전기전자공학 - 마이크로, 나노 기계(MICRO,NANO MACHINE , mems)

소개

전기전자공학 - 마이크로, 나노 기계(MICRO,NANO MACHINE , mems)

목차

1. MEMS란?
1.1. 정 의.
1.2. mems의 역사와 mems의 정의의 변화.
1.3. 설 계.
1.3.1. 마이크로 세계의 이해.
1.3.2. 마이크로 머신의 재료.
1.3.3. 실용적인 접근에 초점.
1.3.4. 조합형 작동 시스템.
1.3.5. 마이크로 CAD.

2. MEMS 공정 기술

3. MEMS를 이용한 센서시스템
3.1. 센서시스템.(Sensor systems)
3.2. 천문학과 천체물리학.
3.3. 정 찰.
3.4. 소형화.

4. 다른 개발분야

5. 요약

본문내용

1. MEMS란?
(Micro Electro Mechanical Systems)
1.1. 정 의.
mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되 고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고 있는 기술개발 과제명은 초소 형 정밀기계 기술개발이라 부르고 있다.
현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가 공상소설의 영역을 벗어나 이제 현실공학의 새로운 분야로 정착되었다. 한마디로 말해 개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수mm에서 수nm까지에 이르며 수cm크기라 해도 마이크로 머신이라고 불리는 경우도 있다.
마이크로 머신의 아이디어가 제창된 초기에는 혈관 내를 돌아다니면서 환부를 치료할 수 있는 기계에 대한 구상도 있었다. 허나 지금 기존의 기계를 단순히 축소해야 마이크로 머신이 되리라는 생각은 이제 과거의 것이 되었다. mems란 마이크로머신이 느끼고 생각하며, 운동하는 시스템을 일컫는다.

1.2. mems의 역사와 mems의 정의의 변화.
1960년대 초 - mems는 실리콘 가공기술에서 시작되었으므로 최초의 연구는 실리콘 기판상 에서 미세 기계요소 즉, 밸브, 모터, 펌프, 기어 등의 부품을 2차원 평면으로 제작한 것이 그 시초였다. 이의 발전은 마이크로 센서의 수요 확대에 힘입어 실리콘 기판위에 압력센서,가 속도 센서등과 신호처리용 집적회로, 그리고 센서에 의해서 제어가 가능한 마이크로 액추에이터를 집접화하여 인텔리전트 시스템을 구현하려는 의도가 있었다.

참고자료

· 없음