"소프트리소그래피"의 검색결과 입니다.

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포토리소 공정 포토리소그래피 adobe photoresist 반도체 공정 실험 pdms soft lithography sk하이닉스 wet 에칭 photolithography

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"소프트리소그래피" 검색결과 81-100 / 115건

기계공학 마이크로표면 실험

분야에 널리 사용되고 있다. 또 이렇게 안정되고 균일한 액적을 형성하기 위해서는 미세유체장치가 필요했던 것이다. 또 미세유체장치는 주로 PDMS 고분자를 활용한 소프트 리소그래피

리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2014.06.04

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Photo Lithography

적으로 PEB가 사용되는 곳은 conventional DNQ-novolak i-line resist이다. PEB는 soft bake step 에서 얻은 것과 같은 몇몇 효과를 가져 오게 되 ... 2. Photo Lithography(0) 리소그래피 기술의 개요2-리소그래피는 포토마스크 기판에 그려진 VLSI의 패턴을 웨이퍼 상에 전사하는 수단이다. 포토레지스트(감광성 ... 희생막으로서의 용도 등도 있다. 리소그래피 공정은 반복되는 각종 기본 가공기술의 중심이며, 클린룸 내의 물류는 리소그래피 영역을 중심으로 행해진다.그림 ) 리소그래피 공정의 플로

리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.10.07

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태양전지 및 관련특허

. Photolithography : Vapor prime to soft bake(1) Photolithography process① Negative lithography빛에 노출 된 부분이 잘 용해 ... 리소그래피 공정(2)식각 공정2.태양광 정류장 제조공정 (특허관련)3.추가적인 조사Ⅳ. 태양광 정류장의 장점Ⅴ. 결론※Supplement1. Reference(참고자료)Ⅰ. 서론버스

리포트 | 20페이지 | 3,500원 | 등록일 2011.11.27

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자성나노입자의 특성 및 응용

oft”한 FexPt₁?x합금 나노입자를 합성하였다. 여기서 soft는 자화,비자화가 쉽게 전환되는 성질을 뜻한다.또한 철과 Pt(acac)₂를 동시에 환원시키면 2~4nm의 FePt나격자의 ... 선진국들이 연구개발에 막대한 예산을 투자하고 있는 분야이다.100나노미터 이하의 크기를 다루는 나노기술은 특히 리소그래피기술에 의한 반도체의 소형화의 한계를 극복할 수 있다는 가능 ... 에서 기술 우위를 선정하기 위한 선진국들의 기술경쟁이 치열하게 전개되고 있는데 특히 실리콘을 기반으로 하는 현재 리소그래피 기술을 대체할 수 잇는 수단으로 반도체 나노물질을 전자,광학

리포트 | 27페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.04.10

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[디스플레이]전자종이

하면 활발히 발표되고 있다.Micro-wall 혹은 micro-cup 방법은 photo-lithography 혹은 soft lithography 방법을 이용하여 마이크로 단위의 규칙 ... 는 장점이 있다. 제조방법 또한 일반적인 반도체공정에서 이용하는 photo-lithography로도 제작 가능하지만, 대면적화/대량생산을 위해서는 soft lithography 또는 ... - lithography의 경우에는 UV 경화성 고분자로 제한이 되지만, soft- lithography의 경우에는 열경화성 수지 등 선택의 폭이 더 넓다.이에 비해 이제까지 전자종이 제작공정이 주류

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.12

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생산기술의 변화

)은 개개 원자수준의 정확한 제어를 통하여 양자역학적으로 합성해가는 기술을 의미합니다. 소프트 리소그래피(마이크로콘택트 프린트, 나노임프린트 등), 자기조립, 로봇조립, 템플리트 ... 성장 등이 대표적인 상향식 공정들입니다. 리소그래피(전자빔, 이온빔, x-ray, UV 등), 박막 적층 및 성장, polymer molding, 기계적 방법(절삭가공, 연삭, 래핑 ... 은 고전적인 하향식 리소그래피와 공학기술(리소그래피와 박막 프로세싱과 같은)의 힘이 미치지 않는 곳에 있다. 그러므로 화학적 루트를 사용함으로써 새로운 상향식 자기조립 전략이 수단이 되

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.04.06

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[재료공학실험]리쏘그래피 (lithography)

하는 기술이다. 그 종류에는 여러가지가 있는데 그중 soft nano imprint lithography는 기존의 nano imprint lithography에서 문제되었던 고가의 s ... -NIL의 핵심 요소 기술이라 말할 수 있다.soft nano imprint lithography 공정시 유의해야 할 점UV노출 후 경화된 레지스트와의 분리를 용이하게 하기 위하 ... 의 나노임프린트 리소그래피(nanoimprint lithography, NIL)은 선폭 100 nm 이하의 나노구조물을 경제적으로 제작할 수 있는 대표적인 나노패턴닝(nano

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.24

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포토리소그래피(Photolithography)

이 강soft baking, 노광 후의 post exposure baking(PEB), 현상 후의 hard baking이 있다.Application(가) 광경화 코팅 분야 ... 포토리소그래피(Photolithography)- 사진공정 (Photolithography) -가. 개 요사진공정은 마스크 상에 설계된 패턴을 공정제어 규격 하에 웨이퍼 상에 구현 ... 을 일으켜서 패턴 형성에 기여2. Soft Bake(소프트 베이크)용제를 증발시켜 감광막을 건조시키고, 접착도를 향상시키며 열에 의한 annealing 효과로 응력을 완화3

리포트 | 9페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.11.30

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PDMS (poly dimethyl siloxane stamp)

와 반응하는 쪽은 -OH기를 포함하고 있다b) SAM 대신에 실리콘 옥사이드를 증착하여 PDMS와접착력을 증대시켰다◆참고문헌◆1. 소프트 리소그래피와 표면처리를 이용한 금속 패터닝

리포트 | 2페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.06.25

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[재료공학실험, 반도체]Lithography

polymy 과정에서 자주 행하는 공정인데, 크게 PR coating 후의 soft baking, 노광 후의 post exposure baking(PEB), 현상 후의 hard ... Lithography / 리소그래피Lithography(리소그래피)는 반도체 집적 회로를 반도체표면에 그리는 방법 및 과정을 통칭하며, 초미세 인쇄 기술이라 말할 수 있 ... harpness가 높다는 점이다.그 밖의 리소그래피 종류1.Eletron Beam Lithography (전자빔리소그라피)E-beam Lithograph는 반도체 웨이퍼 위에 전자에 예민

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.28

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신의손) 현장실습 결과보고서

습니다. 바로 ○○○○○○에서의 인턴생활이었습니다. 저는 이곳에서 크게 두 가지를 배웠습니다.첫째, 포토리소그래피입니다. 먼저 웨이퍼의 표면을 HMDS ... 로 가면 노광단계가 있기 때문에 빛이나 엑스선, 감마선과 같은 방사선의 작용을 받아서 화학적, 물리적으로 반응하는 감광제를 바르는 것입니다. 그다음은 소프트 베이킹입니다. PR(감광제 ... )를 잘 바른 웨이퍼를 Hot Plate위에서 굽습니다. 오븐의 온도는 60~100도로 하고, 공기나 질소가스 분위기에서 5~10분 건조시킵니다. 소프트 베이킹의 목적은 PR(감광

서식 | 4페이지 | 500원 | 등록일 2014.08.18

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유비쿼터스 설명

을 위한 센서 개발 능력을 관리한다. 많은 마이크로머신 처리 단계는 기본적인 IC 공정인 포토리소그래피, 재료 증착, 반응이온 및 화학적 에칭에서 비롯되었다.그러나 CMOS 로드맵 ... 적용된 소비가전 제품 휴대폰, 게임기, 마우스 및 3D 포인터를 위한‘Sense and Simple’ 휴대폰 마이크로머신 가속도계와 적절한 애플리케이션 소프트웨어의 결합으로 기존

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.10.06

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sams (Self-Assembled Monolayers )

되어 지면 이를 이용하여 micro contact 인쇄를 사용하거나 micromolding을 사용하여 50nm 정도의 나노패턴을 생성시킬 수 있다.soft Lithography공정 ... 이 가능한 전자빔 리소그래피에 적합한 재료가 요구된다.Microcontact PrintingSoft한 유기물질을 사용 Soft lithography의 한 종류 복잡한 장치 사용하지

리포트 | 59페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.11

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미세유동장치의 효율적인 제작방법

밖에 가공할 수 없다. 표면의 화학적 반응을 조절할 수 없고 광학적으로 민감한 재료를 사용할 수 없다는 단점도 있다. 그에 대한 대안으로 연구되고 있는 것이 소프트 리소그래피이고 5가지 ... Micromolding, SAMIM)의 방법이 많이 쓰이는 방법이다.소프트 리소그래피는 비광학 리소그래피를 대표하는 마이크로 나노성형 방법으로서 자가 조립과 복제 몰딩이 그 원리이다. 제작과정 ... 183. 결합 방법 선정184. 응용19결론21참고문헌22iAbstract24그림 목차그림 1벌크 미세가공의 예6그림 2표면 미세가공6그림 3포토 리소그래피 과정7그림 4복제 몰딩

리포트 | 27페이지 | 5,000원 | 등록일 2007.03.01

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[공업화학 실험]박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거

의 실제적인 그것의 점도에 따라 달라지며 회전속도의 제곱급에 반비례한다.㉣ Soft bake-소프트 베이킹이라 불리는 건조 과정은 감광제의 용제를 제거하고, 접합을 향상시키는데 사용 ... 된다. 오븐의 온도는 60～100℃로 공기나 진소 가스 분위기에서 5～10분 정도 건조시킨다. 소프트 베이킹 과정은 제작자들이 데이터 시트를 잘 만들어놓아서 그것을 면밀히 따라 하 ... 면 된다. 소프트 베이킹 후, 마스크를 배열하고 노출시킨다.㉤ Align masks-포토마스크는 한쪽 면이 감광 유제나 금속막으로 패턴이 되어 있는 사각형의 유리판이다. 각각의 마스크

리포트 | 13페이지 | 2,500원 | 등록일 2008.01.28

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리소그래피

Photoresist process감광막 도포 (PR coating)연화 건조 (soft bake)마스크 정렬 (mask alignment)노광 (exposure)현상 (develop)경화 ... LithographyLithography리소그래피(Lithography)의 정의 - 집적 회로 제작 시 실리콘칩 표면에 만들고자 하는 패턴을 빛으로 촬영한 수지를 칩 표면에 고정

리포트 | 19페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.05.30

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rp의 종류

된다.FDM은 Stratasys사에서 개발되었고, 첫 번째 기계는 1990년에 판매되었다. 입력데이터는 Stratasys사의 소프트웨어 모듈인 QuickSlice ... . 층 두께는 보통 0.075에서 0.50mm정도이다.SLS는 스테레오리소그래피에 대한 대안으로서 Texas대학(Austin)에ㅓ 개발되었고, SLS기계는 현재 DTM사에 의해 ... 판매되고 있다. 이것은 사용가능한 작업재료의 관점에서, 스테레오리소그래피보다 더 용도가 넓은 공정이다. 현재 선택적 레이저 소결법에서 사용되는 재료는 폴리비닐클로라이드(PVC

리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.01.19 | 수정일 2014.02.04

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[기계공학]노광기

과 비슷하다. 유리기판(인화지)과 마스크(필름)를 겹친 위에서 빛을 쪼이는 장비가 노광기다.2. 리소그래피노광 기술이라고도 하며, 포토마스크 기판에 그려진 반도체 회로 패턴을 웨이퍼 상 ... 어, 총 공정 비용의 약 35% 이상, 총 공정 시간의 약 60%이상을 리소그래피공정이 차지하고 있다. 또한 전체 반도체 장비 시장 규모의 약 15% 이상, 전공정 장비의 약 20 ... % 이상을 차지하고 있는 것이 리소그래피 공정 관련 장비(스텝퍼, 스캐너 등) 및 재료(마스크, 감광제 등)일 만큼, 위 공정의 중요도는 대단히 크다.3. 리소그래피 공정일반

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.05.26

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[미세가공] 맴즈와나노

으로 보인다.소프트 리소그래피(soft lithography)전자빔 방식 리소그래피를 비롯한 기타 관련 기술에 의해 형성된 패턴을 저렴하게 복제할 수 있다는 장접이 있다. 소프트 ... 어 반도체 일괄 가공방식에 의한 장점을 최대한 살릴 수 있다는 점이다.③ 초단파장의 X-RAY 리소그래피를 이용한 LIGA 기술 : LIGA 가공기술은 구조물 제작에 빛(X-선 ... 터닝 기술에 나노 구조를 제작(반도체), 대단히 정확하나 가격이 너무 비쌈기존의 반도체 집적공정기술의 연장선상에서 생각하는 것으로, 즉 박막을 증착하고, 리소그래피 패터닝

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.05.18

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산업재 기업

을 위한 기반을 조성하게 되었다.하이닉스, 위즈네트와 인터넷용 칩 부문서 전략적 제휴- 현대전자, 위즈네트와 인터넷용 칩 부문서 전략적 제휴- TCP/IP 소프트웨어 칩과 하드웨어 ... 칩의 개발 및 마케팅 부문에서 전략적 제휴를 맺었다고 30일 밝혔다.이번 제휴에 따라 양사는 하이닉스가 개발한 TCP/IP 소프트웨어 칩과 위즈네트의 TCP/IP 하드웨어 칩 ... 다.하이닉스의 소프트웨어 칩 ‘Spider HMS91C7432’는 8비트 MCU(Micro Controller unit)에 TCP/IP 프로토콜이 내장된 칩으로써, e-mail 송수신

리포트 | 18페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.09.16

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