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집적회로공정 반도체 공정 cmp 소독실 bromination of alkene UNIST 대학원 화학반응속도 wittig

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"Chemical mechanical planarization" 검색결과 1-20 / 1,242건

Effect of Citric Acid in Cu Chemical Mechanical Planarization Slurry on Frictional Characteristics and Step Height Reduction of Cu Pattern (Effect of Citric Acid in Cu Chemical Mechanical Planarization Slurry on Frictional Characteristics and Step Height Reduction of Cu Pattern)

한국트라이볼로지학회 이현섭

논문 | 9페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.18 | 수정일 2025.05.22

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연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 평가

한국재료학회 차남구, 강영재, 김인권, 김규채, 박진구

논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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Kinetic and Chemical Mechanism of Pig Liver Methenyltetrahydrofolate Synthetase (Kinetic and Chemical Mechanism of Pig Liver Methenyltetrahydrofolate Synthetase)

한국생명과학회 조용권

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.10 | 수정일 2025.03.28

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Chemical Reactivity and Mechanisms

- Kinetics vs. ThermodynamicsCase 1. C+D: Both thermodynamically and kinetically favoredCase 2. C+D: Thermodynamically favored E+F: Kinetically ..

리포트 | 13페이지 | 4,000원 | 등록일 2022.01.25

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[물리전자2] 과제2 단원 요약 Fabrication of pn junctions

lithography process can be challenging.5.1.6 Chemical Mechanical Polishing (CMP)Chemical mechanical polishing ... the chemical action of the slurry, resulting in a highly planar surface. This planarization is c ... the silicon surface can combine with the silicon, resulting in a chemical reaction at the silicon s

리포트 | 5페이지 | 2,500원 | 등록일 2023.12.21 | 수정일 2023.12.30

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Effect of Pressure on Edge Delamination in Chemical Mechanical Polishing of SU-8 Film on Silicon Wafer (Effect of Pressure on Edge Delamination in Chemical Mechanical Polishing of SU-8 Film on Silicon Wafer)

한국트라이볼로지학회 박선준, 임석연, 이현섭

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.10 | 수정일 2025.06.16

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화학적 기계적 연마 공정을 통한 bulk AlN 단결정의 표면 가공 (Optimization of chemical mechanical polishing for bulk AlN single crystal surface)

한국결정성장학회 이정훈, 박철우, 박재화, 강효상, 강석현, 이희애, 이주형, 인준형, 강승민, 심광보

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.09 | 수정일 2025.05.08

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자외선 광을 활용하는 화학기계적 연마에 관한 연구 동향 (Research Trends on Chemical Mechanical PolishingUsing Ultraviolet Light)

한국트라이볼로지학회 이현섭

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.23 | 수정일 2025.05.26

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전자재료 표면의 무결함 연마를 위한 화학기계적 균형 (Chemical and Mechanical Balance in Polishing of Electronic Materials for Defect-Free Surfaces)

한국기계가공학회 정해도, 이창석, 김지윤

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.02 | 수정일 2025.05.16

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플라이애시로 표면개질한 바텀애시 경량골재의 물리 화학적특성 (Mechanical and Chemical Characteristics of Bottom Ash Aggregates Cold-bonded with Fly Ash)

한국세라믹학회 김형기, 하경애, 장정국, 이행기

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.21 | 수정일 2025.05.13

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양쪽성 계면활성제 분산제가 함유된 반도체용 CMP(Chemical mechanical polishing) 세리아 슬러리의 트리에탄아민함량에 따른 안정성 연구 (Study on stability according to triethanamine content of CMP (Chemical mechanical polishing) ceria slurry for semiconductors containing amphoteric surfactant dispersant)

융복합지식학회 하지성, 김운중, 양정원

논문 | 10페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.07 | 수정일 2025.05.17

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1 마이크로 이하 슬러리 여과용 CMP 필터 적층구조 최적화 (Optimization of CMP Filter Layered Structure for Slurry Filtration of Less than 1 Micron)

한국섬유공학회 채효정, 김경도, 김삼수

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.21 | 수정일 2025.05.13

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반도체 공정 정리본

이 있다.CMP (Chemical Mechanical Polishing)CMP는 가장 많이 사용되는 평탄화 방법이다. 회전하는 Plate위에 CMP용 Slurry 용액을 뿌린 후 ... 다.Feed gas가 Chamber 안으로 들어오게 되고 Plasma에 의해 Chemically reactive한 상태가 된다.Chemically reactive한 molecule ... 가 생겨 금속 이온이 이동하여 증착 된다.평탄화 공정(Planarization)증착을 진행하고 나면 증착 된 물질이 균일하지 않고 필요 없는 부분을 제거해야 하기 때문에 소자를 전체

리포트 | 61페이지 | 4,000원 | 등록일 2022.07.15 | 수정일 2023.07.02

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화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향 (Tribology Research Trends in Chemical Mechanical Polishing (CMP) Process)

한국트라이볼로지학회 이현섭

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.13 | 수정일 2025.05.21

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다구찌 기법을 활용한 반도체 연마 공정의 최적 설계수준 결정 (Determination of Optimal Design Level for the Semiconductor Polishing Process by Taguchi Method)

한국품질경영학회 심현수, 김용수

논문 | 14페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.09 | 수정일 2025.05.08

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산화망간이 첨가된 혼합 연마제 실리카 슬러리의 산화막 CMP 특성 (Chemical Mechanical Polishing Characteristics of Mixed Abrasive Silica Slurry (MAS) by adding of Manganese oxide (MnO2) Abrasive)

한국전기전자학회 서용진

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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화학 개시제 첨가 액체 탄화수소 연료의 분해 메커니즘 및 반응 동역학에 관한 ReaxFF 분자동역학 시뮬레이션 연구 (ReaxFF Molecular Dynamics Simulation of Decomposition Mechanism and Kinetics of Liquid Hydrocarbon Fuel with Chemical Initiators)

한국연소학회 최은교, 정병훈, 박동창, 박정훈, 심형섭

논문 | 10페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.13 | 수정일 2025.05.09

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Computational Chemistry and Quantum Tunneling

pyramid ( Hartree ) E planar ( Hartree ) E a (kcal/ mol ) NMe 3 -173.3979586864 -173.3880475076 6 ... larger activation energy. Compounds E pyramid ( Hartree ) E planar ( Hartree ) E a (kcal/ mol ) PMe 3 ... affects the pyramidal state more than it does the planar state. Therefore, the pyramidal state is

리포트 | 9페이지 | 2,500원 | 등록일 2024.11.15

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가솔린 연료를 위한 대용혼합물의 상세한 화학반응 메카니즘 개발 (Development of a Detailed Chemical Kinetic Reaction Mechanism of Surrogate Mixtures for Gasoline Fuel)

대한기계학회 이기용

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.04 | 수정일 2025.03.06

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화학적 빔 에피탁시에 의한 평면구조에서의 InP/InGaAs 다층구조의 선택적 영역 에피 성장 (Selective Epitaxy Growth of Multiple-Stacked InP/InGaAs on the Planar Type by Chemical Beam Epitaxy)

한국진공학회 한일기, 이정일

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.17 | 수정일 2025.05.22

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