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포토레지스트 positive PR 포토리소그래피 웨이퍼 제조공정 한일무역분쟁 반도체 반도체 주제 서론
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"포토레지스트" 검색결과 261-263 / 263건

  • 자료 표지
    [광전자] 광전자재료에 대하여...
    , 느린 반응속도포토레지스트(Photoresist){반도체(半導體, semiconductor)란 상온에서 금속과 같은 도체보다도 전하를 잘 이동시키지 못하지만 유리나 자기와 같은 부도체(
    리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2002.04.06
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  • 자료 표지
    [전자정보용 고분자] 반도체용 저유전물질
    을 가지는 유기·고분자 물질이 합성되기 시작하였다. 현재 유기·고분자 물질은 포토레지스트 (photoresist), 초박막 절연막 (interlayer dielectrics
    리포트 | 12페이지 | 2,500원 | 등록일 2002.05.11
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  • 자료 표지
    Spinless coating의 균일성 향상을 위한 연구
    포토레지스트 물질로 도포된다. 웨이퍼는웨이퍼를 고정시키기 위해서 자신의 표면 위에작은 진공 구멍을 가진 테플론 디스크 혹은평평한 금속인 진공 척(vacuum chuck) 위에탑재 ... (mount)된다. 액체 포토레지스트의 정확한양을 웨이퍼에 공급되고 웨이퍼는 웨이퍼 위에레지스트의 균일한 코팅을 구하기 위해서 회전된다.다른 레지스트들은 각기 다른 스핀 코팅상태 ... 를 요구한다. 포토레지스트 응용에서 중요한품질 측정은 시간, 속도, 두께, 균일성, 미립자의오염, 그리고 핀 홀과 같은 레지스트 결함이다.2.1.3 약하게 굽기레지스트가 웨이퍼 표면
    논문 | 11페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.12.15
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2025년 08월 26일 화요일
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