[반도체]플라즈마, 진공, 펌프

소개

[DH실험]이라는 제목아래 저의 실험 레포트를 올립니다.

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목차

1. 플라즈마
1) 정의
2) 역사
3) 특성
4) 성질
5) 생성방법
6) 응용

2. 진공
1) 정의
2) 응용
3) 배기
4) 진공펌프 --- 여러가지 종류 별로 원리 및 특징을 잘 설명해
5) 게이지 놓았습니다. 분량:15페이지정도

본문내용

1. 플라즈마
1) 정의

플라즈마의 어원
: 19C 생물학이나 의학에서 먼저 통용되던 말이었다.
생물학에서는 플라즈마란 단어가 "원형질, 특히 그 속에서 생명활동의 무대가 되는 반유동성인 세포질"을 가리켰다. 의학에서는 혈장이나 림프액을 Plasma라고 지칭하였다.
물리학에서 플라즈마가 처음 사용된 것은 1928년 랭뮤어(Langmuir)가 사용한 말이었다.
네온등의 빛을 내는 부분과 같은 진공 방전일 경우에 방전 상태의 기체에 대하여 조사하여 보면, 전극으로부터 조금 떨어진 "양광주"라고 부르는 부분에서는 전자와 이온이 거의 같은 밀도로 분포되어 있고, 모든 곳에서 전기적으로 중성이 되어 있어서 균질성이 아주 잘 유지되어 있다. 이 특이한 기체에 대해 랭뮤어는 "Plasma" 라고 이름을 붙였다.

플라즈마의 정의
: 보통의 기체는 전기적으로 중성인 원자나 분자로 되어 있는데 음의 전하를 갖는 전자가 양의 전하를 갖는 이온으로부터 해리되어 자유롭게 움직일 수 있게 된 기체를 전리기체 또는 플라즈마(plasma)라고 한다. 우리들 주변에는 네온사인이나 형광등, 번개 등의 발광체 정도 밖에 볼 수 없으나 이러한 것은 극히 일부분의 원자들만이 전리되어 있는 약 전리 플라즈마이다. 그러나 우주에는 물질의 거의 전부가 플라즈마 상태로 존재한다. 실제로 전리층, 자기권, 성간 공간 나아가서 태양이나 항성의 표면이나 내부에 이르기까지 거의 플라즈마 생태로 되어 있다. 그것도 오로라를 발광하는 지상 120km 부근으로부터 바깥쪽은 거의 완전전리 플라즈마이다
1928년에 랭뮤어(Irving Langmuir)가 글로방전의 기둥에서 전기적 진동을 발견하여 그것에 플라즈마 진동이라고 이름 지은 것으로부터 시작된다. 플라즈마는 전체로서는 전기적으로 중성이면서도 통상의 기체와 달리 전기전도성이 좋고, 전자기장에 대하여 강한 반응을 나타냄으로 고체, 액체, 기체에 이은 물질의 제 4 상태라고 불린다. 완전전리 플라즈마를 만들려면 충분히 고온(수소에서 약 3만℃)으로 하면 된다. 이러한 플라즈마를 고온 플라즈마(high temperature plasma)라고 한다. 지상에서 핵융합에 의해 새로운 에너지원을 개발하려는 연구에서는 1억℃라는 초고온 플라즈마의 생성, 보유가 요구된다

참고자료

· 없음