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Sputter magnetron sputtering rf sputtering 스퍼터링 ITO Scribing 반도체 공정

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"sputtering" 검색결과 1-20 / 1,142건

rf-sputtering법에 의한 MgO 나노점의 형성 연구 (MgO nanodot formation using the rf-sputtering method)

한국초전도저온학회 정국채, X. L. Wang, S. X . Dou, 유재무, 김영국

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.27 | 수정일 2025.07.04

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Characterization of transparent ATO conducting films prepared by RF magnetron sputtering (Characterization of transparent ATO conducting films prepared by RF magnetron sputtering)

한국결정성장학회 이성욱, 홍병유, 박용섭

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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Preparation of Ta-doped TiO₂thin films by co-sputtering and their photoelectrode properties (Preparation of Ta-doped TiO₂thin films by co-sputtering and their photoelectrode properties)

한국결정성장학회 윤종원

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.09 | 수정일 2025.05.17

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DC 마그네트론 Co-sputtering 시스템을 이용하여 증착한 GAZO 박막의 전기적 및 구조적 특성 (Electrical and Structural Properties of GAZO Films Deposited by DC Magnetron Co-sputtering System with Two Cathodes)

한국표면공학회 Luo Jie, 박세훈, 송풍근

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.05 | 수정일 2025.03.06

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펄스 마그네트론 스퍼터링 음극의 열전달 해석 (Heat transfer analysis of a pulse magnetron sputtering cathode)

한국표면공학회 주정훈

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.02 | 수정일 2025.03.06

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벌집형 셀 구조를 가지는 스퍼터 이온펌프의 성능 분석 (Pumping speed of a sputter ion pump with a honeycomb anode cell structure)

한국진공학회 하태균, 안병남, 이득진, 김진곤, 정석민

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.09 | 수정일 2025.05.17

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비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 초경도 탄화규소 박막 (Silicon carbide thin film deposited by unbalanced magnetron sputtering method)

대한금속·재료학회 배경은, 백영준, 채기웅, 박종극, 이욱성

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.16 | 수정일 2025.05.22

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몰리브덴 스퍼터링 처리 의류소재의 열적 특성과 전기적 특성에 관한 연구 (A study on thermal and electrical properties of molybdenum sputtered clothing materials)

복식문화학회 한혜리

논문 | 14페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.11 | 수정일 2025.06.16

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Co-sputtered HfO_2-Al2O_3을 게이트 절연막으로 적용한 IZO 기반 Oxide-TFT 소자의 성능 향상 (Enhanced Device Performance of IZO-based oxide-TFTs with Co-sputtered HfO_2-Al_2O_3 Gate Dielectrics)

대한전자공학회 손희근, 양정일, 조동규, 우상현, 이동희, 이문석

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.26 | 수정일 2025.07.04

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2단계 스퍼터링으로 형성시킨 강유전 박막의누설전류 개선 (Improvement of leakage current in ferroelectric thin films formed by 2-step sputtering)

한국마이크로전자및패키징학회 마재평, 신용인

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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D.C magnetron sputter법으로 증착된 TiAlN의 중간층에 따른 특성연구 (Characteristics of TiAlN Film on Different Buffer Layer byD.C Magnetron Sputter)

한국재료학회 박범수, 김명호, 이도재, 이광민, 김운섭, 김민기, 양국현

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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대향 타겟 스퍼터링법으로 제작한 SiC SBD의 전기적 특성 (Electrical characteristics of the SiC SBD prepared by using the facing targets sputtering method)

한국반도체디스플레이기술학회 이진선, 강태영, 김경환

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성 (The Transparent Semiconductor Characteristics of ZnO Thin Films Fabricated by the RF Magnetron Sputtering Method)

한국반도체디스플레이기술학회 김종욱, 황창수, 김홍배

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.06 | 수정일 2025.05.17

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IGZO 박막 증착 공정에서 플라즈마 방출광 모니터링 및 플라즈마 균일도 제어 (Monitoring and controlling uniformity of plasma emission intensity for IGZO sputtering process)

한국반도체디스플레이기술학회 최진우, 황상혁, 김우재, 신기원, 권희태, 조태훈, 우원균, 차성덕, 안병철, 박완우, 도재철, 권기청

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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RF 스퍼터링 법으로 HgCdTe 위에 형성된 Silicon Nitride 표면보호막의 특성 (RF magnetron sputtering of Silicon Nitride on HgCdTe and its interfacial characteristics)

한국물리학회 안세영, 이상훈, 서상희, 김진상, 정용철

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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Co-sputtering법으로 제작된 박막형 태양전지용 CuInSe₂ 광활성층의 후열처리 온도에 따른 전기적 및 구조적 특성 (Electrical and Structural Properties as Functions of the Post-annealing Temperature of the CuInSe₂ absorber for Thin-film Solar Cells Fabricated by using the co-sputtering Method)

한국물리학회 김지환, 김해진, 김동영, 이혜지, 손선영, 김종재, 김화민

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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질소이온 빔 보조 마그네트론 스퍼터로 증착 된 AlN 박막의 물성연구 (A study on the properties of AlN Films deposited with nitrogen ion beam assisted RF magnetron sputtering)

한국열처리공학회 허성보, 이학민, 정철우, 유용주, 김대일, 이병훈, 김민규, 최대한

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.22 | 수정일 2025.05.13

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대향 타겟식 스퍼터링으로 증착한 ITO 박막이 적용된 유기발광다이오드의 특성 (Characteristics of OLED cells fabricated with ITO films deposited by using facing target sputtering (FTS) system)

한국반도체디스플레이기술학회 김상모, 이상민, 금민종, 이원재, 김경환

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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DC 마그네트론 스펏터를 이용한 ITO 박막의실온 증착 및 특성 분석 (The deposition and analysis of ITO thin film by DC magnetron sputter at room temperature)

한국전기전자학회 김호운, 윤정오

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.29 | 수정일 2025.06.05

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Electrical conductivity and stealth characteristics of copper-sputtered clothing materials - Focusing on changes in the pore size of clothing materials -

복식문화학회 Hye Ree Han

논문 | 17페이지 | 5,100원 | 등록일 2023.04.03

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