1. 스핀 코팅(Spin Coating) 스핀 코팅은 평평한 기판에 균일한 박막을 증착하는 방법이다. 기판 중앙에 코팅 물질을 도포한 후 최대 10,000rpm의 속도로 회전시켜 원심력으로 코팅 물질을 퍼뜨린다. 회전 각속도가 높을수록 필름이 더 얇아지며, 필름 두께는 용액의 점도, 농도, 용매에 따라 달라진다. 박막 두께의 균일성이 장점이며 셀프 레벨링으로 인해 두께가 1% 이상 변하지 않는다. 스핀 코팅은 물질 도포, 회전, 경화의 3가지 과정으로 진행된다. 2. 유체동역학식 적용 코팅막의 두께는 액체의 점도, 회전테이블의 각속...