1. Title - Patterning and treatment of SiO2thinfilms(박막의 패터닝 및 표면처리)2. Experimental objective-반도체 ... 으로, 마스크로 패턴된 박막을 효과적으로 식각하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착 된 박막위로 전달하는 식각 공정을 이해하고, 박막의 패터닝 전후, 표면 ... 시킨다7. 감광액 도포(PR)빛에 민감한 물질인 PR을 웨이퍼 표면에 고르게 도포시킨다8. 노광정렬이 끝나면 마스크의 상이 웨이퍼에 옮겨지도록 자외선에 PR을 노출시킨다9. 현상정렬