성화 ... 에너지, 잔류 응력 등을 조사하였다. 본 실험을 통해 560℃에서 비정질로 증착시키고 900℃-1100℃열처리 통해 얻은 다결정실리콘 박막은 처음부터 다결정으로 제작한 박막에 비해 낮

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.07 | 수정일 2025.07.10

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DRAM 집적공정 응용을 위한 전기도금법 증착 구리 박막의 자기 열처리 특성 연구 (A Study on the Self-annealing Characteristics of Electroplated Copper Thin Film for DRAM Integrated Process)

본 연구에서는 DRAM 제조 집적공정의 금속배선으로 사용하는 구리의 자기 열처리(self-annealing) 후 박막특성 변화에 대한 연구를 진행하였다. 구리를 증착하고 상온 ... 용액 대비 더 빠른 시간 안에 이루어졌는데 이는 유기 첨가물의 차이 때문이다. 개선의 효과 분석으로 TEM 장비를이용하여 결정체 변화를 관찰하였고 자기 열처리 공정에 의해 효과 ... 특성(thermal excursion characteristics) 측정 결과 고온 열처리 대비 자기 열처리 시료가 hillock 특성이 보이지않고 이는 박막의 신뢰성 특성을 향상

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.05 | 수정일 2025.07.10

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반도체 구리 배선공정에서 표면 전처리가 이후 구리 전해/무전해 전착 박막에 미치는 영향 (Effect of Surface Pretreatment on Film Properties Deposited by Electro-/Electroless Deposition in Cu Interconnection)

한국전기화학회 임태호, 김재정

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.07 | 수정일 2025.05.17

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롤 기반 전사공정에 필요한 박막형 폴딩 롤 스탬프 제작과 특성평가 (Evaluation of Property and Fabrication of a Thin Film-Folding Roll Stamp for Roll-based Transfer System)

한국융합과학회 태규리, 김상민, 최현주

논문 | 15페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.23 | 수정일 2025.05.13

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ReMnO3(Re:Ho, Er) 박막의 강유전성에 미치는 열처리 공정의 영향 (Effects of Thermal Heat Treatment Process on the Ferroelectric Properties of ReMnO3(Re:Ho,Er) Thin Films)

한국세라믹학회 김응수, 채정훈

논문 | 21페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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증착공정 및 환원분위기 열처리가 Sb-Te 박막의 열전특성에 미치는 영향 (Effects of Evaporation Processes and a Reduction Annealing on Thermoelectric Properties of the Sb-Te Thin Films)

증착공정 및 환원분위기 열처리가 p형 Sb-Te 박막의 열전특성에 미치는 영향을 연구하였다. Sb2Te3 잉곳을 분쇄한 분말을 증착원으로 사용하여 형성한 박막은 2.71×10-4 ... W/m-K2, Sb와 Te 혼합분말을 증착원으로 사용하여 형성한박막은 0.12×10-4 W/m-K2, Sb와 Te의 동시증착으로 제조한 박막은 0.73×10-4 W/m-K2 ... 의 출력인자를 나타내었다. 300oC 에서 2시간 유지하는 환원분위기 열처리에 의해 Sb2Te3 잉곳을 분쇄한 분말을 증착원으로 사용하여 형성한 박막의 출력인자가 24.1×10-4 W

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.11 | 수정일 2025.06.16

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전력반도체 응용을 위한 용액 공정 인듐-갈륨 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 성능과 안정성 향상 연구 (Solution-Processed Indium-Gallium Oxide Thin-Film Transistors for Power Electronic Applications)

한국전기전자재료학회 김세현, 이정민, Daniel Kofi Azati, 김민규, 정유진, 백강준

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.06 | 수정일 2025.05.17

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a-IGZO 박막 트랜지스터의 전기적 성능 개선을 위한 동시 저온 플라즈마 어닐링 공정 (Simultaneous Low-Temperature Plasma Annealing Process for Enhancing the Electrical Performance of a-IGZO Thin Film Transistors)

한국전기전자재료학회 최정훈, 이재윤, 이범구, 서정무, 김성진

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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열처리 공정과 비스무스 박막의 결정구조 및 자기저항 특성변화와의 물리적 관계 (Physical correlation between annealing process and crystal structure and magneto-resistance of Bismuth thin films)

본 연구에서는 비스무스(Bi) 박막의 스핀전자소자로의 응용가능성을 확인하기 위해서 열처리 공정에 의한 비스무스 박막의 결정 구조 및 자기저항변화를 조사하였다. 비스무스 박막 ... 했기 때문이다. 본 연구를 통해서 열처리 공정이 비스무스 박막의 결정립 형성 및 자기저항 비의 향상에 큰 영향을 보임을 확인하였고, 비스무스 박막의 스핀전자소자로서의 응용 가능성을 증명 ... 은 초기에 결정성이 없이 약 100 nm의 결정립과 낮은 자기저항 비(MR)가 상온에서 4.7 % 로 보였으나, 열처리 공정 후 결정립이 확장되고 방위의 재배열이 일어나며 결정립이 형성

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.11 | 수정일 2025.06.16

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이온빔 조사된 용액 공정 기반 LaZnO 박막 위 액정 분자의 수평 배향 특성 (Homogeneous Alignment Characteristics of Liquid Crystal Molecules on Solution-Derived Lanthanum Zinc Oxide Film with Ion-Beam Irradiation)

한국전기전자재료학회 오병윤

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.17 | 수정일 2025.05.22

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고분자/무기 하이브리드 절연막을 이용한 용액공정용 저분자 박막트랜지스터의 안정성 향상 연구 (Enhancement of Stability in Soluble Acene Thin-film Transistors by Using Polymer/Inorganic Hybrid Gate-dielectrics)

Solution-processed small molecular semiconductors (soluble acenes) serve as ideal active materials for highperformance, printed organic thin-film tran..

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.26 | 수정일 2025.07.04

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OLED의 Thin Film Encapsulation을 위한 MgO 박막의 원자층 증착 장치 및 공정에 관한 연구 (Study on the Atomic Layer Deposition System and Process of the MgO Thin Layer for the Thin Film Encapsulation of OLED)

Thin-film encapsulation (TFE) technology is most effective in preventing water vapor and oxygen permeation in the organic light emitting diodes (OLED)..

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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