"진공,플라즈마"의 검색결과 입니다.

기간
- 전체
- 3개월
- 6개월
- 1년
- 2년
- 3년
- 5년
직접입력

적용
연관순
- 연관순
- 최신순
영역
- 전체
- 제목
- 본문
- 태그
페이지 수
- 전체페이지
- 1 페이지 ~ 5 페이지
- 6 페이지 ~ 10 페이지
- 직접입력 페이지 ~ 페이지 적용
확장자
- 전체
- 한글
- PDF
- MS워드
- MS엑셀
- MS파워포인트
- 압축파일
- 기타
할인자료 보기

연관검색어

스퍼터링 반도체 실험 반도체 공정 cvd 박막 투과도 dc/rf magnetron ITO Scribing 박막 증착

판매자 표지는 다운로드시 포함되지 않습니다.

"진공,플라즈마" 검색결과 181-200 / 1,435건

나노화학실험 CVD 예비보고서

성이 강한 기체 상태의 화합물을 반응 장치 안에 주입하여 이를 빛, 열, 또는 플라즈마 등으로 활성화시켜 박막을 형성한다.3. 이론 및 키워드[1] 진공[1.1] 정의 : 물질이 전혀 ... 존재하지 않는 공간을 의미하지만, 실제로는 이렇게 만들기 때문에 대기압보다 낮은 압력을 가지는 계를 진공이라 부른다. 물질분자가 하나도 없는 상태를 완전 진공, 절대 진공, 이상 ... 진공이라 한다.[1.2] 단위NameSymbolValuePascal1 pa1Nm-2, 1kgm-1s-2Bar1 bar105paAtmosphere1 atm101.325kPaTorr

리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2020.06.30 | 수정일 2021.05.30

다운로드 장바구니
Glow discharge

이 나는 것을 통해 방전관 내부의 기체가 공기라는 것을 알 수 있다. 또한 실험을 진행하며 진공도가 일정할 때, 전압을 가하게 되면 압력이 올라가는 것을 관측하였다. 이는 플라즈마 ... 기 때문에 방전관의 마개로 방전관을 밀폐시킬 수 없기 때문에 마개를 열어둔 채로 진공펌프를 계속 작동 시키면서 실험을 진행하였다. 이로 인해 플라즈마 상태의 기체가 진공펌프 쪽으로 흡입 ... 적을 뿐 아니라 공기와 충돌하면 이온화시켜 발광이 나타나기 어려운 양극암부(Anode Dark Space)가 된다.플라즈마 상태가 되려면 온도, 전압이 높거나 기압이 낮아야 한다

리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.03.02 | 수정일 2020.03.03

다운로드 장바구니
PECVD에 대한 보고서

플라즈마와 스퍼터이론 실험보고서- PECVD란?PECVD란, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition의 약자로써, 플라즈마를 이용한 화학기상증착 ... 활성기체와 함께 챔버안에 넣는다. 이 때, 플라즈마를 사용하므로 진공상태를 만들어야 하며, 주로 PECVD에서는 저진공을 사용한다. 그런 후, RF 전압을 걸어주게 된다. DC를 걸 ... 법이다. 우리는 수업시간에 플라즈마를 이용한 스퍼터이론에 대해 배웠다. 이는 고체 타겟을 이용한, 물리적 기상증착법에 해당한다. 물리적 기상증착법은 화학적 기상증착법에 비해서 저온

리포트 | 1페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.11.14

다운로드 장바구니
2019 패터닝 결과보고서 (74.5/80)

내 다른 기체와 충돌해 튕겨져 나가는 것을 방지하기 위함이다.챔버가 진공상태가 되면 아래 표의 좌측조건을 맞춰준다. C2F6/Ar 기체가 플라즈마를 발생시켜 식각이 진행되고 들뜬 ... 실리콘 웨이퍼는 에너지갭이 넓어 고온에서도 소자가 움직일 수 있다는 장점 때문에 반도체 소자 제조용 재료로서 광범위하게 사용되고 있다.ArAr 플라즈마의 경우 전기장에 의해 가속 ... 로 되돌아오게 되면서 hv를 방출하게 되고 이는 플라즈마에서 빛이 나는 원인이 된다.C2F6C2F6 플라즈마도 마찬가지로 RF power를 가해줌으로써 생성된 전기장이 전자를 가속시켜 C

리포트 | 9페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.04.14

다운로드 장바구니
ITO 필름 제조 및 특성평가 발표

-Point Probe재료물리화학1 실험 설계발표 조 -3조발표 일 - 2010년 5월 1일4.실험방법 및 과정1. ITO Film 제작1) 진공(저진공→고진공)상태를 만든다. - 보통 7 ... .5X10-4 ~7.5X10-7 Torr사이 를 고 진공 상태라 하는데 Base 상태는 5.0X10-5Torr이다. -진공을 만들 때에는 약 2~3시간에 걸 쳐 천천히 만들기 때문 ... 의 종류 : 교류 전원(RF), 직류 전원(DC) - 기판과 Target 사이에 Plasma가 발생 → Plasma내에 아르곤(Ar)가스 기체가 양이온 으로 이온화 → 아르곤(Ar

리포트 | 37페이지 | 5,000원 | 등록일 2020.03.01 | 수정일 2023.04.11

다운로드 장바구니
ITO Scribing & Cleaning 예비

leaning과 마찬가지로 Ar 또는 산소 gas를 공급하면서 chamber내 진공을 2～3×10-1 torr로 유지하여 RF generator에 의해 plasma를 발생시키고 이 때 발생 ... 을 제거하기 힘들어 큰 스케일의 불순물들은 유기용매들을 통한 전처리 과정이 필요하다는 단점이 존재한다.plasma cleaningplasma cleaning이란 플라즈마를 생성하여 활성 ... hamber내에 산소 gas를 공급하고 chamber내 진공도를 2～3×10-1 torr 정도로 유지하면서 UV lamp를 작동시켜 O2 gas가 UV광과 반응하여 발생하는 ozone

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.12.16

다운로드 장바구니
판매자 표지

RF Sputter를 이용한 InGaZnO(IGZO) 박막증착 레포트

) plasma플라즈마란 아크 방전의 전극간 기체, 방전관(형광등 등)내의 발광부분, 전리층 등의 대기층, 태양의 코로나 등과 같이 고도로 전리된 기체를 말하며, 물질의 제4태라고 ... 를 켜주고 rf power를 키고 40w로 설정하고 플라즈마가 뜨는지 확인한다.plasma를 확인 후 10분간 증착시킨다.10분간 증착 후 실험방법의 역순으로 차례로 off 시킨다 ... 을 사용한다.sputtering은 chamber 내에 공급되는 gas cathode에서 발생되는 전자 사이의 충돌로부터 시작된다. 그 과정을 보면 진공 chamber 내에 Ar, Ne

리포트 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.11.06

다운로드 장바구니
패터닝 결과

, O2), silicon wafer, patterned SiO2 thin film- Ar : Ar+ + e-로 분리되어 플라즈마화 된다. Ar+가 표면에 물리적인 힘을 가하 ... layer(buffer layer, inhibition layer라고도 한다.)를 형성하여 벽면의 데미지를 감소시키는 역할을 수행한다.- O2 : 플라즈마화 되어 PR 층을 제거 ... film : 플라즈마에 의하여 식각이 진행된다. SiO2는 값이 저렴하고 열적안정성이 높으며, 결정성을 가져 cutting을 방향성 있게 할 수 있다는 장점으로 재료로 선택

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.10.30

다운로드 장바구니
음극선과실험과ICP MS일반화학실험1보고서

기구를 이용하여, 음극성의 발생, 음극선의 입자성, 음극선의 직진성을 확인한다.3. 이론적 배경1. 음극선진공 상태의 유리관 내부에 큰 전압차르 줄 때 음극에서 나오는 전자선을 말 ... 의 형광을 방출하는 진공방전을 한다.2. 크룩스 관W.크룩스가 진공방전 현상을 연구하는 데 사용하였으므로 이런 이름이 붙었다. 진공방전관이라고도 한다. 일반적으로 기체는 부도체이지만 그 ... 장에서도 진공방전이 일어난다. 대표적인 진공방전관인 가이슬러관에서는 수십 mmHg 정도의 압력에서 수천 볼트의 전압이 되면 방전하기 시작한다. 크룩스관은 이보다 더 압력을 낮춘

리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2019.10.21

다운로드 장바구니
판매자 표지

[리포트][레포트][보고서] 핵융합 발전의 기술적 한계에 대해 탐구한 리포터로 총 5쪽 분량입니다. 대학과제, 고등학교 수행평가, 탐구활동 등에 사용할 수 있습니다.

형태의 진공 용기 내부에 고온의 플라즈마를 가두는 장치라고 한다. 다른 나라에서도 이러한 토카막의 방식으로 개발 중인데 여기에서 기술적인 문제점이 있다. 바로 핵융합에 필요한 최소 ... 온도 약 1억 도를 만들어 내는 것과, 그 온도를 유지한 채로 버텨낼 수 있는 핵융합로를 건설하는 것의 어려움과 현재 플라즈마 상태로 만든 뒤 그것을 강력한 자기장으로 묶어두는 방법 ... 이다.현재 연구 중이긴 하지만 현실화되지는 않았다고 한다. 하지만 이 기사에서 2008년도에 실패 없이 첫 플라즈마를 만들어냈고, 지난해 플라즈마 이온 온도 1억 도를 달성

리포트 | 5페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.04.06

다운로드 장바구니
실리콘 웨이퍼 표준 세정, Cr증착, photolithography 공정 최종보고서

고 이온화 시켜 플라즈마상태를 계속적으로 유지시키게 도와준다.그림1. sputter 공정 개략도위의 그림은 가장 간단한 DC sputter의 공정 개략도이다. 만약 타겟이 금속 ... 이 아니고 부도체라면 전자가 방출될 수 없기 때문에 계속적으로 플라즈마상태를 유지하지 못해 계속적으로 sputtering이 되지 못할 것이다. 때문에 개발된 sputter를 RF s ... putter라 하고 교류전원을 걸어주어 계속적으로 이온 플라즈마상태를 유지하면서 sputtring을 할 수가 있다.3. Photolithography[2](1) 공정 개략도포토

리포트 | 17페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.04.01 | 수정일 2020.08.17

다운로드 장바구니
멸균 소독기 종류

지 말고 끌어 작업자의 노출을 예방함과산화수소 플라즈마 가스 멸균(Hydrogen Peroxide Gas plasma)→58%의 과산화수소가 멸균원이며 이를 가스화하여 사용 ... 멸균 소독기 종류 :고압증기멸균기(Autoclave) / E.O가스 / 플라즈마멸균 (sterilization)의 정의- 미생물 특히 세균 균류를 죽여서 없는 상태.- 모든 ... 모니터링(1)기계적, 물리적 모니터링- 진공, 압력, 시간, 온도를 측정하는 멸균기의 차트나 출력물을 점검하는 것(2) 화학적 모니터링- 화학적 표식자(chemical

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.11.20

다운로드 장바구니
증착법

에서 높은 에너지 입자(주도 Ar 사용)에 가스를 감압해서 방전을 일으켜서 플라즈마(Plasma)를 형성시키면 그 내부에서 하전 입자가 음극 부근 cathode fall (음극 ... . 3 활성화 에너지 공급 방법에 의한 CVD2. 3. 1 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)플라즈마란? 플라즈마는 고체, 액체 ... 에서 일어나는 반사에 의한 손실이 크다.이 때 렌즈나 프리즘 표면에 얇은 막을 코팅하여 반사를 줄일 수 있는데 이것이 가장기본적인 광학적 응용을 위한 증착의 목적이다. 진공 중에서 증착

리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2018.12.08

다운로드 장바구니
pva 나노섬유막의 소수화 가공

이온 중성입자 순이다.3) 플라즈마 효과? 식각효과플라즈마를 이용하면 표면을 깎아낼 수 있다. 대기압보다 낮은 압력인 진공 Chamber에 가스를 주입한 후, 전기 에너지를 공급 ... PVA 나노섬유막의 소수화 가공1. 실험목적- PVA 나노섬유막의 플라즈마처리를 해서 소수화 과정을 통해서 친수성 고분자를소수화로 표면개질을 해본다.- 플라즈마처리를 0s,30 ... 하기 된다. 플라즈마 전체는 전기적으로 준중성 상태에 있으므로 하전 입자의 밀도를 플라즈마 밀도라 하며, 이온화의 주체가 되는 전자의 에너지를 온도로 나타내어 이들 두 변수들 값

리포트 | 12페이지 | 4,000원 | 등록일 2019.09.19 | 수정일 2019.10.12

다운로드 장바구니
마이크로표면측정 - 경북대 기계공학실험 만점

_view.jsp?webzine_seq=88&board_seq=1088&data_seq=1373(5) Plasma에 대하여 간략하게 조사하시오.① 플라즈마란?기체 상태의 물질에 계속 ... [Physical Vapour Deposition]물리 진공 증착이라 하여 증착물질을 증발하고 공작물 표면에 두꺼운 층을 만드는 법이다. 진공 용기 속에서 금속을 증발시켜 증발입자가 공작물 ... 에 도달하기 까지 일부를 이온화, 이온이나 여기입자, 중성입자 등을 공작물에 부착 시킨다. PVD의 종류로는 진공증착, 이온 플레이팅, 스패터링이 있다. 이들 공정도 처리온도가 600

리포트 | 11페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.04.05 | 수정일 2020.04.11

다운로드 장바구니
PLD 사전보고서

을 때, 일반적으로 물질은 플라즈마로 변환된다. 일반적으로, 레이저 어블레이션은 Pulsed laser(시간적으로 발진, 정지가 있는 레이저. 특히 연속파 레이저에 대비하여 말해지 ... 를 형성하는 과정은 클러스터 해석으로서 응집기구의 해석에 잘 쓰는 수법의 하나이다.▶ 플라스마 (Plasma)고도로 이온화된 기체를 일반적으로 플라스마라고 한다. 플라스마는 양 ... 으로 사중극자로 분리된다.▶ 물리 증착법 (Physical Vapor Deposition, PVD)진공 속에서 가스화한 물질을 기본 표면에 피복하는 방법으로서, 진공 증착과 스패터

리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.06.01

다운로드 장바구니
Photo lithography 예비보고서

부분도 식각하여 PR이 떨어지는 현상이 발생할 수 있다는 것이다.건식식각 방식은 플라즈마 방식으로도 불리우는데 진공 챔버 내에 가스를 주입한 뒤 플라즈마 상태로 만들어준 뒤, 웨이퍼 ... 을 이용하여 진공을 형성하고 플라즈마를 충돌시켜 산화막을 제거한다.남아있는 PR코팅을 제거하면 원하는 패턴을 얻을 수 있다.주의사항실험 과정 중에서 시료가 태양광에 노출되지 않도록 한다 ... 을 통해 실험하게 된다.[그림5]의 2번 상태의 웨이퍼를 세척하고 말려준다.Spin coater 장비내부에 진공을 이용하여 웨이퍼를 고정시키고 PR용액을 떨어뜨린 후 Spin c

리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2019.10.13

다운로드 장바구니
Al-Cu 실험 보고서

소결계 재료의 합성 및 소결이 가능하게 되었다.?방전 플라즈마 소결 기본 구성도(왼쪽)와 소결 초기의 넥 형성3). 실험 조건(온도, 압력, 진공)※진공의 필요성플라즈마의 발생 ... 을 위해서는 일정한 진공이 불가결할 뿐만 아니라 진공의 안정된 유지가 플라즈마 가공을 위해서 중요하다. 또 우선 연속적인 처리에 있어서는 이 진공의 관리가 극히 어렵다. 단 최근 ... 에는 고성능의 진공 펌프의 범용화 등 주변기술의 현저한 진보에 대해서도 지적해 두어야 한다. 진공기술은 반도체 공정 등에서 발달이 현저하고, 그 성과가 파급되어 직물류의 플라즈마가공

리포트 | 11페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.03.24

다운로드 장바구니
신재생에너지 플라즈마 가스화발전사업의 핵심 검토안 및 기존 가스화발전의 비교

며 이러한 성질을 이용하여 일 반 기체와는 다른 여러가지의 용도에 사용될 수 있다.○ 극 고진공에서부터 대기압까지 운전 가능 조건이 매우 다양하며 각 조건에 맞는 플라즈마 발생기술 ... 1. 플라즈마란? ○ 플라즈마는 고체, 액체, 기체 다음의 제 4의 물질 상태로서 우주의 99%를 차지하고 있으며, 전기적, 자기적 성질이 일반 기체와는 매우 다른 모습을 보이 ... 을 개발함에 따라 바이오기술(BT), 나노기술(NT), 정보기술(IT), 환경기술(ET), 우주기 술(ST) 등 그 활용범위가 방대하다.○ 플라즈마 발생에 따른 폐기물이 거의 없

리포트 | 14페이지 | 5,000원 | 등록일 2018.12.14 | 수정일 2018.12.19

다운로드 장바구니
반도체 공정 관련 내용 정리 리포트

Path : a지점에서 b지점 충돌 후 다시 b지점 돌아올 때 가지의 확률For high MFP : 진공(압력 low), 기체분자 low [압력을 낮추기 위해 pump사용 ... ]Deposition purity high, Quality high -> MFP high , 압력 lowPlasma의 자기적 성질을 이용해 자계를 걸어주면 plasma desntiy 높일 수 ... 에 존재 , Reactive -> N2가스 주입로드락 챔버 : 760Torr -> 진공, defect증착속도가 빨라질수록 박막밀도 낮아짐Alpha step을 통해 단차 측정 tape

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.03.12

다운로드 장바구니

이전10개 5 6 7 8 91011 12 13 14 다음10개

파워링크

신청하기