"고밀도 유도결합 플라즈마 장치"의 검색결과 입니다.

기간
- 전체
- 3개월
- 6개월
- 1년
- 2년
- 3년
- 5년
직접입력

적용
연관순
- 연관순
- 최신순
영역
- 전체
- 제목
- 본문
- 태그
페이지 수
- 전체페이지
- 1 페이지 ~ 5 페이지
- 6 페이지 ~ 10 페이지
- 직접입력 페이지 ~ 페이지 적용
확장자
- 전체
- 한글
- PDF
- MS워드
- MS엑셀
- MS파워포인트
- 압축파일
- 기타
할인자료 보기

연관검색어

dry etching ICP 원리 koh etching RIE ZnO 증착

판매자 표지는 다운로드시 포함되지 않습니다.

"고밀도 유도결합 플라즈마 장치" 검색결과 21-23 / 23건

[플라즈마]열플라스마와 소재공정기술

발생에는 매우 높은 주파수를 요구하기 때문에, 대부분 자기유도결합형을 사용하고 있다. 유도결합 토치에서는 공기 또는 수냉각 수정관이나 세라믹관 원둘레에 3∼7회 정도의 유도코일 ... 적으로 줄일 수 있어서 환경문제 해결 측면에서 열플라스마 이용이 매력있는 처리기술일 수 밖에 없다.5. 유도결합플라스마(ICP) 재료분석고주파에 의한 유도결합플라스마 내에 미지의 물질 ... HYPERLINK "http://www.kps.or.kr/~pht/7-9/index.html" 열플라스마와 소재공정기술머 리 말열플라스마(Thermal plasma)는 주로

리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.12.27

다운로드 장바구니
[재료공학과] 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각

plasma) 식각 장비3.2 공정 변수에 따른 사파이어의 식각3.3 유도결합형 플라즈마의 특성 분석과 식각 후 표면분석3.4 소자분리를 위한 사파이어 식각4. 실험 결과 및 ... 되어져 왔는데 최근의 직접회로 제조에서 대면적, 고밀도 플라즈마 원이 요구되어지며 특히 플라즈마 재료 가공 공정 응용을 위한 개발이 이루어지고 있다. 유도결합 플라즈마란 유도성 ... 《목 차》1. 서 론2. 연 구 배 경2.1 유도결합형 플라즈마(ICP)의 방전 원리2.2 건식 식각의 기본 원리2.3 플라즈마를 이용한 식각의 반응 기구2.4. OES를 통한

리포트 | 49페이지 | 3,000원 | 등록일 2002.12.07

다운로드 장바구니
플라즈마에 대하여

한 진단법의 개발에 관해 연구하고 있으며, 그룹내에서 교육 연구용의 KAIST-Tokamak 을 운용하고 있다.저온 플라즈마 실험실에서는 차세대 공정장비로 주목받고 있는 유도결합 ... 플라즈마, 전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 헬리콘 플라즈마 장치등을 개발하고, 탐침 및 분광분석을 통한 플라즈마 진단 기술에 기반을 둔 현상의 이해와 차세대 고밀도 대면적 플라즈마원 ... 전자 레이저는 라디오파로부터 적외선, 가시광선, 자외선 그리고 X-ray까지 광범위한 주파수의 전자파를 발진할 수 있는 장치이다. 비중성 플라즈마(Nonneutral Plasma

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2000.12.20

다운로드 장바구니

이전10개 12다음10개

파워링크

신청하기