다중 신호 분기를 갖는 프로브 카드의 신호 왜곡을 최소화하기 위한 설계 기술 연구 (Research on Design Technology to Minimize Signal Distortion of Probe Card with Many Branches)

서지정보

· 발행기관 : 대한전자공학회
· 수록지 정보 : 전자공학회논문지 / 60권 / 9호 / 13 ~ 23페이지
· 저자명 : 강성준, 나완수

초록

웨이퍼 테스트에 사용되는 프로브 카드는 최근 테스트 시간 단축을 통한 생산성 확대 목적으로 테스터의 채널을 확장하여 동시에 여러 디바이스를 테스트한다. 이때, 테스터의 채널을 확장 시키는 역할이 프로브 카드에서 수행되며, 확장 신호 경로는 병렬 형태로 분기되어 여러 신호 왜곡 문제를 발생시키기 때문에 채널 확장의 매개체인 프로브 카드에서의 신호 손실 및 왜곡을 최소화하는 설계 방법이 필요하다. 프로브 카드는 여러 종류의 다층 기판이 조립된 구조의 기기이며, 이 연구에서는 일반적인 다층 기판에서 활용되는 스트립 선로의 형태를 새로운 방식으로 변형하여 배선의 부하를 효과적으로 축소하고, 16분기라는 많은 수의 분기 배선을 가장 효율적인 형태로 구성하였다. 이 분기 구조에 관한 연구는 향후 프로브 카드의 구조 및 재료가 변경되어도 활용 가능한 결과이다. 또한, 다양한 세라믹 적층 구조를 연구하여 신호 경로의 스터브에 대한 반사 영향을 줄일 수 있었다. 최종적으로 연구 결과를 기반으로 한 16분기 채널 확장 프로브 카드를 설계 및 제작하여 연구 결과를 검증한다.

영어초록

Probe cards used in recent wafer tests increase productivity by decreasing the test time. Several devices under test are investigated simultaneously by expanding the tester’s channel. At this time, the function of expanding the channel of the tester was performed on the probe card. The signal path of the probe card is divided into parallel forms, causing several signal distortion problems. Therefore, there is a need to develop a design method for minimizing signal loss and distortion in the probe card, a tool for channel expansion. The probe card is a device in which several multilayer substrates are assembled. In this study, the structure of the stripline, typically used in multilayer substrates, was modified to reduce the load effectively. The signal paths, divided into 16, were configured in the most efficient form. This branch type can be applied even if the structure and components of the probe card are changed in the future. Finally, the research results were verified based on the design and production of a 16-channel expansion probe card.

참고자료

· 없음