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리소그라피 장비 종류 및 구동 방법2025.01.061. 리소그라피 리소그라피는 반도체 또는 TFT 제작 공정에서 감광제(PR)을 이용하여 증착된 막에 일정한 Pattern을 형성하는 공정으로, 증착과 세정 이후의 PR도포, 노광(Exposure), 현상(Develop)까지의 공정을 포함한다. 추가로 식각(Etching)과 PR 박리까지 포함하는 경우도 있다. 일반적으로 a-Si의 경우 5 mask 공정이므로, 5번의 Photo 공정을 수행하게 된다. 2. 리소그라피 장비 종류 리소그라피 장비에는 접촉형(Contact type), 근접형(Proximity type), 프로젝션형(Pr...2025.01.06
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[실험설계] 스핀코팅의 원리 및 AFM 분석2025.01.241. 스핀코팅 (Spin coating) 용액을 기판 위에 떨어트린 후 기판을 회전시켜 그 원심력으로 박막을 형성하는 것을 말한다. 저분자 물질의 증착법인 진공 증착법과 비교하여 진공 상태를 필요로 하지 않고 일반 대기상태의 상온에서 할 수 있다는 특징을 가지고 있다. 하지만 소자의 효율을 높이기 위해 다층막을 형성할 수 없고 원하는 부위만이 아닌 기판 전 영역에 걸쳐 박막이 형성되기 때문에 전극과의 접촉을 위해 전극 contact 부분을 직접 지워주어야 하는 번거로움이 있다. Spin coating 에 영향을 주는 요인으로는 용액...2025.01.24
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제68회 전국과학전람회 작품설명서(최우수상)2025.04.301. 유기그릇 세척 및 보관 유기그릇은 세척이나 보관하는 과정에서 긁힘이 많이 발생하는데 세척 과정에서 긁힌 부위에 금속 가루와 잔류 세제가 남아 유기그릇에 담긴 음식을 섭취하는 과정에서 인체에 흡수된다는 문제점이 있다. 따라서 노루귀 잎의 성분이 이러한 문제를 해결할 수 있는지 탐구하고자 하였다. 2. 노루귀 잎의 성분 및 활용 조상들이 유기그릇을 세척 후 그릇 내부에 노루귀를 넣은 이유를 찾고자 하였다. 노루귀 잎 속에 포함된 성분을 확인하여 긁힌 부분의 금속 가루와 세제찌꺼기를 효과적으로 제거하고, 긁힌 부분을 접착력이 강하며...2025.04.30
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리튬이온 배터리 실험 예비레포트2025.05.051. 리튬이온 배터리 리튬이온 배터리(LIB)는 스마트폰, 노트북, 전기차, ESS 등 모든 것을 구동하는 우리의 일상에서 빠져서는 안 될 재충전이 가능한 2차전지입니다. 이번 실험에서는 직접 리튬이온 배터리를 만들어보고 Cell Performance를 측정할 것입니다. 리튬이온 배터리는 충전이 가능한 2차전지의 한 종류이고 양극, 음극, 전해질, 분리막의 4가지 구성 요소를 가집니다. 리튬이온 배터리가 가지는 장점은 리튬이 이온화 경향이 크다는 점, 작고 가벼우면서도 에너지 밀도가 높다는 점, 자체 방전율이 낮고 사이클 수명이 길...2025.05.05
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반도체 하드마스크 SOH 레포트2025.05.021. SOH (Spin-on Hardmasks) SOH는 패터닝 공정에서 반도체 미세 패턴 구현을 위한 보조재료입니다. gap을 채우고 평탄화를 강화하여 내에칭성을 강화해야하는 특성을 요구합니다. SOH는 반도체 회로 패턴 형성 시 기존의 CVD 방식이 아닌 spin coating 방식으로 막을 형성하는 미세 패턴 형성 재료로, 미세 선폭의 패턴 정확도를 구현합니다. 2. PR MASK와 HARD MASK 비교 미세패턴을 구현하려면 PR MASK의 폭이 점점 줄어들어야 합니다. PR MASK의 가로에 대한 세로의 비율이 특정 값보다...2025.05.02
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반도체 공정 term project2025.05.101. DC/RF sputtering 스퍼터링은 Chamber내에 공급되는 가스에서 발생되는 전자 사이의 충돌로부터 시작된다. 그 과정을 보면 Vacuum Chamber내에 Ar gas와 같은 불활성기체를 약 2~5mTorr 넣는다. 음극에 전압을 가하면 음극에서부터 방출된 전자들이 Ar기체원자와 충돌하여, Ar을 이온화시킨다. Ar이 들뜬 상태가 되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며 이때 글로우방전이 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 플라즈마를 보인다. 플라즈마 내의 이온은 큰 전위차에 의해 음극인 target쪽으로 가...2025.05.10
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물리화학실험 contact angle 실험보고서2025.05.051. 접촉각 측정 실험을 통해 코팅된 슬라이드와 코팅되지 않은 슬라이드의 접촉각을 측정하였다. 코팅되지 않은 슬라이드는 친수성이 높아 표면에너지가 높고 접촉각이 작게 측정되었으며, 코팅된 슬라이드는 친수성이 낮아져 표면에너지가 낮고 접촉각이 높게 측정되었다. 2. 표면에너지 계산 Owens-Wendt 식을 이용하여 코팅된 슬라이드와 코팅되지 않은 슬라이드의 표면에너지를 계산하였다. 실험 결과 코팅된 슬라이드의 표면에너지가 코팅되지 않은 슬라이드보다 낮게 나왔다. 3. Wu Theory Owens-Wendt 식 대신 Wu Theory...2025.05.05
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스핀 코팅 실험: 회전 속도와 시간에 따른 박막 두께 변화2025.11.151. 스핀 코팅(Spin Coating) 스핀 코팅은 평평한 기판에 균일한 박막을 증착하는 방법이다. 기판 중앙에 코팅 물질을 도포한 후 최대 10,000rpm의 속도로 회전시켜 원심력으로 코팅 물질을 퍼뜨린다. 회전 각속도가 높을수록 필름이 더 얇아지며, 필름 두께는 용액의 점도, 농도, 용매에 따라 달라진다. 박막 두께의 균일성이 장점이며 셀프 레벨링으로 인해 두께가 1% 이상 변하지 않는다. 스핀 코팅은 물질 도포, 회전, 경화의 3가지 과정으로 진행된다. 2. 유체동역학식 적용 코팅막의 두께는 액체의 점도, 회전테이블의 각속...2025.11.15
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나노 스파이크 배열을 이용한 합성 살균 표면 특허2025.11.171. 나노 스파이크 배열 기술 반응성 이온 에칭 공정을 통해 표면에 나노 스파이크 어레이를 형성하는 기술. 나노 크기의 스파이크 구조가 세포막을 물리적으로 관통하여 세포를 치사시키는 방식으로 작동. 이는 화학적 살균제 없이 순수 물리적 메커니즘으로 살균 효과를 달성하는 혁신적 접근 방식. 2. 물리적 살균 메커니즘 나노 스파이크가 세포의 세포막을 관통함으로써 세포를 직접 파괴하는 물리적 살균 방식. 화학적 살균제의 방출이나 접촉 살균과 달리 순수한 물리적 손상을 통해 박테리아와 세균을 제거. 이 방식은 항생제 내성 문제를 우회할 수...2025.11.17
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발생학-수정의 조건 노트정리2025.05.071. 수정단계 수정단계에서는 정자의 운동성, 난자의 유인물질, 정자의 첨체반응 등이 중요한 역할을 한다. 정자는 운동성을 가지고 있어야 하며, 난자의 gelly coat를 활성화시켜야 한다. 정자의 첨체반응을 통해 난각을 녹이고 핵물질이 난자 내부로 들어가게 된다. 2. 난자 형성 난자 형성 과정에서는 여포세포, mitochondria, 난황 등이 중요한 역할을 한다. 여포세포가 난세포를 둘러싸고 있으며, mitochondria가 급격히 증가하여 단백질 합성에 필요한 에너지를 공급한다. 난황은 동물에 따라 다양한 형태로 분포하며, ...2025.05.07
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