CMOS 인버터 설계 및 특성 분석 실험
2025.11.18
1. CMOS 인버터 설계 공정
CMOS 인버터 설계는 웨이퍼 준비, n-well 형성, 활성 영역 정의, 게이트 형성, S/D 도핑, 어닐링, 컨택 형성, 금속화, 전극 형성 등 10단계의 공정으로 구성된다. 총 7개의 마스크(well, active region, poly, n-select, p-select, contact, metal mask)를 사용하여 미세한 패턴을 형성하고, 각 단계에서 산화막 증착, 식각, 이온 주입, 확산 등의 반도체 공정 기술이 적용된다.
2. 도핑 농도 및 접합 깊이 최적화
NMOS와 PMOS의 도핑...
2025.11.18