압축파일 
-
미리보기
소개
반도체 공정 중 1개를 선택해서, 특허map을 작성하는 과제였습니다.
해당 공정의 시초가 되는 특허를 찾고, 그 특허에서 이어지는 특허들을 찾으면서 개발 동향을 찾는 과제입니다.
추가로 ALD 정리및 개발동향 보고서입니다.목차
1. 선정 이유
2. List
3. Map
4. Patent
본문내용
1) Method for producing compound thin films
Highly oriented compound thin film을 제작하는 방법
#청구항1
기판의 표면과 vapor가 반응할 수 있는 온도
Vapor of a first single element를 기판과 반응시켜 first single element atomic layer 형성
Vapor of a second single element가 first layer와 반응하여 second layer 형성
반복하여 desired thickness에 도달참고자료
· http://www.kipris.or.kr/khome/main.jsp (patent list)
· http://blog.naver.com/pjh5633/220805675137
· https://www.google.com/patents/US4058430 (original patent)
· https://www.variantmarketresearch.com/report-categories/semiconductor-electronics/atomic-layer-deposition-equipment-market (ALD market size)태그
-
자료후기
Ai 리뷰지식판매자의 자료를 통해 새로운 인사이트를 얻을 수 있었습니다. 주제가 흥미롭고, 내용이 충실해 많은 도움이 되었습니다. 추천할 만한 자료입니다! 감사합니다! -
자주묻는질문의 답변을 확인해 주세요
꼭 알아주세요
-
자료의 정보 및 내용의 진실성에 대하여 해피캠퍼스는 보증하지 않으며, 해당 정보 및 게시물 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다.
자료 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재∙배포는 금지되어 있습니다.
저작권침해, 명예훼손 등 분쟁 요소 발견 시 고객센터의 저작권침해 신고센터를 이용해 주시기 바랍니다. -
해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.
파일오류 중복자료 저작권 없음 설명과 실제 내용 불일치 파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우 다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함) 인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우 자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우
문서 초안을 생성해주는 EasyAI
