"스퍼터링"의 검색결과 입니다.

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스퍼터링 증착 Sputter 전기화학 ito glass sputtering 목적 박막공정

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"스퍼터링" 검색결과 481-500 / 947건

sputter deposition에 대한 이해

. (a) 전형적인 2극 직류 스퍼터링 장치, (b) 스퍼터링 장치에서의 음극(타겟)의 구조2.3. RF sputtering(1) sputtering plasma 발생

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 20페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.09.07

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CIS,CIGS

합물이기 때문에 제조공정이 매우 까다롭다. 물리적인 박막 제조 방법으로는 증발법, 스퍼터링 + 셀렌화, 화학적인 방법으로는 전기도금 등이 있고 각 방법에 있어 서도 출발물질 (금속 ... 태양전지의 흡수층 제작 방법은 동시증착(co-evaporation)법, 스퍼터링(sputtering)법, 전착(electro-deposition)법, 유기금속 기상성장법 ... (molecularorganic chemical vapor deposition, 이하 MOCVD)법 등이있고, 이들 중 상용화가 추진 중인 제작방법은 동시증착법과 스퍼터링법이다.동시증착법

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 18페이지 | 15,000원 | 등록일 2010.12.22 | 수정일 2022.08.12

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Cu film의 전기적 특성 분석 실험

으로 해야 한다.- 기판이 과열되기 쉽다.Ⅱ) RF SputteringDC sputtering에서는 target이 산화물등 절연물체일 때는 스퍼터링이 되지않는다. 그러나 고주파(RF ... : radio frequency)를 사용하면 절연체도 스퍼터링이 되며 1/1000 ~ 1/10000 torr 같은 저압에서도 플라스마가 유지될 수 있다. 보통은 13.56MHz의 주파

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.04.03

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센서에 대하여

,ZnO등의 N형 산화물 반도체의 소결체와 그 후막, 증착이나 스퍼터링으로 제작된 얇은 막을 가열하고 가스 속에서의 전기 저항의 변화로 가스를 검출한다.SEN0127 아날로그 가스센서

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| 리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.07.15

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D.C Magnetron Sputterimg 으로 증착한 Cu 박막 결과 보고서

다. [1]2)의료용 도뇨관 표면의 도선용 구리 박막 증착 이용※ E-mail : -sayyou-@hanmail.net2. 본 론2.1 스퍼터링고 에너지의 입자를 원하는 박막과 동일인 ... 물질로 이루어진 기판에 충돌시켜 그 곳으로부터 원자와 분자가 떨어져 나와 박막을 만드는 방법을 말한다.[2]2.2 스퍼터링에 의한 박막의 특징1.스텝 커버리지(STEP ... 기 때문에 비교적 많이 사용된다. [6]-스퍼터링은 스텝 커버리지(STEP COVERAGE)가 좋기 때문에 시간이 지나갈수록, 많은 Ar원자가 전자와의 충돌에 의해서 양이온의 Ar

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| 리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2003.07.17

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다양한 신소재합금

3Sn이 생긴다.초전도재료의 가공은 선이나 테이프 형태로 만드는 선재화기술 외에도 도포, 증착, 스퍼터링 등에 의한 박막화 기술, 필요한 형태로의 소결성형, 그리고 단결정 제조기술

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| 리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2017.06.14

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저온에서 플라즈마를 이용한 스테인레스 열처리

가스와 플라즈마를 안정화 시키는 역할을 하는 H2 가스 혼합분위기에서 스퍼터링 스땡 표면에 산화막을 제거 하고 표면 Fe 원자의 결합력을 떨어뜨려 C( 탄소 ) 의 재료내부

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| 리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.12.12

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Low E 유리

가능5.Low E 유리 제법(1) 제법에 따른 분류현재 상업화된 로이 유리는 제조방법에 따라 열분해(Pyrolytic)법으로 제조된 파이로리틱 로이 유리와 마그네트론 스퍼터링 ... 방법에 따라 스퍼터링공법(sputtering process)에 의한 소프트 로이(soft low-E)와 파이롤리틱 방법(Pyrolytic process)에 의한 하드 로이(hard

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| 리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.12.08

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SEM 이미지의 생성 원리, charging현상과 해결 방법, OM과 SEM의 image의 차이점과 그 이유

층이 두꺼운 경우에는 단면의 미세한 조직구조들이 금속 코팅층에 덮여 구분이 어렵다.? 이온 스퍼터링 (저진공 ~ 수Pa) : 시료를 코팅하기 위해 사용되는 코팅금속재료는 음극판 ... 와 스퍼터링 시간에 비례한다.? 마그네트론 스퍼터링 (저진공 ~ 수pa) : 이 장치에서는 음극과 양극이 동축으로(coaxially) 배열되어 있으며 동축의 시린더 자석은 음극 뒤 ... 를 증착하는 동안에 시료를 좌우로 기울이거나 회전시킨다.? 이온빔 스퍼터링 (고진공 ~ 10-3Pa) : 코팅금속재료는 불활성가스 이온빔에 의하여 스퍼터링 되어 시료 표면에 코팅

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| 리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.04.14

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이온플레이팅

의 총칭이라 할 수 있다. mattox는 이것을 ‘증착전이나 증착과정 중에 고 에너지의 이온으로 형성되는 유속에 의해 지배되는 증착법’ 이라고 풀이 하였다.이온플레이팅도 스퍼터링 ... 과 비슷하게 플라즈마를 사용한 증착 공정 이지만 스퍼터링과는 달리 보통 증착하고자 하는 물질을 증발 법으로 기상화한 뒤 reactive gas나 불활성 기체들고 함께 이온화하여 음 ... 다. 이온빔을 PVD에 이용하는 방법은 두 가지로서, 하나는 이온빔을 스퍼터링원으로 사용하는 것이다. 글로 방전 플라즈마 대신에 이온빔을 타겟 표면에 조사함으로써 스퍼터링 현상을 유도

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| 리포트 | 19페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.07.03

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[금속공학]건식증착법

는 PVD보다 일반적으로 훨씬 고온의 환경을 요구한다.PVD에 대해 언급하면, PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam ... ), Cr의 크로마이징, 규소의 실리콘나이징, 아연의 징크나이징들이 있다.2. 물리증착 Chemical Vapor Deposition(CVD)(1) 스퍼터링법(Sputtering ... )스퍼터링은 진공 중에서 불활성 기체(주로 Ar, Kr, Xe등)의 글로 방전(Glow dis charge)을 형성하여 양이온들이 음극 바이어스 된 타겟(Target )에 충돌

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| 리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.04.30

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3. Thermal evaporation 결과

하고 은 코일을 얇은 유리에 씌우는 Thermal Vaporation을 하여본다.2. 이론2.1 박막의 기능박막(0.001∼100micron)은 스핀 코팅, 진공휘발, 스퍼터링, 기상

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| 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.22

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[미립자]미립자 제조 관련기술 자료

의 초미분 입자를 제조할 수도 있으며 입자 크기는 1 nm~102um 범위를 갖다.(3) 스퍼터링 공정(sputtering process)스퍼터링 공정은 고체너지를 갖는 이온을 직접 ... 고체 표면에 충돌시켜 고체 표면으로부터 원자 또는 클러스터를 이탈시킨 후 이들을 성장시켜 입자를 제조하는 공정이다. 스퍼터링 공정은 원재료의 증기압과는 무관하게 원료 물질을 작 ... 은 입자 상태로 분쇄 시킬 수 있기 때문에 고체 원료의 증기압이 낮아 증발 응축 방법에 의해 입자를 제조하기 어려운 물질에 스퍼터링 공정을 적용할 수 있다. Ar이나 Kr 플라즈마

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| 리포트 | 35페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.11.21

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반도체공정실험 예비보고서(Metal deposition)

의 박막이나 나노 구조를 만들 때 쓰인다. PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링(Sputtering), 전자빔 증착법(E-beam evaporation), 열증착법(Thermal

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| 리포트 | 3페이지 | 5,000원 | 등록일 2014.09.23 | 수정일 2021.04.11

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CIS,CIGS

과 스퍼터링법장점단점간단한 구조 저렴한 구성대면적화의 어려움 진공장치 내부의 심각한 오염 양질의 박막 제작이 힘듬미국의 국립재생에너지연구소 19.5%의 에너지변환효율스퍼터링 기술의 모식

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| 리포트 | 23페이지 | 15,000원 | 등록일 2010.12.22 | 수정일 2022.08.12

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재공실 - sputtering 결과보고서

를 공급하는 창치이다. MFC(Mass Flow Controllor)가 가스종류 한 개당 하나씩 달려있다.8)Chthode shield : 장착된 타겟에서 원하는 부위만 스퍼터링

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| 리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.10.29

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박막 태양광기술에 대해서 전문적인 자료입니다

Sputtering(스퍼터링 법) 장점 : 금속 또는 절연체를 증착할 수 있음 Ar과 다른 혼합가스를 사용하여 반응을 수반한 화합물 증착이 가능 넓은 면적의 박막 제작유기금속 기상성장 법 ... → 성장박막의 물성을 매우 정밀하게 제어, 재현성이 뛰어남, 대형박막 쉽게 제작 → 동시증착과 스퍼터링법에 비하여 박막성장속도 빠름 → 가열된 기판에만 증착물이 선택적으로 증착되어 시료

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2012.08.26

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thermal evaporator(서머 이베퍼레이터), E-beem evaporator(이빔 이베퍼레이터) 조사 레포트

evaporator이 포함된다.그 밖의 PVD의 종류- 스퍼터링 (Sputtering)- 레이저분자빔증착법 (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy)- 펄스

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| 리포트 | 9페이지 | 3,000원 | 등록일 2015.05.30 | 수정일 2015.10.04

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플라즈마와 표면개질 plasma

에 박막을 형성한다.FTS RF Sputtering(스퍼터링) 방전된 모습3.플라즈마를 이용한 표면개질①플라즈마 코팅장치주요용도 : 세라믹, 텅스텐, 카바이트, 티타늄 외의 코팅

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.07.10

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통신전자회로 저항의 종류와 정의, 저항띠 읽는법

에도 널리 사용된다. 제조 방법은 세라믹 로드에 니 크롬, TiN, TaN, 니켈, 크롬 등의 합금을 진공증착, 스퍼터링등의 방법으로 필 름 형태로 부착시킨 후 홈을 파서 저항 값을 조절

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| 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.04.06

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