4 Point Probe와 LCR Meter 사전 보고서
2025.11.13
1. 4 Point Probe
4 Point Probe는 반도체 및 박막 재료의 전기적 특성을 측정하는 장비입니다. 네 개의 프로브를 이용하여 시료의 표면에 접촉하여 전기 저항, 비저항, 전도도 등의 전기적 성질을 비파괴적으로 측정합니다. 특히 반도체 웨이퍼, 박막, 도전성 코팅 등의 품질 관리 및 연구에 널리 사용되며, 정확한 측정을 위해 프로브 간격과 접촉 압력이 중요합니다.
2. LCR Meter
LCR Meter는 인덕턴스(L), 커패시턴스(C), 저항(R)을 측정하는 전자 측정 장비입니다. 다양한 주파수에서 전자 부품의 임...
2025.11.13