전기공학머신러닝 실험 10-1. 직접회로 소자 공정 미세 분석법(1) 예비보고서

소개

"전기공학머신러닝 실험 10-1. 직접회로 소자 공정 미세 분석법(1) 예비보고서"에 대한 내용입니다.

목차

1. 실험 명 2
2. 실험 개요 2
3. 이론 조사 2
4. 실험 기기 5
5. 예비보고서 5
6. 참고 문헌 6

본문내용

1. 실험명
실험 10-1. 직접회로 소자 공정 미세 분석법(1)

2. 실험 개요
직접회로의 공정 및 재료분석법에 있어서 대표적인 미세 분석법 (microstructure analysis)에 대한 원리를 이해하고자 한다. 대표적인 미세분석법인 XRD분석 및 SEM 분석법에 대한 원리에 대한 이해 및 이를 이용한 데이터 시트의 분석에 그 목적을 두고 있다. 본 실험을 통해 결정(crystalline) 및 비결정(non-crystalline)상태의 분석을 가능하게 하며, 실제 미지의 샘플(unknown sample) 측정을 통해 구성 물질을 파악하는데 그 목적이 있다. 또한 SEM 분석을 통해 소자 및 재료의 미세 구조 및 두께 등의 육안으로 파악할 수 있는 분석법을 익히며, 이를 통해 실제 직접회로 소자 공정 및 분석에 있어서의 마이크로/나노 스케일의 분석에 대한 이해 및 응용을 가능하게 하고자 한다.

3. 이론조사
- XRD
1) X-선의 특성
엑스선은 파장이 0.01~10나노미터인 전자기복사의 한 형태로 30페타헤르츠에서 30엑사헤르츠 사이의 주파수에 해당한다. 이러한 짧은 파장은 엑스선이 다양한 물질을 투과할 수 있게 해주기 때문에 내부 구조 분석에 유용하다. 엑스선은 고에너지 전자가 금속 표적, 대표적으로 구리나 몰리브덴을 타격할 때 만들어지는데, 이 표적은 특징적인 엑스선선을 방출한다.

참고자료

· 광운대학교 전기공학과, 전기공학머신러닝, 9-15p.
· Cullity, B. D., & Stock, S. R. (2001). Elements of X-ray Diffraction (3rd ed.). Prentice Hall.
· Goldstein, J., Newbury, D. E., Joy, D. C., Lyman, C. E., Echlin, P., Lifshin, E., ... & Sawyer, L. (2003).
· Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis. Springer.
· Reimer, L. (1998). Scanning Electron Microscopy: Physics of Image Formation and Microanalysis. Springer.
· Malvern Panalytical. (2020). XRD Sample Preparation Webinar.