[A+평가자료] 폐슬러지 (반도체 웨이퍼) 재생방법

소개

반도체 웨이퍼 제조시 폐슬러지가 발생합니다. 본 내용은 폐슬러지를 재생방법으로 폐슬러지로부터 절삭재 및 절삭유를 효율적으로 분리 회수하여 재생할 수 있는 반도체 웨이퍼 제조시 발 생하는 폐슬러지의 재생방법에 관한 것이다.

목차

제 1 장 서 론

제 2 장 본 론
폐슬러리의 고효율 재생방법 1
폐슬러리의 고효율 재생방법 2
폐슬러리의 고효율 재생방법 3
폐슬러리의 고효율 재생방법 4
폐슬러리의 고효율 재생방법 5
폐슬러리의 고효율 재생방법 6
폐슬러리의 고효율 재생방법 7

제 3 장 결 론

참고문헌

본문내용

<폐슬러리의 고효율 재생방법 1>
1.교반단계
폐슬러리 수집통에 수거되어 운반된 폐슬러리가 교반탱크에 투입되면 교반탱크 (구동모 터에의해 회전하도록 구성된 로우터 등과 같은 교반수단)로 폐슬러리를 교반하여 폐슬러리에 침전된 절삭분과 이물질들을 고루 분산시킨다. 이때 교반 탱 크의 외주변에 설치된 히터가 페슬러리를 연화시켜 연마제와 오일이 쉽게 분해될 수 있도록 교반탱크 내부의 폐슬러리에 일정 온도 범위(50±15℃)내에서 열을 가한 다. 그 바닥에는 설치된 중량 측정장치가 유입된 폐슬러리의 중량을 상시 측정하여 그 측정결과를 작업자가 확인할 수 있도록 디스플레이 함과 아울러 그에 따른 신호 를 제어부에 보내 그 제어부로 하여금 설정된 프로그램에 따라 그 배출측 도관에 설치된 밸브를 자동으로 개폐하게 한다. 아울러, 교반탱크에는 그 내부에 저장된 폐 슬러리에 열을 가해주기 위한 히터가 장착되어 있다.
2. 희석단계
교반된 폐슬러리는 희석탱크로 압송되며, 희석탱크는 교반된 슬러리를 후술하 는 오일탱크로부터 압송되어 오는 재생오일과 1:2의 질량비율로 혼합, 희석하여 1 차 원심분리기로 송출한다. 이때 희석탱크에 유입되는 폐슬러리의 양이 희석탱크의 용량을 초과하는 경우 그 초과 폐슬러리는 보조희석탱크로 이송되어 그 보조 희석 탱크에서 희석된 다음 1차 원심분리기로 송출된다. 아울러, 희석탱크에는 그내부에 저장된 폐슬러리에 열을 가해주기 위한 히터가 장착되어 있다.
3. 1차 원심분리단계
1차 원심분리기는 상기 희석탱크 또는 보조 희석탱크로부터 유입되는 희석 폐 슬러리를 앞서 설명한 2차 원심분리기와 동일한 분리방식으로 1차 오일과 비중이 큰 연마제로 원심분리하여 1차 오일은 1차 오일 임시저장탱크를 거쳐 2차 원심분 리기로 배출하고 연마재는 스크류 이송장치로 배출한다.
4. 2차 원심분리단계

참고자료

· 대한민국특허청(KR), 출원번호 : 20-2002-0016369
· 대한민국특허청(KR), 출원번호 : 10-2004-0021480
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· Neesse(2006)