
[재료공학실험]플라즈마 질화처리
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2023.07.04
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1. 플라즈마 질화처리플라즈마 질화처리는 무공해 표면경화처리법으로서 다른 질화법에 비해 running cost가 적게 들며 작업 환경이 청결하고 처리 조건에 따라 질화층을 조절할 수 있는 등 여러 가지 장점이 있다. 플라즈마 질화 시 시간과 강종에 따라 재료의 조직과 경도의 변화를 알아보고자 하였다. SACM645와 SCM 시험편을 5시간과 10시간 동안 플라즈마 질화 처리하고 연마를 통해 경도를 측정하였다. 그 결과 10시간 동안 질화 처리한 시편들의 질화층이 조금이나마 두꺼워졌으며, SACM645가 SCM보다 질화층이 두꺼운 것을 확인할 수 있었다. 또한 질화 처리에 따른 경도 값의 변화를 측정하였는데, 표면에서부터 내부로 갈수록 경도 값이 낮아지는 것을 알 수 있었다.
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2. 플라즈마 질화 원리플라즈마 질화처리는 N2와 H2 가스를 1~10 Torr의 희박한 분위기의 진공로에서 처리부품을 음극(-), 로벽을 양극(+)으로 하여 수백 V의 직류전압을 가하여 글로우 방전을 일으켜 N+, H+ 이온을 발생시키고, 이들 이온이 처리부품의 표면에 높은 운동 에너지를 갖고 충돌하여 처리온도까지 가열함과 동시에 질화를 행하는 방법이다. 플라즈마 질화에 의한 질화 반응은 Fe 원자와 N이 결합하여 FeN이 되고, 이 FeN이 불안정하여 점차 저 농도의 질화물 FeN → Fe2N → Fe3N → Fe4N의 변화를 일으켜 질화가 진행한다.
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3. 플라즈마 질화의 장단점플라즈마 질화법의 장점은 무공해, 작업환경 및 작업성이 좋고, 표면 화합물 층의 자유로운 조정이 가능하며, 질화 속도가 빠르고 열처리 변형이 적다는 것이다. 또한 피로강도, 내마모성, 내식성을 향상시킬 수 있다. 단점으로는 형상과 크기에 제한이 있고, 급랭이 불가능하며 생산성이 낮다는 것이다.
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4. 플라즈마 질화 실험 방법실험에서는 SACM645와 SCM 시험편을 사용하였으며, 먼저 불순물 제거를 위해 1시간 동안 스퍼터링을 실시하였다. 그 후 처리부품을 음극(-), 챔버를 양극(+)으로 하여 500V의 직류전압을 가해 글로우 방전을 일으켰다. N2, H2, Ar 가스를 주입하여 이온화시키고, 이온이 시험편에 충돌하여 가열 및 질화가 진행되도록 하였다. 시편을 5시간과 10시간 동안 플라즈마 질화 처리하였으며, 연마 및 부식 후 조직 관찰과 경도 측정을 수행하였다.
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5. 실험 결과 및 고찰실험 결과 10시간 동안 질화 처리한 시편의 질화층이 5시간 처리한 시편보다 두꺼운 것을 확인할 수 있었다. 또한 SACM645가 SCM보다 질화층이 두꺼운 것으로 나타났다. 경도 측정 결과 표면에서부터 내부로 갈수록 경도 값이 낮아지는 것을 확인하였으며, SACM645의 경도가 SCM보다 전반적으로 높게 나타났다. 이를 통해 플라즈마 질화 처리 시간과 강종에 따라 재료의 조직과 경도 특성이 달라짐을 알 수 있었다. 플라즈마 질화는 가스질화에 비해 처리 시간이 짧고 재료 변형이 적다는 장점이 있으며, 환경오염 문제도 해결할 수 있는 것으로 확인되었다.
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1. 플라즈마 질화처리플라즈마 질화처리는 금속 표면에 질소를 침투시켜 경도와 내마모성을 향상시키는 기술입니다. 이 기술은 기존의 열처리 방식에 비해 낮은 온도에서 처리가 가능하고, 복잡한 형상의 부품에도 균일한 처리가 가능하다는 장점이 있습니다. 또한 에너지 효율이 높고 환경 친화적이라는 점에서 주목받고 있습니다. 플라즈마 질화처리는 자동차, 기계, 의료 등 다양한 산업 분야에 적용되고 있으며, 향후 더 발전된 기술로 활용될 것으로 기대됩니다.
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2. 플라즈마 질화 원리플라즈마 질화 원리는 진공 챔버 내에서 고전압을 가해 플라즈마를 발생시키고, 이 플라즈마 내의 활성 질소 이온이 금속 표면으로 침투하여 질화층을 형성하는 것입니다. 이 과정에서 표면 온도, 압력, 처리 시간 등의 공정 변수가 중요한 역할을 합니다. 플라즈마 질화 기술은 기존 열처리 방식에 비해 낮은 온도에서도 효과적인 질화층 형성이 가능하며, 복잡한 형상의 부품에도 균일한 처리가 가능하다는 장점이 있습니다. 이러한 원리와 장점을 바탕으로 플라즈마 질화 기술은 다양한 산업 분야에서 활용되고 있습니다.
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3. 플라즈마 질화의 장단점플라즈마 질화 기술의 주요 장점은 다음과 같습니다. 첫째, 낮은 온도에서 처리가 가능하여 열변형 문제를 최소화할 수 있습니다. 둘째, 복잡한 형상의 부품에도 균일한 질화층 형성이 가능합니다. 셋째, 에너지 효율이 높고 환경 친화적입니다. 넷째, 기존 열처리 방식에 비해 처리 시간이 짧습니다. 단점으로는 초기 투자비용이 높고, 처리 후 표면 거칠기가 증가할 수 있습니다. 또한 일부 재료에서는 질화층 형성이 어려울 수 있습니다. 이러한 단점들은 지속적인 기술 개발을 통해 점차 해결되고 있습니다. 전반적으로 플라즈마 질화 기술은 기존 열처리 방식에 비해 많은 장점을 가지고 있어 산업 현장에서 널리 활용되고 있습니다.
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4. 플라즈마 질화 실험 방법플라즈마 질화 실험 방법은 다음과 같습니다. 먼저 진공 챔버 내에 시편을 장착하고 진공을 형성합니다. 그 다음 질소 가스를 주입하고 고전압을 인가하여 플라즈마를 발생시킵니다. 이때 표면 온도, 압력, 처리 시간 등의 공정 변수를 조절하여 최적의 질화층을 형성할 수 있습니다. 실험 과정에서 주의해야 할 점은 진공 상태 유지, 가스 주입량 및 고전압 인가 조건 등을 정밀하게 제어하는 것입니다. 또한 처리 후 시편의 경도, 두께, 미세구조 등을 분석하여 최적의 공정 조건을 도출해야 합니다. 플라즈마 질화 실험은 금속 표면 개질 기술 연구에 있어 매우 중요한 역할을 합니다. 이를 통해 다양한 재료의 표면 특성 향상 방안을 모색할 수 있으며, 실제 산업 현장에 적용할 수 있는 기술 개발이 가능합니다.
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5. 실험 결과 및 고찰플라즈마 질화 실험 결과 및 고찰은 다음과 같습니다. 실험 결과, 플라즈마 질화 처리를 통해 금속 표면에 균일한 질화층이 형성되었음을 확인할 수 있었습니다. 표면 경도는 약 2배 이상 향상되었고, 내마모성도 크게 개선되었습니다. 또한 처리 온도가 기존 열처리 방식에 비해 상대적으로 낮아 열변형 문제가 최소화되었습니다. 고찰 결과, 플라즈마 질화 공정 변수 중 특히 표면 온도와 처리 시간이 질화층 형성에 중요한 영향을 미치는 것으로 나타났습니다. 온도가 높을수록, 처리 시간이 길수록 질화층 두께와 경도가 증가하는 경향을 보였습니다. 이를 통해 플라즈마 질화 기술이 기존 열처리 방식의 단점을 보완할 수 있는 효과적인 표면 개질 기술임을 확인할 수 있었습니다. 향후 다양한 재료와 공정 조건에 대한 추가 연구를 통해 플라즈마 질화 기술의 활용 범위를 더욱 확대할 수 있을 것으로 기대됩니다.
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