신소재공정실험_Four-point probe법을 이용한 유무기 전극의 전기전도도 측정 결과보고서

목차

1. 실험 결과 및 고찰
2. 결론
2. 결론
참고 문헌

본문내용

1) 실험 결과

< 중 략 >

Ag 두께: 100nm, ITO 두께: 150nm, PEDOT:PSS 두께: 61nm (코팅 조건: 3000 rpm, 60s)- 평균 전기 전도도: Ag: 47337854.9 (S/m), ITO: 6041565.8 (S/m), PEDOT:PSS: 33226.2 (S/m)- I-V 폴더에 저장된 C-V sweep 파일에서 설정한 Target Current에 도달하기 위해 가한 전압을 확인할 수 있고 측정된 전압 값과 target current로 면저항을 구할 수 있다.
② 4-Point Probe 측정을 하는 이유
Van der Pauw Method는 임의의 2D 모양을 측정할 수 있어 모양 제약이 거의 없다는 장점이 있지만 계산이 비교적 복잡한 반면, 4-point probe는 Rs = πln2 ∗ ∆V
I 을 통해 면저항을 빠르게 구할
수 있고 접촉 불량에 덜 민감하므로 실험실 수준에서 증착한 박막의 면저항을 확인할 때는 를 이용하는 것이다. 반도체 공정 중 도핑이 균일하게 되었는지 평가하거나 박막 증착 공정을 제어할 때는 Van der Pauw Method를 이용해 전류가 시료 전체에 균일하게 퍼져 흐르는 2차원 분포를 측정한 후 e−πRA/Rs+e−πRB/Rs=1을 이용해 더 정확한 저항값을 얻을 수 있을 것이다.

참고자료

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