sem의 원리

소개

sem의 원리와 주요 부분설명

목차

SEM의 원리
Electron Gun
Filament
Condenser Lens
Objective Lens
Stigmator coil
Scancoil
SE Detector

본문내용

SEM의 원리
SEM (Scannng Electron Microscope)은 Electron beam이 Sample의 표면에 주사하면서 Sample과의 상호작용에 의해발생된 S.E(Secondary Electron)를 이용해서 Sample의 표면을 관찰하는 장비이다. Electron gun에서 만들어진 electron beam은 세 개의 Electro magnetic lens에 의해 집속되어 Specimen표면에 도달한다.Specimen표면에서는 다양한 Signal이 발생하는데 SEM은 Secondary electron을 이용한다.수집된 Secondary electron은 Scintillator에서 Light로 변환되고 이 Light는 Photomultiplier에서 Electric signal로 변환된다.그리고 이 Signal은 Preamplifier에서 증폭되어 CRT에서 발광한다.CRT에서의 Electron beam scanning과 Specimen에서의 Beam scanning은 Syncronized되어 있기 때문에 Specimen에서 scanning된 image가 CRT상에 동일하게 표현이 된다.

Electron Gun
Filament에 전류를 흘려 가열이 되면 Filament로부터 열전자가발생하는데 이것을 Filament와 Anode사이에 전압을 주어 Anode로부터 끄집어낸다.
Wehnelt cap과 Filament사이에는 Bias를 가하여 Filament에서발생하는 열전자를 집속시키고 Bias를 변화시켜 그 양을 조절할수 있다.이렇게 발생한 열전자는 Anode를 통해 Condenser Lens로 간다.이 때 Electron beam이 가장 가는 점을 Crossover라고 부른다.
Wehnelt cap과 Anode사이의 전위차에의해 Beam은 가속된다.가속전압은 Wehnelt cap과 Anode사이의 전위차를 말한다. SEM의 신호원이며 광학현미경의 광원에 해당한다. Filament로는 텅스텐(W), LaB6가 있으며 Field EmissionGun도 있다.

참고자료

· 없음