1. TTTM(Tool To Tool Matching)의 정의 및 필요성 TTTM은 반도체 등 하이테크 제품 생산 공정에서 Fab 내 동일 스펙의 여러 장비 중 가장 성능이 좋은 장비를 기준으로 나머지 장비를 상향 평준화시키는 솔루션이다. 제품의 수율 확보와 동일하게 설계된 제품이 최종 출하물에서 다른 결과를 보이는 문제를 해결하기 위해 필요하다. 설비는 4M1E(사람, 설비, 소재, 방법, 환경) 중 공정변동의 주요 원인이므로 이를 최적화하는 것이 중요하다. 2. TTTM의 Matching 기준 TTTM의 주요 매칭 기준은 네 가...