반도체 유틸 ut u/t 검수 검사

소개

반도체 유틸리티 공사 완공후 검사하는 순서입니다.

목차

1 . BULK GAS 공정 FLOW

2 . PROCESS GAS공정 FLOW

3 . CHEMICAL 공정 FLOW

4 . DIW 공정 FLOW

5 . PCW 공정 FLOW

6 . FRP DUCT 공정 FLOW

7 . PVC DRAIN 공정 FLOW

8 . SUS DUCT 공정 FLOW

9 . SUS DUCT공정 FLOW

10 . H2SO4 DRAIN 공정 FLOW

11 . PVC DRAIN 공정 FLOW

12 . PROCESS VACUUM 공정 FLOW

13 . NPW 공정 FLOW

14 . SUPPORT 공사공정 FLOW

* (별첨) U/T 공사 공종별 2차 검사 ITEM LIST

본문내용

1 수입및 검사 외자재 통관절차 -소요기간 확인(日:AIR-12일,OCEAN-18일
美:AIR-14일,OCEAN-36일)
BOX OPEN - PACKING LIST 확인, 내부 포장상태 확인
육안검사 -INSPECTION REPORT 작성
2 보관및 개봉 자재 보관상태 창고보관 -2중 포장상태 및 청결유지
-LABEL이 외부로 노출된 상태
CLEAN SHOP -온.습도 유지(25±5℃,45±5%)
보관 -일정기간 사용분 보관
비닐포장제거 -CLEAN SHOP 반입전 외부포장제거
3 세정 PIPE 내면검사 FREON검사 -일정액의 FREON을 시험용 거울에 떨어뜨려 완전
증발후 얼룩이 생기는지 여부확인
육안검사 -PIPE 내면으로 밀착, 가압 통과된 CLEAN CLOTH
에 불순물 검출여부 확인
N2 DRY -N2 GAS PARTICLE CHECK(0.1ℓ, 10EA이하)
:PURITY CHECK(D.P:-80℃이하,O2:1PPM 이하)
-LINE FILTER 설치 (0.1㎛)
4 CUTTING SPOOL DWG SPOOL DWG -SPOOL DWG의 최종 승인 여부 확인
-절단선(MARKING) 칫수 확인
절단면 N2 PURGE -N2 GAS PURGE 확인
절단면 가공 -TRI TOOL 사용으로 절단면의 BURR 제거
5 SPOOL 제작 용 접 TEST PIECE제작 -작업전,후 1PCS 제작(최소길이 152mm이상)
-자동용접기 CONDITION 조절
용접 BEAD -탈색 유.무 확인
-BEAD면이 내면에서 50%이상 외면에서 60~80%
이상 겹쳐야 함
SPOOL 포장 포장 -2중 비닐포장
적치 -자재 적치대에 종류별 적치
6 SPOOL 설치 설 치 가설치 -LINE 배열(SPOOL NO 확인)
-수직, 수평도
-Ar PURGE
-TAG용접 (가접)
7 LEAK TEST -압력계로 1차 TEST (4kg/㎝G)
(압력강화율 ±10%이내 합격)
-PRESS RECORDER 2차 TEST

참고자료

· 없음