"박막재료공학"의 검색결과 입니다.

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한양대 신소재 재료공학과 기계제어공학부 진학동기 cvd 신소재 공학 포스텍 대학원 세라믹도핑 화공생명공학과

EasyAI “박막재료공학” 관련 자료

+[공학]박막 재료의 물성 측정등록일 2006.11.19 | 총 7,230자 | 10페이지 | 1,000원
+[재료공학]박막의 증착 공정등록일 2006.04.09 | 총 10,687자 | 14페이지 | 1,500원

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"박막재료공학" 검색결과 1-20 / 947건

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재료공학실험(세라믹) 박막 증착된 웨이퍼들의 XRD 분석

실험 목적회절 X선을 이용하여 시료에 함유된 결정성 물질의 종류와 양에 관계되는 정보를 알 수 있다.실험 원리회절 X선이 나타내는 입사각 θ가 정해지면 격자면 간격 d가 구해지게 된다. 보통, X선 회절법에 관해서는 입사 X선과 격자면이 이루는 각도 θ보다도 측정계의 ..

리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.09.08

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광운대학교 박막재료공학 이()() 교수님 A+ 시험 공부 자료

:ALCVD:Spatial ALD:MOCVD:PLD:I-PVD:Uniformity:Step coverage등등 - 특성 차이 종류

시험자료 | 26페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.12.21 | 수정일 2023.12.22

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재료공학실험-재료의 산화 및 박막성장

재료공학실험1재료의 산화 및 박막 성장-예비REPORT실험목표- 실리콘 집적 회로 제작에서 가장 기본적이며 자주 사용되는 열 산화막을 형성하는 방법을 알아본다.- 열 산화막 ... 는 ‘ellipsometer' 라고 부른다.(1)ellipsometry 각 (Δ, Ψ)순수한 덩이의 표면이든지 박막이 덮여 있든지 시편의 구조와 그 구성 물질들의 광학적 성질, 두께, 그리고 ... 은 범위를 가짐을 알 수 있다.박막이 있는 경우 물론 (Δ, Ψ) 값에 제한이 없다. 일반적으로 반사된 후 p-파와 s-파의 크기가 다르고() 또한 그 위상차()가 있기 때문에 반사

리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.03.08

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[공학]박막 재료의 물성 측정

때 온도의 조절이 매우 중요하며 재료에 따라서는 어닐링에 의해 잔류응력이 감소하여 계면접합특성이 향상되기도 한다.(1) Pull-off test핀을 접착제로 박막에 고정시킨 후 ... ), 반발경도(rebound hardness), 압입경도(indentation hardness)로 나눈다. 이 중 압입경도가 금속재료의 경도측정에 널리 사용되고 있다. 압입경도 ... urveNanoindentation은 최근의 경도 측정방법으로 박막과 같은 수 m order 이하의 미소영역에서의 물성평가를 위해 새로 개발된 시험법이다. indentor의 압입 과정을 전기적인 방법

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19 | 수정일 2016.03.21

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[재료공학]박막의 증착 공정

박막증착공정모재 표면에 수 마이크로미터 정도의 두께를 갖는 이종물질을 증착함으로써 표면성질을 개선하거나 특수한 기능을 갖는 구조를 제조하려는 연구가 활발히 진행되고 있다. 박막 ... 의 광범위한 응용범위는 진공 및 관련기술의 발달에 힘입어 반도체소자, 광학재료, 자성재료, 센서, 초경재료, 내부식성 및 내산화성 재료에 이르기까지 매우 다양하다진공이란진공은 공간 ... 을 응용하기 위해서는 지상에 인위적인 진공을 발생시키고 제어해야 한다. 이런 진공기술의 요소는 발생기술, 재료기술, 가공 및 부품기술, 평가 및 제어기술로 대별되며 이 네 가지 요소

리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.09

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[재료공학] 박막 기초

진공: 공업적으로 ‘대기압 이하의 상태’○공업적으로 진공이 이용되는 이유a)화학적으로 비활성 (공기중의 활성 분자가 박막의 물질과 화합물 형성막음, 원하지 않는 화학 반응 예방 ... )b)열전도가 작다c)기체분자와의 충돌 적다.(진공이 아닐땐 증착입자의 직진을 방해하여 공간중에서 이슬과 같은 미립자로 변화하고 평편한 박막의 생성이 힘듦 )d)압력이 낮는 등 ... 는 평균거리이다.온도가 일정하면 압력이 낮을수록 기체 분자 밀도가 낮으므로 충돌확율이 낮아져 평균 자유행로는 길어진다.＊박막형성에서 증착 소스로부터 탈출한 입자가 잔류가스에 충돌하지

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.05.13

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[재료공학] 박막 제조법

3 박막 제조 방법1) 물리적 증착법물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 코팅시키는 것을 의미하였으나, 최근 ... 에는 증기상과 송입한 가스와의 화학적 반응에 의해 생성되는 복합물을 코팅시키는 것도 포함시키고 있으며, PVD를 일반적으로 진공코팅이라 부른다. 고체 재료를 증기상으로 만드는 방법 ... 에는 진공에서 증발시키는 방법과 이온 스퍼터링에 의해 원자상태로 방출시키는 방법이 있다. 그런데 이온 도금은 이들 두 방법 중 어떤 방법으로 표적재료(증발재료)를 증기상으로 만들

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.27

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고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착

재료는 금속, 합금을 비롯하여 화합물, 비금속 산화물 등이 있다. 이들 박막의 기능별로 특성에 따른 응용분야를 조사하면 그 범위가 매우 넓으며 위에서 언급한 응용에는 최근 모든 기술 ... . 31: 1326진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(결과보고서) PAGE \* MERGEFORMAT 1고려대학교 신소재공학부 ... AMSE305진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 (결과보고서)실험 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통해서 진공 및 진공장비

리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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[재료공학]박막의 두께 측정방법

박막의 두께 측정 방법서문반도체 제조 공정 중 중요한 공정인 두께 측정에 대한 조사를 동하여 반도체 설계 시 표면의 거칠기와 두께 측정이 얼마나 반도체의 성능을 좌우 할 수 있 ... 는가에 대하여 조사하고 또한 종류는 어떤 것 들이 있는지에 관하여 조사한다.반도체 박막두께 인증표준물질최근 반도체 소자가 고집적화ㆍ소형화됨에 따라 반도체 소자 제조공정에서 사용 ... 되는 박막의 두께가 단일 원자층 수준으로 급격히 얇아지고 있다.반도체 소자는 실리콘 웨이퍼에 얇은 막을 입힌 후 그 표면에 식각이나 산화ㆍ증착ㆍ배선 등 다양한 공정을 거쳐 만들어지

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.18

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(재료공학실험)진공증착기를 이용한 ohmic contact 형성용 metal박막증착

Ⅵ. 진공 증착기를 이용한Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비 보고서)2007170033신소재공학부이희준1. 실험 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험 ... 을 통하여 진공 및 진공장비의 원리를 이해하고, 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의기본개념을 이해한다.2. 실험 예비 문제1) 진공에 대해서 조사하시오.진공의 사전적 의미 ... 한 전극 등 금속부분은 배기하면서 빨갛게 달군 상태에서 기체를 사전에 방출하는 작업을 한다. 관 내부에는 바륨·마그네슘·붉은인 등을 주재료로 하는 금속조각을 증발시킴으로써 관 벽에 막

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.03.22

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고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비보고서)

의 메모리로도 사용되며 광학적 코팅의 경우에는 두께가 다양한 여러 개의 Layers들로 구성하는 것이 가장 좋은 효율을 나타낸다. 세라믹 재료의 박막은 상당히 다양하게 사용되는데 상대 ... AMSE305진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 (예비보고서)실험 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통해서 진공 및 진공장비 ... 의 원리를 이해하고 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.배경 이론박막(Thin Film)이란?박막(Thin Film)은 기계가공으로는 만들 수 없는 두께

리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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[공학]박막재료의 표면 처리 및 PR제거

1. 실험제목박막재료의 표면 처리 및 PR제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 (1) 증착공정, (2) 마스크의 패턴형성 ... 그리고 (3) 식각 공정으로 구분된다.이러한 공정들 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하 ... 여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장 널리 사용되는 실리콘 산화막

리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.06

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[공학]반도체 박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거

■ 실험 제목- 박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거■ 실험 목적- 여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠 지는데 첫째 ... 로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것 ... 이다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.■ 실험

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.15

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[재료공학] 박막측정,기구

- 전기화학- 재료공학- 기타 표면 분석※ SPM의 종류 및 원리1) STM(Scanning Tunneling Microscope): 최초의 원자현미경그림 1. SPM의 일반적인 구조 ... ● 박막의 두께 측정 방법★ ESCA를 이용한 박막의 두께 측정박막이 ESCA로 관찰할 수 있는 깊이 이내의 두께를 가질 때에는 ESCA에 의한 박막의 두께 측정이 가능해진다 ... . 그림에서 S는 박막 F를 입히는 데에 사용한 기질이고 O는 박막 위에 생긴 덧층(overlayer, 주로 진공 중에 존재하는 탄화수소로 인한 불순물 층)이라고 하자.l_f와l_s

리포트 | 28페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.11.27

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[반도체공학]박막 재료의 표면처리 및 식각 실험

1. 실 험 제 목 : 박막 재료의 표면처리 및 식각 실험2. 실 험 목 적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지 ... 는데 첫째로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나뉘어 진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막 ... 을 식각하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다

리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.27

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[재료공학] 초음파 분무 분해법의 종류와 박막증착

{Spray pyrolysis 법의 종류 및 그에 의한 박막 증착- Spray pyrolysis Technique and thin film deposition -I

리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.12

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[재료공학실험]전착 공정을 이용한 박막의 제조 및 특성 분석

전착 (electrodeposition)1) 전착의 원리와 다른 증착방법들과 비교하였을 때의 장단점은 무엇인가?전착의 원리전착도장은 전착도료 용액 중에 양극 또는 음극으로 침적한 피도물과 그 대극 사이에 직류 전류를 통하면 다음과 같은 현상이 동시에 일어나면서 피도물 ..

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.24

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[재료공학] 플라즈마,PVD,박막형성기구

이 될 수 있어, 고온재료의 가공이나 분출을 통한 추진력을 얻는데 이용할 수 있다. 수소 플라즈마의 경우 십만도 K 정도의 온도인 경우 내부 에너지 밀도가 20 Cal/cm3, 압력 ... 할 수 있다.♣ 플라즈마의 응용분야(1) 신소재 합성 ☞ 종래의 초고압, 고온에서 얻어지던 인조 다이아몬드가 플라즈마를 이용한 기상 증착법에 의해, 특히 박막 형태로 얻어지고 있 ... 의 표 의해 만들어지는 섬유나 재료의 기능을 향상시킬 수 있다.(3) 금속 표면처리 ☞ 금속표면에 TiN/C, CrN/C, AlN 등과 같은 초경 피막을 코팅함으로써 표면의 내마모

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.11.27

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[재료공학]SBT 박막제조와 누설전류 정전기용량 측정 결과 보고서

재료공학기초실험ⅢSBT 박막제조와 누설전류,정전기용량 측정 결과 보고서분반 :조 :학번 :이름 :■ 실험목적SBT 박막 증착 과정을 통해 유전체의 성질을 알고, 반응 온도 및 ... 2O9 박막의 강유전체 특성, 조선대학교 재료공학과- http://www.icm.re.kr (재료연구정보센터) HYPERLINK " - http://home.pusan.ac.kr ... 재료와 금속 재료의 제조법 및 물성 측정방법을 알아보고 전자부품의 소형화, 경량화, 직접화를 가능하게 하는 박막 공정을 공부한다.강유전체 물질을 Si 기판 위에 박막으로 증착

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19

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[재료공학실험] 박막증착실험(진공, pvd, cvd)

분야저진공105 (대기압) ~ 102기계공학, 식품공학중진공102 ~ 10-1전자공학, 광학 진공야금고진공10-1 ~ 10-5반도체, 레이저 광학초고진공10-5 ~ 10-10반도체 ... 고 이로 인해 박막이 형성되게 된다. 이어서 기상의 부산물들은 reaction chamber를 빠져나간다.박막은 여러가지 방법으로 제조될 수 있는데, 그 중에서 무엇보다도 화학기상증착 ... 이 가장 널리 쓰이고 있다. 화학기상증착은 반응기체의 유입하에서 가열된 substrate 표면에 화학반응에 의해 고체 박막이 형성되는 것을 일컫는다. 이 공정은 어떤 박막을 형성

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.15

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