[열처리] 열처리 온도에 따른 비저항 변화 및 silicide 형성

소개

실험 레포트에 도움되셨으면 합니다.

목차

1.실험제목
2.서론
2-1.물리적증착법(PVD)
2-2.로터리 펌프
2-3.오일펌프
3.실험방법
4.실험결과 및 고찰
4-1.열처리온도에 따른 비저항곡선을 plot 하시오.
4-2.AES data를 참고하여 비저항의 변화를 설명하면서 쓰시오.
4-3.비저항과 AES를 참고하여 Scratch test data를 설명하면서 쓰시오.
4-4. 순수한 Ag의 경우보다 alloy한 Ag가 비저항이 더 높은데 alloy를 하는 이유와 Silicide를 형성함으로써 장점을 설명하시오.

본문내용

■ 물리적 증착법
물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 코팅시키는 것을 의미하였으나, 최근에는 증기상과 송입한 가스와의 화학적 반응에 의해 생성되는 복합물을 코팅시키는 것도 포함시키고 있으며, PVD를 일반적으로 진공코팅이라 부른다.
고체 재료를 증기상으로 만드는 방법에는 진공에서 증발시키는 방법과 이온 스퍼터링에 의해 원자상태로 방출시키는 방법이 있다. 그런데 이온 도금은 이들 두 방법 중 어떤 방법으로 표적재료(증발재료)를 증기상으로 만들던 간에 코팅증 피처리물 표면에 생성된 에너지를 가진 이온으로 피처리물 표면을 활성화시켜 접착성을 크게 증가시킨 방법이다. 이들 모든 방법은 10-2∼10-7 torr의 진공조건에서 생성된 증기상을 피처리물 표면으로 이동되어 응착되게 하여 피복층을 형성시켜 피처리물 표면의 기계적, 화학적, 전기적 및 광학적 특성 등을 개질처리하는데 이용되고 있다.

순수한 Ag로 박막을 하면 표면에는 Ag만 존재하기 때문에 alloy한 Ag보다 비저항 값이 낮아진다. 그럼에도 불구하고 alloy한 Ag를 사용하는 이유는 pure한 Ag는 Si과의 결합력이 나쁘기 때문이다. Pd를 불순물로 첨가한 Ag는 접착력이 좋아서 이 단점을 커버할수 있다.
그러나, 이는 박막에 불순물이 첨가됨에 따라 비저항이 증가하게 되는 단점이 있다. 이점을 보완하기 위해 열처리를 하였고, 열처리 시 온도를 증가함에 따라 비저항이 감소하였다. 이는 박막에 포함되어 있는 Pd가 열처리에 의해 Si로 확산되어 들어감으로 비저항이 감소하는 것으로 생각된다.

참고자료

· 없음