1. 면저항의 정의 얇은 박막의 저항을 측정하는 것이다. (박막: 두께가 1마이크로 내외) R = (ρ/τ)(L/W) = Rs(L/W) (R=V/I) Rs = (ρ/τ) * 비저항(ρ) : 단위면적당 단위길이당 저항이다. 즉, 가로, 세로, 높이의 길이를 모두 1cm로 통일한 후 resistivity를 구하는 것이다. 비저항의 의의는 똑같은 크기로 만들어서 서로 다른 재료간의 저항을 비교할 수 있다는 것이다. 2. Van der pauw's method 대표적인 면저항 측정 방법 중 하나로, A와 B에 전류를 흘리고, C와 D에 전...

1. 4 Point Probe 4 Point Probe는 반도체 및 박막 재료의 전기적 특성을 측정하는 장비입니다. 네 개의 프로브를 이용하여 시료의 표면에 접촉하여 전기 저항, 비저항, 전도도 등의 전기적 성질을 비파괴적으로 측정합니다. 특히 반도체 웨이퍼, 박막, 도전성 코팅 등의 품질 관리 및 연구에 널리 사용되며, 정확한 측정을 위해 프로브 간격과 접촉 압력이 중요합니다. 2. LCR Meter LCR Meter는 인덕턴스(L), 커패시턴스(C), 저항(R)을 측정하는 전자 측정 장비입니다. 다양한 주파수에서 전자 부품의 임...